本发明涉及处理液供给系统、处理液供给装置和承载器保管装置。
背景技术：
专利文献1公开了对多个基片处理系统从外部供给处理液的处理液供给装置。该处理液供给装置包括：送入送出部，其进行贮存有处理液的新的容器的送入和已用完的容器的送出；将配置于处理液供给位置的容器内的处理液加压输送到多个基片处理系统的处理液供给部；以及容器更换机构，其将处理液供给位置的已用完的容器与送入送出部的新的容器进行更换。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2017-76669号公报
技术实现要素：
发明要解决的技术问题
本发明的目的在于提供有效地减轻在基片处理中对处理液的瓶进行补充、回收的作业的负担的处理液供给系统、处理液供给装置和承载器保管装置。
用于解决技术问题的技术方案
本发明的一个方面的处理液供给系统包括处理液供给装置和控制装置，处理液供给装置包括：收纳承载器的第一承载器收纳部，其中承载器收纳有多个处理液瓶；收纳从承载器取出的处理液瓶的第一瓶收纳部；从自承载器取出的处理液瓶对基片处理装置送出处理液的送液部；和在第一承载器收纳部、第一瓶收纳部与送液部之间输送处理液瓶的第一输送部，控制装置构成为能够执行如下步骤：控制第一输送部，以使得从第一承载器收纳部的承载器取出处理液瓶并将其输送到第一瓶收纳部的步骤；控制第一输送部，以使得从第一瓶收纳部对送液部输送处理液瓶的步骤；和控制第一输送部，以使得将已用完的处理液瓶从送液部输送并收纳在第一承载器收纳部的承载器的步骤。
依照该处理液供给系统，能够自动执行从承载器取出处理液瓶并将其配置在送液部的步骤和将已用完的处理液瓶送回承载器的步骤，因此能够进行按承载器单位的处理液瓶的补充、回收。由此，能够降低处理液瓶的补充回收作业的频率。另外，通过使用瓶收纳部进行按处理液瓶单位的缓冲，能够保证送液部中更换处理液瓶的迅速性。所以，对于基片处理中对处理液瓶进行补充回收的作业的负担减轻，是有效的。
也可以为，处理液供给装置还包括承载器交接用的第一交接部，控制装置构成为还能够执行如下步骤：控制第一输送部，以使得将配置于第一交接部的承载器输送到第一承载器收纳部的步骤；和控制第一输送部，以使得将收纳有已用完的处理液瓶的承载器从第一承载器收纳部输送到第一交接部的步骤。在该情况下，能够将对处理液供给装置交接承载器的交接作业简单化。承载器的交接作业的简单化能够有助于该作业的自动化。所以，对于更换处理液瓶的作业的进一步的负担减轻是有效的。
也可以为，控制装置控制第一输送部，以使得在送液部配置处理液瓶后至该处理液瓶成为已用完的状态的期间，在第一承载器收纳部的承载器与第一瓶收纳部之间输送其他处理液瓶。在该情况下，在送液部配置处理液瓶后至该处理液瓶成为已用完的状态的期间，通过进行按处理液瓶单位的缓冲，能够更可靠地保证送液部中更换处理液瓶的迅速性。
也可以为，处理液供给装置具有多个送液部，第一输送部构成为处理液瓶的可输送范围包含多个送液部。在该情况下，通过在多个送液系统中共用第一输送部，能够实现装置结构的简单化。
也可以为，控制装置构成为还能够执行控制第一输送部以使得在送液部中进行处理液瓶的瓶盖的开闭的步骤。在该情况下，用于开闭瓶盖的结构的至少一部分在多个送液系统中共用，因此能够实现装置结构的简单化。
也可以为，送液部具有用于从处理液瓶内送出处理液的送液头，控制装置构成为还能够执行控制第一输送部以将送液头安装在处理液瓶的步骤。在该情况下，用于安装送液头的结构的至少一部分在多个送液系统中共用，所以能够实现装置结构的进一步简单化。
也可以为，承载器具有信息保持部，信息保持部保持关于处理液瓶所收纳的处理液的信息，控制装置基于信息保持部保持的信息来获取处理液瓶所收纳的处理液的种类的信息，基于处理液的种类来挑选要从承载器取出的处理液瓶。在该情况下，利用信息保持部所保持的信息，能够实现处理液供给装置中的瓶输送的高效率化。
也可以为，控制装置基于信息保持部保持的信息来获取处理液瓶所收纳的处理液的消费期限的信息，挑选要从承载器取出的处理液瓶以使得处理液的消费期限临近的处理液瓶优先被输送到送液部。在该情况下，能够抑制发生处理液过期。
也可以为，处理液供给系统还包括切换通常状态和警报状态的报知装置，其中通常状态表示所有的处理液瓶的处理液在消费期限内的情况，警报状态表示至少一个处理液瓶的处理液已过期的情况，控制装置构成为还能够执行在存在处理液已过期的处理液瓶的情况下，控制报知装置以将通常状态切换为警报状态的步骤。在该情况下，通过防止使用已过期的处理液，能够实现可靠性的进一步提高。
也可以为，处理液供给装置还包括：内置第一承载器收纳部、第一瓶收纳部、送液部和第一输送部的壳体；以及调节壳体的内部的温度的温度调节部。在该情况下，利用将处理液瓶集中配置在处理液供给装置的壳体内的结构，能够用简单的结构管理处理液的温度。
也可以为，处理液供给系统还包括：收纳多个承载器的承载器保管装置；和在承载器保管装置与处理液供给装置之间输送承载器的自动输送装置。在该情况下，通过在承载器的供给源与处理液供给装置之间设置收纳多个承载器的承载器保管装置，能够进一步降低承载器的补充回收作业的频率。
