本实用新型涉及等离子设备技术领域，具体涉及一种多层高密度的垂直式等离子设备。
背景技术：
等离子体指部分或完全电离的气体，且自由电子和离子所带正、负电荷的总和完全抵消，宏观上呈现中性电，等离子体又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，它广泛存在于宇宙中，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。
hdi板在进行加工时，需要用到垂直式等离子设备，目前现有的垂直式等离子设备有以下缺点：传统的垂直式等离子设备不具有温度控制的功能，导致hdi板在进行加工时，hdi板温度过高，对垂直式等离子设备造成损坏，增加了hdi板的不良率，同时不能够控制气体的流动性，造成气体不能够均匀的分布在hdi板间，严重影响等离子体的处理效率。
技术实现要素：
针对现有技术的不足，本实用新型提供一种多层高密度的垂直式等离子设备，具备对hdi板温度控制和控制气体流动性等优点，解决了传统的垂直式等离子设备不具有温度控制的功能，使hdi板温度过高，对垂直式等离子设备造成损坏，同时不能够控制气体的流动性，造成气体不能够均匀的分布在hdi板间的问题。
本实用新型的一种多层高密度的垂直式等离子设备，包括底板，所述底板底部的四角均固定连接有支撑脚，所述底板顶部的左侧固定连接有设备箱，所述设备箱内壁的两侧均固定连接有放置侧板，所述设备箱内壁的背面固定连接有等离子发生器，所述设备箱右侧的底部连通有第一抽水管，所述第一抽水管远离设备箱的一端连通有第一水泵，所述第一水泵的左侧与设备箱的右侧固定连接，所述第一水泵的顶部连通有第一出水管，所述第一出水管远离第一水泵的一端连通有水箱，所述水箱的底部与底板顶部的右侧固定连接，所述水箱背面的顶部连通有加水管，所述水箱内腔的顶部设置有过滤机构，所述水箱内壁左侧的底部固定连接有制冷器，所述水箱右侧的底部连通有第二抽水管，所述第二抽水管远离水箱的一端连通有第二水泵，所述第二水泵的底部与水箱顶部的右侧固定连接，所述第二水泵的顶部连通有第二出水管，所述第二出水管远离第二水泵的一端贯穿至设备箱的内腔并连通有横管，所述横管表面的两侧均设置有固定机构，所述横管的底部连通有喷头。
本实用新型的一种多层高密度的垂直式等离子设备，其中，所述过滤机构包括过滤箱，所述过滤箱的表面与水箱的内壁固定连接，所述过滤箱内壁一侧的顶部固定连接有海绵过滤网，所述过滤箱内壁一侧的底部固定连接有棉纤维过滤网。
本实用新型的一种多层高密度的垂直式等离子设备，其中，所述固定机构包括套管，所述套管的内腔与横管的表面相接触，所述套管顶部的两侧均固定连接有固定柱，所述固定柱的顶部固定连接有固定板，所述固定板的顶部通过螺栓与设备箱内壁的顶部固定连接。
本实用新型的一种多层高密度的垂直式等离子设备，其中，所述第一水泵的左侧固定连接有第一安装板，且第一安装板的左侧通过螺栓与设备箱的右侧固定连接。
本实用新型的一种多层高密度的垂直式等离子设备，其中，所述第二水泵的底部固定连接有第二安装板，且第二安装板的底部通过螺栓与水箱顶部的右侧固定连接。
本实用新型的一种多层高密度的垂直式等离子设备，其中，所述设备箱的正面通过铰链活动连接有箱门，所述箱门的背面与设备箱的正面设置有密封垫，所述箱门的正面开设有观察孔，所述观察孔的内壁固定连接有玻璃。
本实用新型的一种多层高密度的垂直式等离子设备，其中，所述设备箱内壁的底部固定连接有斜块，所述斜块的左侧与设备箱内壁左侧的底部固定连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
