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温度调节装置及研磨装置的制作方法
本发明涉及一种研磨装置以及用于对研磨装置中的研磨垫的温度进行调节的温度调节装置。背景技术以往,在对例如半导体晶片等被研磨物进行研磨的研磨装置中,利用了用于对研磨垫的温度进行调节的温度调节装置。温度调节装置具备传热体,该传热体构成为能够对研磨
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2022-6-29
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一种真空镀膜工艺中硅片单面抛光装置及单面抛光方法与流程
本发明涉及硅片加工技术领域,特别涉及一种真空镀膜工艺中硅片单面抛光装置。背景技术在硅片抛光加工过程中,硅片被夹持在抛光头上,硅片抛光期间,由玻璃纤维材质的环氧树脂等材料制成的夹持组件与此同时也被抛光浆料和化学品微细地研磨和损坏,而这些被研磨
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2022-6-29
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一种双面研磨装置的制作方法
本发明涉及自动化加工领域,更具体的说,本发明是一种双面研磨装置。背景技术在现有的研磨设备中,很多需要人工手动握持产品进行研磨,对于工人来说劳动力大,工作效率慢,且不易掌握产品研磨效果,且因上、下研磨板的转速的不同,可能造成产品研磨面出现两种
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2022-6-29
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基板处理装置的制作方法
本发明涉及基板处理装置,更具体而言,涉及一种能够准确地测量研磨垫的厚度,能够根据研磨垫的状态而控制化学机械式研磨工序条件的基板处理装置。背景技术半导体元件由微细的电路线高密度集成而制造,因此,在晶片表面进行与此相应的精密研磨。为了更精密地进
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2022-6-29
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便携式阀门密封面研磨装置的制作方法
本发明涉及阀门密封面研磨机构,尤其涉及一种便携式阀门密封面研磨装置。背景技术阀门是广泛应用于电力、石油化工行业中承压设备的一种装置,尤其是其中的安全阀更是系统安全运行的根本保障。根据tsgzf001-2006《安全阀安全技术监察规程》的相关
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2022-6-29
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化学机械平坦化系统的制作方法
本发明实施例涉及化学机械平坦化系统,特别涉及一种可使用于化学机械平坦化系统及化学机械平坦化工艺的多层窗口。背景技术集成电路的形成经常使用化学机械研磨。一般而言,将化学机械研磨使用于半导体晶圆的平坦化。化学机械研磨将物理及化学力的结合效果利用
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2022-6-29
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一种研磨用的磁流变智能夹具的制作方法
本发明涉及研磨领域,特别是涉及一种研磨用的磁流变智能夹具。背景技术自由曲面工件研磨加工时,需要夹具对工件进行固定及定位,由于工件种类多而且面型多变,如果针对每种工件都设计专用夹具会导致成本高、效率低并且给研磨加工带来很大的不便,所以需要一种
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2022-6-29
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包括抛光垫监测方法的制造方法以及抛光设备与流程
相关申请的交叉引用本申请要求2018年11月12日提交给韩国知识产权局的韩国专利申请no.10-2018-0137886的优先权,其公开内容通过引用其全部合并于此。示例实施例涉及抛光垫监测方法、抛光垫监测设备、包括抛光垫监测设备的抛光设备、
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2022-6-29
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一种轴承滚子防磕碰触发盒及防磕碰方法与流程
本发明涉及料盒技术领域,特别涉及一种轴承滚子防磕碰触发盒。背景技术目前,轴承用的滚子在制造加工中,滚子磨床完成下线时,加工好的滚子采用人工装料。由于在装料过程中,装料人员可能会出现操作不当,使得滚子之间相互产生较强力的磕碰(震动对轴承的损伤
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2022-6-29
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一种紧凑型打磨工具的制作方法
本发明涉及一种打磨工具,特别涉及一种紧凑型打磨工具。背景技术工业生产中,对产品进行打磨时,作业人员通常通过手动调整弹性件的压缩量来调节打磨设备对工件的打磨压力。然而,打磨不同的产品或同一产品的不同部位时,所需要的打磨压力不相同。通过传统的手
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2022-6-29
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一种砂轮磨具储存设备的制作方法
