一种单晶硅车间开方工序上下料夹具的制作方法

专利2022-06-28  117


本实用新型涉及夹具技术领域,具体涉及一种单晶硅车间开方工序上下料夹具。



背景技术:

目前国内单晶硅加工车间开方工艺段夹具分为:硅棒专用夹具(u型)和方锭专用夹具(平型),上下料分开进行,工艺较为复杂,使用不方便。对此将夹具进行结构创新优化,使其成为多用型夹具,一个机械手便可以完成上下料的全过程,达到节约成本,降低操作难度和时间节拍的良好效果。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅车间开方工序上下料夹具,用以解决现有单晶硅加工过程中夹具使用不方便的问题。

为实现上述目的,本实用新型的技术方案为:

一种单晶硅车间开方工序上下料夹具,包括矩形的顶板,于顶板的下侧用螺栓固定有矩形的连接块,两个连接块分别处于顶板的两端部;于连接块上用螺栓固定有对射开关支架和夹头;于顶板的上侧用螺栓固定有滑块;于滑块内滑动的穿设有直线导轨;于直线导轨的上侧用螺栓固定有安装支座;于安装支座内用螺栓固定有齿轮轴承座;于齿轮轴承座的下部用螺栓固定有齿轮;于顶板的上侧用螺栓固定有齿条,齿轮和齿条啮合;于安装支座的上侧用螺栓固定有矩形的安装板,于安装板上用螺栓固定有法兰板;两个顶板的下侧4个夹头围成一个夹持空间;于伸缩气缸用螺栓固定于其中一个顶板的下侧且处于两个连接块之间;伸缩气缸处于夹持空间的外侧;于安装板上用螺栓固定有防护罩;于相对的两个连接块之间用螺栓固定有圆杆状的气缸长杆;于连接块的远离气缸长杆的一侧用螺栓固定有气缸端板。

优选的,包括夹头包括第一板体;于第一板体的四个夹角处均穿设有第一安装孔;于第一板体的一侧设有两个矩形的挤压面,于两个挤压面之设有矩形的夹槽;挤压面倾斜设置。

优选的,法兰板包括圆形的第二板体,于第二板体的上侧一体成型的设有圆形的凸起;于第二板体上穿设有多个圆形的第二安装孔。

优选的,包括滑块包括立方体状的本体,沿着本体的轴向于其内贯穿有滑槽;于滑槽的两侧内壁上均一体成型设有第一凸起;于本体的下部穿设有圆形的第一螺栓孔。

优选的,直线导轨包括杆体,于杆体内贯穿有第二螺栓孔;于杆体的外壁内凹设有第一滑槽;第一凸起滑动于第一滑槽内。

优选的,伸缩气缸包括圆柱状的缸体,于缸体的两分别用螺栓固定有矩形的端盖和底座;于底座的侧壁上用螺栓固定有矩形的连接板。

优选的,两个滑块分别处于顶板上侧的两端;于齿条处于滑块、顶板、安装板围成的空间内;齿条的两端分别用螺栓固定于两个顶板上。

本实用新型具有如下优点:

伸缩气缸型号su-100x100-s;夹具通过法兰盘安装在六轴机器人上,实现气缸的加紧与松开。气缸带动齿轮通过与齿条啮合实现水平方向上运动,四个夹头与顶板安装在滑块上,并在直线导轨上滑动。不工作时夹具处于打开状态,当六轴机器人带动夹具走到上下料指定位置时,气缸将工件加紧,完成上下料后气缸打开;从而通过一个夹具实现上料和下料过程。

附图说明

图1是实用新型的单晶硅车间开方工序上下料夹具的侧视图。

图2是实用新型中单晶硅车间开方工序上下料夹具的立体图。

图3是实用新型中单晶硅车间开方工序上下料夹具的剖视图。

图4是实用新型中夹头的示意图。

图5是实用新型中法兰板示意图。

图6是实用新型中滑块示意图。

图7是实用新型中直线导轨示意图。

图8是实用新型中伸缩气缸示意图。

图中:1-伸缩气缸;101-端盖;102-缸体;103-底座;104-连接板;2-齿条;3-安装板;4-法兰板;41-第二板体;42-凸起;43-第二安装孔;5-防护罩;6-滑块;61-本体;62-滑槽;63-第一螺栓孔;64-第一凸起;7-顶板;8-直线导轨;81-第二螺栓孔;82-杆体;83-第一滑槽;9-连接块;10-对射开关支架;11-夹头;111-第一安装孔;112-第一板体;113-挤压面;114-夹槽;12-安装支座;13-气缸长杆;14-气缸端板;15-齿轮轴承座;16-齿轮。