1、本实用新型通过设置第一抽水管、第一水泵、第一出水管、水箱、加水管、过滤机构、制冷器、第二抽水管、第二水泵、第二出水管、横管、固定机构、喷头、箱门、观察孔和斜块相互配合，达到了对hdi板温度控制和控制气体流动性等优点，使hdi板在进行加工时，能够有效对hdi板进行水冷，防止hdi板温度过高，对垂直式等离子设备造成损坏的问题，降低了hdi板的不良率，同时控制气体的流动性，能够实现气体均匀分布在hdi板间，有效的提高了等离子体的处理效率。
2、本实用新型通过设置第一抽水管、第一水泵和第一出水管，在冷却水流入设备箱内腔的底部时，起到回收流入水箱内腔的作用，避免了冷却水出现浪费的问题，通过设置水箱，起到储存冷却水的作用，通过设置过滤机构，起到过滤冷却水中杂质的作用，通过设置制冷器，对水起到制冷的作用，通过设置第二抽水管、第二水泵和第二出水管，起到抽动冷却水进入横管内腔的作用，通过设置横管和喷头，对hdi板起到冷却降温的作用，通过设置固定机构，对横管起到固定的作用，解决了横管在使用时出现晃动的问题，增加了横管使用时的稳定性，通过设置斜块，起到方便冷却水流出设备箱的作用，解决了冷却水残留在设备箱的底部无法排出的问题。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型设备箱正视剖面图；
图3为本实用新型水箱右视剖面图。
图中：1、底板；2、支撑脚；3、设备箱；4、放置侧板；5、等离子发生器；6、第一抽水管；7、第一水泵；8、第一出水管；9、水箱；10、加水管；11、过滤机构；111、过滤箱；112、海绵过滤网；113、棉纤维过滤网；12、制冷器；13、第二抽水管；14、第二水泵；15、第二出水管；16、横管；17、固定机构；171、套管；172、固定柱；173、固定板；18、喷头；19、箱门；20、观察孔；21、斜块。
具体实施方式
以下将以图式揭露本实用新型的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本实用新型。也就是说，在本实用新型的部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化图式起见，一些习知惯用的结构与组件在图式中将以简单的示意的方式绘示之。
另外，在本实用新型中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，并非特别指称次序或顺位的意思，亦非用以限定本实用新型，其仅仅是为了区别以相同技术用语描述的组件或操作而已，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
请参阅图1-3，本实用新型揭示一种多层高密度的垂直式等离子设备，包括底板1，底板1底部的四角均固定连接有支撑脚2，底板1顶部的左侧固定连接有设备箱3，设备箱3内壁的两侧均固定连接有放置侧板4，设备箱3内壁的背面固定连接有等离子发生器5，设备箱3右侧的底部连通有第一抽水管6，第一抽水管6远离设备箱3的一端连通有第一水泵7，第一水泵7的左侧与设备箱3的右侧固定连接，第一水泵7的顶部连通有第一出水管8，第一出水管8远离第一水泵7的一端连通有水箱9，水箱9的底部与底板1顶部的右侧固定连接，水箱9背面的顶部连通有加水管10，水箱9内腔的顶部设置有过滤机构11，水箱9内壁左侧的底部固定连接有制冷器12，水箱9右侧的底部连通有第二抽水管13，第二抽水管13远离水箱9的一端连通有第二水泵14，第二水泵14的底部与水箱9顶部的右侧固定连接，第二水泵14的顶部连通有第二出水管15，第二出水管15远离第二水泵14的一端贯穿至设备箱3的内腔并连通有横管16，横管16表面的两侧均设置有固定机构17，横管16的底部连通有喷头18，过滤机构11包括过滤箱111，过滤箱111的表面与水箱9的内壁固定连接，过滤箱111内壁一侧的顶部固定连接有海绵过滤网112，过滤箱111内壁一侧的底部固定连接有棉纤维过滤网113，固定机构17包括套管171，套管171的内腔与横管16的表面相接触，套管171顶部的