本发明涉及磨具领域,具体为一种砂轮磨具储存设备。背景技术砂轮是由结合剂将普通磨料固结成一定形状(多数为圆形,中央有通孔),并具有一定强度的固结磨具,被广泛运用于各种磨削及切断设备,是一种用量很大的磨具,砂轮由于其材质特性,需要小心储存,而现
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2022-6-29
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一种基于机械加工工件提升避免卡住的提升机构的制作方法
本发明涉及机械加工技术领域,更具体地说,特别涉及一种基于机械加工工件提升避免卡住的提升机构。背景技术在机械加工过程中,由于加工的需要,需要将工件进行提升,以便于转换加工工序。如专利申请书cn201820971484.8中一种轴套卡紧提升机构
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2022-6-29
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一种煤碳样品双工位燃烧测试的控制方法与流程
本申请是申请日为2018年12月20日提交的申请号为201811095094.x,发明名称为用于煤碳样品的环保型双工位测试燃烧炉结构的中国发明专利申请的分案申请。本发明属于测试型燃烧炉结构技术领域,更具体地说,特别涉及用于煤碳样品的环保型双
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2022-6-29
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一种新型翻转机的制作方法
本发明涉及翻转设备技术领域,具体涉及一种新型翻转机。背景技术在机械生产加工的过程中,需要对工件进行全方位的打磨抛光或其他操作,当工件的一面加工完成后,需要对工件进行翻转,然后进行后续加工。目前主要翻转方式是采用人工进行翻转,但是机械工件一般
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2022-6-29
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一种航空发动机叶片机器人磨削烧伤预测方法及装置与流程
本发明属于航空发动机叶片机器人砂带磨削加工领域,更具体地,涉及一种航空发动机叶片机器人磨削烧伤预测方法及装置。背景技术叶片是航空发动机动力装置的核心动力部件,其加工表面质量和轮廓精度直接影响发动机的工作效率和使用寿命。航空发动机叶片通常在高
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2022-6-29
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一种抛光盘冷却结构、抛光盘以及抛光机的制作方法
本发明涉及抛光技术领域,具体涉及一种抛光盘冷却结构、抛光盘以及抛光机。背景技术在半导体行业,硅片抛光设备从过去的单层单面抛光技术发展到如今的单层双面抛光技术(dsp),实现了抛光效率的翻倍。硅片在抛光过程中,由于硅片与抛光垫之间的摩擦作用,
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2022-6-29
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一种铁蓬用防止铁锈飞溅伤及眼睛的安全装置的制作方法
本发明涉及铁蓬除锈护眼技术领域,具体为一种铁蓬用防止铁锈飞溅伤及眼睛的安全装置。背景技术生锈是一种化学反应,当铁放的时间长了就会生锈,铁很容易生锈,除了由于它的化学性质活泼以外,同时与外界条件也有很大关系,尤其是水分,因此水分是促进铁生锈的
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2022-6-29
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一种环保打磨机的制作方法
本发明涉及环保技术领域,尤其是涉及一种环保打磨机。背景技术打磨机抛光打磨产品时,会产生打磨的碎屑和粉尘,粉尘飞到空气中,导致工作环境污染。现有的打磨机会设置淋水装置,形成水帘对碎屑和粉尘进行冲洗,从而减少粉尘飞扬的情况。淋水装置一般包括抽水
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2022-6-29
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一种移动防爆型打磨高效除尘器的制作方法
本发明属于粉尘治理领域,涉及一种移动防爆型打磨高效除尘器。背景技术目前,工贸企业打磨抛光作业过程中产尘浓度高,粉尘污染严重,高浓度粉尘不仅影响作业人员身体健康,同时打磨产生的粉尘具有可燃性,在火源条件下极易发生爆炸,威胁作业人员和工贸企业的
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2022-6-29
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一种智能化的建筑环保墙体设备的制作方法
本发明属于建筑施工技术领域,尤其涉及一种智能化的建筑环保墙体设备。背景技术现有墙面打磨切割过程中存在的需要人工对墙面上残留的钢筋进行切割,需要人工借助打磨工具对墙面进行打磨处理。但是现有的环保墙体设备还存在着进行工作的过程中排出的污水容易污
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2022-6-29
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