具体实施方式

以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。

实施例

本实施例的单晶硅车间开方工序上下料夹具,包括矩形的顶板7,于顶板7的下侧用螺栓固定有矩形的连接块9,两个连接块9分别处于顶板7的两端部;于连接块9上用螺栓固定有对射开关支架10和夹头11;于顶板7的上侧用螺栓固定有滑块6;于滑块6内滑动的穿设有直线导轨8;于直线导轨8的上侧用螺栓固定有安装支座12;于安装支座12内用螺栓固定有齿轮轴承座15;于齿轮轴承座15的下部用螺栓固定有齿轮16;于顶板7的上侧用螺栓固定有齿条2,齿轮16和齿条2啮合;于安装支座12的上侧用螺栓固定有矩形的安装板3,于安装板3上用螺栓固定有法兰板4;

两个顶板7的下侧4个夹头11围成一个夹持空间;伸缩气缸1用螺栓固定于其中一个顶板7的下侧且处于两个连接块9之间;伸缩气缸1处于夹持空间的外侧;于安装板3上用螺栓固定有防护罩5;于相对的两个连接块9之间用螺栓固定有圆杆状的气缸长杆13;于连接块9的远离气缸长杆13的一侧用螺栓固定有气缸端板14。

伸缩气缸型号su-100x100-s;夹具通过法兰盘安装在六轴机器人上,实现气缸的加紧与松开。气缸带动齿轮通过与齿条啮合实现水平方向上运动,四个夹头与顶板安装在滑块上,并在直线导轨上滑动。不工作时夹具处于打开状态,当六轴机器人带动夹具走到上下料指定位置时,气缸将工件加紧,完成上下料后气缸打开;从而通过一个夹具实现上料和下料过程。

包括夹头11包括第一板体112;于第一板体112的四个夹角处均穿设有第一安装孔111;于第一板体112的一侧设有两个矩形的挤压面113,于两个挤压面113之设有矩形的夹槽114;挤压面113倾斜设置。法兰板4包括圆形的第二板体41,于第二板体41的上侧一体成型的设有圆形的凸起42;于第二板体41上穿设有多个圆形的第二安装孔43。包括滑块6包括立方体状的本体61,沿着本体61的轴向于其内贯穿有滑槽62;于滑槽62的两侧内壁上均一体成型设有第一凸起64;于本体61的下部穿设有圆形的第一螺栓孔63。直线导轨8包括杆体82,于杆体82内贯穿有第二螺栓孔81;于杆体82的外壁内凹设有第一滑槽83;第一凸起64滑动于第一滑槽83内。伸缩气缸1包括圆柱状的缸体102,于缸体102的两分别用螺栓固定有矩形的端盖101和底座103;于底座103的侧壁上用螺栓固定有矩形的连接板104。两个滑块6分别处于顶板7的上侧的两端;于齿条2处于滑块6、顶板7、安装板3围成的空间内;齿条2的两端分别用螺栓固定于两个顶板7上。

虽然,上文中已经用一般性说明及具体实施例对本实用新型作了详尽的描述,但在本实用新型基础上,可以对之作一些修改或改进,这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此,在不偏离本实用新型精神的基础上所做的这些修改或改进,均属于本实用新型要求保护的范围。


技术特征:

1.一种单晶硅车间开方工序上下料夹具,其特征在于,包括矩形的顶板(7),于顶板(7)的下侧用螺栓固定有矩形的连接块(9),两个连接块(9)分别处于顶板(7)的两端部;于连接块(9)上用螺栓固定有对射开关支架(10)和夹头(11);于顶板(7)的上侧用螺栓固定有滑块(6);于滑块(6)内滑动的穿设有直线导轨(8);于直线导轨(8)的上侧用螺栓固定有安装支座(12);于安装支座(12)内用螺栓固定有齿轮轴承座(15);于齿轮轴承座(15)的下部用螺栓固定有齿轮(16);于顶板(7)的上侧用螺栓固定有齿条(2),齿轮(16)和齿条(2)啮合;于安装支座(12)的上侧用螺栓固定有矩形的安装板(3),于安装板(3)上用螺栓固定有法兰板(4);

两个顶板(7)的下侧4个夹头(11)围成一个夹持空间;伸缩气缸(1)用螺栓固定于其中一个顶板(7)的下侧且处于两个连接块(9)之间;伸缩气缸(1)处于夹持空间的外侧;于安装板(3)上用螺栓固定有防护罩(5);于相对的两个连接块(9)之间用螺栓固定有圆杆状的气缸长杆(13);于连接块(9)的远离气缸长杆(13)的一侧用螺栓固定有气缸端板(14)。

2.根据权利要求1所述的单晶硅车间开方工序上下料夹具,其特征在于,包括夹头(11)包括第一板体(112);于第一板体(112)的四个夹角处均穿设有第一安装孔(111);于第一板体(112)的一侧设有两个矩形的挤压面(113),于两个挤压面(113)之设有矩形的夹槽(114);挤压面(113)倾斜设置。

3.根据权利要求1所述的单晶硅车间开方工序上下料夹具,其特征在于,法兰板(4)包括圆形的第二板体(41),于第二板体(41)的上侧一体成型的设有圆形的凸起(42);于第二板体(41)上穿设有多个圆形的第二安装孔(43)。

4.根据权利要求1所述的单晶硅车间开方工序上下料夹具,其特征在于,包括滑块(6)包括立方体状的本体(61),沿着本体(61)的轴向于其内贯穿有滑槽(62);于滑槽(62)的两侧内壁上均一体成型设有第一凸起(64);于本体(61)的下部穿设有圆形的第一螺栓孔(63)。

5.根据权利要求4所述的单晶硅车间开方工序上下料夹具,其特征在于,直线导轨(8)包括杆体(82),于杆体(82)内贯穿有第二螺栓孔(81);于杆体(82)的外壁内凹设有第一滑槽(83);第一凸起(64)滑动于第一滑槽(83)内。

6.根据权利要求4所述的单晶硅车间开方工序上下料夹具,其特征在于,伸缩气缸(1)包括圆柱状的缸体(102),于缸体(102)的两分别用螺栓固定有矩形的端盖(101)和底座(103);于底座(103)的侧壁上用螺栓固定有矩形的连接板(104)。

7.根据权利要求4所述的单晶硅车间开方工序上下料夹具,其特征在于,两个滑块(6)分别处于顶板(7)的上侧的两端;于齿条(2)处于滑块(6)、顶板(7)、安装板(3)围成的空间内;齿条(2)的两端分别用螺栓固定于两个顶板(7)上。

技术总结
本实用新型公开了一种单晶硅车间开方工序上下料夹具,包括矩形的顶板,于顶板的下侧用螺栓固定有矩形的连接块,两个连接块分别处于顶板的两端部;于连接块上用螺栓固定有对射开关支架和夹头;于顶板的上侧用螺栓固定有滑块;于滑块内滑动的穿设有直线导轨;于直线导轨的上侧固定有安装支座;于安装支座内用螺栓固定有齿轮轴承座;于齿轮轴承座的下部固定有齿轮;于顶板的上侧固定有齿条;于安装支座的上侧用螺栓固定有安装板,于安装板上用螺栓固定有法兰板;伸缩气缸处于夹持空间的外侧;于安装板上用螺栓固定有防护罩;于相对的两个连接块之间用螺栓固定有气缸长杆;于连接块的远离气缸长杆的一侧用螺栓固定有气缸端板。

技术研发人员:董学宽
受保护的技术使用者:北京森沃克莱科技有限公司
技术研发日:2019.06.11
技术公布日:2020.06.09

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