两侧均固定连接有固定柱172，固定柱172的顶部固定连接有固定板173，固定板173的顶部通过螺栓与设备箱3内壁的顶部固定连接，第一水泵7的左侧固定连接有第一安装板，且第一安装板的左侧通过螺栓与设备箱3的右侧固定连接，第二水泵14的底部固定连接有第二安装板，且第二安装板的底部通过螺栓与水箱9顶部的右侧固定连接，设备箱3的正面通过铰链活动连接有箱门19，箱门19的背面与设备箱3的正面设置有密封垫，箱门19的正面开设有观察孔20，观察孔20的内壁固定连接有玻璃，设备箱3内壁的底部固定连接有斜块21，斜块21的左侧与设备箱3内壁左侧的底部固定连接；
通过设置第一抽水管6、第一水泵7和第一出水管8，在冷却水流入设备箱3内腔的底部时，起到回收流入水箱9内腔的作用，避免了冷却水出现浪费的问题，通过设置水箱9，起到储存冷却水的作用，通过设置过滤机构11，起到过滤冷却水中杂质的作用，通过设置制冷器12，对水起到制冷的作用，通过设置第二抽水管13、第二水泵14和第二出水管15，起到抽动冷却水进入横管16内腔的作用，通过设置横管16和喷头18，对hdi板起到冷却降温的作用，通过设置固定机构17，对横管16起到固定的作用，解决了横管16在使用时出现晃动的问题，增加了横管16使用时的稳定性，通过设置斜块21，起到方便冷却水流出设备箱3的作用，解决了冷却水残留在设备箱3的底部无法排出的问题，通过设置第一抽水管6、第一水泵7、第一出水管8、水箱9、加水管10、过滤机构11、制冷器12、第二抽水管13、第二水泵14、第二出水管15、横管16、固定机构17、喷头18、箱门19、观察孔20和斜块21相互配合，达到了对hdi板温度控制和控制气体流动性等优点，使hdi板在进行加工时，能够有效对hdi板进行水冷，防止hdi板温度过高，对垂直式等离子设备造成损坏的问题，降低了hdi板的不良率，同时控制气体的流动性，能够实现气体均匀分布在hdi板间，有效的提高了等离子体的处理效率。
在使用本实用新型时，首先工人打开箱门19，然后将hdi板插入放置侧板4的内腔，然后关闭箱门19，然后再通过加水管10对水箱9的内腔进行加水，然后再通过外设控制器打开等离子发生器5，开始对hdi板进行等离子加工，在hdi板温度过高时，工人通过外设控制器分别打开制冷器12、第二水泵14和第一水泵7，制冷器12启动开始对水箱9内腔的水进行制冷，同时第二水泵14启动通过第二抽水管13对水箱9内腔的冷却水进行抽动，冷却水通过第二出水管15进入横管16的内腔，然后再通过喷头18对hdi板喷水降温处理，水流入斜块21的顶部，通过斜块21的斜度流动到设备箱3内腔底部的右侧，同时第一水泵7启动通过第一抽水管6对冷却水进行抽动，冷却水通过第一出水管8回流进入水箱9的内腔，通过水箱9内腔的海绵过滤网112和棉纤维过滤网113开始对冷却水中的杂质进行过滤，使冷却水能够循环再利用，同时第一水泵7通过第一抽水管6抽动设备箱3内腔的水和喷头18对hdi板进行喷水，能够有效的带动设备箱3内腔的气体开始流动，能够有效对hdi板进行水冷，防止hdi板温度过高，对垂直式等离子设备造成损坏的问题，降低了hdi板的不良率，同时控制气体的流动性，能够实现气体均匀分布在hdi板间，有效的提高了等离子体的处理效率，从而达到了对hdi板温度控制和控制气体流动性等优点。
本申请文件中使用到的标准零件均可以从市场上购买，而且根据说明书和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中常规的型号，控制方式是通过控制器来自动控制，控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，属于本领域的公知常识，并且本实用新型主要用来保护机械装置，所以本实用新型不再详细解释控制方式和电路连接，且说明书中提到的外设控制器可为本文提到的电器元件起到控制作用，而且该外设控制器为常规的已知设备。
以上所述仅为本实用新型的实施方式而已，并不用于限制本实用新型。对于本领域技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原理的内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包括在本实用新型的权利要求范围之内。
1.一种多层高密度的垂直式等离子设备，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)底部的四角均固定连接有支撑脚(2)，所述底板(1)顶部的左侧固定连接有设备箱(3)，所述设备箱(3)内壁的两侧均固定连接有放置侧板(4)，所述设备箱(3)内壁的背面固定连接有等离子发生器(5)，所述设备箱(3)右侧的底部连通有第一抽水管(6)，所述第一抽水管(6)远离设备箱(3)的一端连通有第一水泵(7)，所述第一水泵(7)的左侧与设备箱(3)的右侧固定连接，所述第一水泵(7)的顶部连通有第一出水管(8)，所述第一出水管(8)远离第一水泵(7)的一端连通有水箱(9)，所述水箱(9)的底部与底板(1)顶部的右侧固定连接，所述水箱(9)背面的顶部连通有加水管(10)，所述水箱(9)内腔的顶部设置有过滤机构(11)，所述水箱(9)内壁左侧的底部固定连接有制冷器(12)，所述水箱(9)右侧的底部连通有第二抽水管(13)，所述第二抽水管(13)远离水箱(9)的一端连通有第二水泵(14)，所述第二水泵(14)的底部与水箱(9)顶部的右侧固定连接，所述第二水泵(14)的顶部连通有第二出水管(15)，所述第二出水管(15)远离第二水泵(14)的一端贯穿至设备箱(3)的内腔并连通有横管(16)，所述横管(16)表面的两侧均设置有固定机构(17)，所述横管(16)的底部连通有喷头(18)。
2.根据权利要求1所述的一种多层高密度的垂直式等离子设备，其特征在于：所述过滤机构(11)包括过滤箱(111)，所述过滤箱(111)的表面与水箱(9)的内壁固定连接，所述过滤箱(111)内壁一侧的顶部固定连接有海绵过滤网(112)，所述过滤箱(111)内壁一侧的底部固定连接有棉纤维过滤网(113)。
3.根据权利要求1所述的一种多层高密度的垂直式等离子设备，其特征在于：所述固定机构(17)包括套管(171)，所述套管(171)的内腔与横管(16)的表面相接触，所述套管(171)顶部的两侧均固定连接有固定柱(172)，所述固定柱(172)的顶部固定连接有固定板(173)，所述固定板(173)的顶部通过螺栓与设备箱(3)内壁的顶部固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种多层高密度的垂直式等离子设备，其特征在于：所述第一水泵(7)的左侧固定连接有第一安装板，且第一安装板的左侧通过螺栓与设备箱(3)的右侧固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种多层高密度的垂直式等离子设备，其特征在于：所述第二水泵(14)的底部固定连接有第二安装板，且第二安装板的底部通过螺栓与水箱(9)顶部的右侧固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种多层高密度的垂直式等离子设备，其特征在于：所述设备箱(3)的正面通过铰链活动连接有箱门(19)，所述箱门(19)的背面与设备箱(3)的正面设置有密封垫，所述箱门(19)的正面开设有观察孔(20)，所述观察孔(20)的内壁固定连接有玻璃。
7.根据权利要求1所述的一种多层高密度的垂直式等离子设备，其特征在于：所述设备箱(3)内壁的底部固定连接有斜块(21)，所述斜块(21)的左侧与设备箱(3)内壁左侧的底部固定连接。
技术总结