也可以为，承载器保管装置包括：各自收纳多个承载器的多个第二承载器收纳部；收纳从承载器取出的处理液瓶的第二瓶收纳部；和在第二承载器收纳部与第二瓶收纳部之间输送处理液瓶的第二输送部，控制装置构成为还能够执行如下步骤：控制第二输送部以在该承载器与其他承载器之间更换处理液瓶，使得用于送到处理液供给装置的承载器内的多个处理液瓶成为收纳有适用于该处理液供给装置的处理液的状态。在该情况下，能够兼顾处理液瓶的补充回收作业的频率降低和无用的少量的处理液瓶供给。
本发明的另一方面的处理液供给装置包括：收纳承载器的第一承载器收纳部，其中承载器收纳有多个处理液瓶；收纳从承载器取出的处理液瓶的第一瓶收纳部；从自承载器取出的处理液瓶对基片处理装置送出处理液的送液部；和在第一承载器收纳部、第一瓶收纳部与送液部之间输送处理液瓶的第一输送部。
本发明的又一方面的承载器保管装置包括：收纳多个承载器的第二承载器收纳部，其中多个承载器各自收纳有多个处理液瓶；收纳从承载器取出的处理液瓶的第二瓶收纳部；在第二承载器收纳部与第二瓶收纳部之间输送瓶的第二输送部；和第二交接部，用于在其与对基片处理装置供给处理液的处理液供给装置之间进行承载器的交接。
发明效果
依照本发明，能够提供有效地减轻在基片处理中对处理液的瓶进行补充、回收的作业的负担的处理液供给系统、处理液供给装置和承载器保管装置。
附图说明
图1是表示处理液供给系统的构成的示意图。
图2是表示处理液供给装置的构成的示意图
图3是表示瓶保管装置的构成的示意图。
图4是表示控制装置的功能性构成的框图。
图5是表示控制装置的硬件构成的框图。
图6是表示处理液供给的开始处理顺序的流程图。
图7是表示接收承载器至输送处理瓶为止的期间的处理液供给装置的状态的示意图。
图8是表示送液开始处理的处理顺序的流程图。
图9是表示将处理液瓶输送到送液部至开始送液为止的期间的处理液供给装置的状态的示意图，
图10是表示处理液供给的继续处理顺序的流程图。
图11是表示瓶更换处理的处理顺序的流程图。
图12是表示更换处理液瓶的期间的处理液供给装置的状态的示意图。
图13是表示承载器的保管处理顺序的流程图。
具体实施方式
下面，参照附图，详细说明实施方式。在说明中，对相同要素或者具有相同功能的要素标注相同的附图标记，省略重复的说明。
(处理液供给系统)
如图1所示，本实施方式的处理液供给系统1是对至少一个基片处理装置90供给处理液的系统。基片处理装置90是使用从处理液供给系统1供给的处理液，来对半导体的晶片进行规定的处理的装置。例如基片处理装置90是对晶片的表面涂敷抗蚀剂膜形成用的处理液形成抗蚀剂膜，对曝光后的抗蚀剂膜供给显影用的处理液和冲洗用的处理液进行显影处理，形成抗蚀剂图案的装置。例如基片处理装置90包括抗蚀剂膜等覆膜形成用的处理单元91、92、93和显影处理用的处理单元94。
处理液供给系统1包括至少一个处理液供给装置10、承载器保管装置30、自动输送装置50、报知装置60和控制装置100。如图所示，处理液供给系统1可以包括多个处理液供给装置10。
处理液供给装置10从收纳有多个处理液瓶的承载器70取出处理液瓶，从处理液瓶对至少一个基片处理装置90送出处理液。承载器70所收纳的多个处理液瓶可以收纳相同种类的处理液，也可以收纳彼此不同种类的处理液。如图所示，各处理液供给装置10也可以构成为能够对多个基片处理装置90供给处理液。
承载器保管装置30收纳用于送到处理液供给装置10的多个承载器70。自动输送装置50在承载器保管装置30与处理液供给装置10之间输送承载器70。报知装置60报知处理液瓶内的处理液已过期的情况。控制装置100控制处理液供给装置10、承载器保管装置30、自动输送装置50和报知装置60。下面，说明各装置的构成。
(处理液供给装置)
如图2所示，处理液供给装置10包括交接部11、多个承载器收纳部12、多个瓶收纳部13、多个送液部14、输送部15、壳体16和温度调节部17。
交接部11(第一交接部)用于在其与自动输送装置50之间交接承载器70(即，在其与承载器保管装置30之间交接承载器70)。交接部11设置于处理液供给装置10的上部，能够使承载器70从上方出入。交接部11具有信息读取用的读取部21。承载器70具有保持读取部21的读取用的信息的信息保持部71。读取部21在交接部11内配置于能够读取信息保持部71的位置。
信息保持部71所保持的信息包含关于收纳在承载器70内的处理液瓶80的处理液的信息。例如，信息保持部71所保持的信息可以包含承载器70内的处理液瓶80所收纳的处理液的种类的信息。此外，信息保持部71所保持的信息也可以包含承载器70内的处理液瓶80所收纳的处理液的消费期限的信息。另外，信息保持部71所保持的信息还可以包含承载器70的识别信息。承载器70的识别信息与关于承载器70内的处理液瓶80所收纳的处理液的信息相关联地存储于数据库的情况下，该识别信息也是关于处理液的信息的一种。
信息保持部71例如可以为条码等图像图案，读取部21可以为用于获取该图像图案的照相机。另外，信息保持部71可以为存储有信息的ic芯片，读取部21可以为该ic芯片的读取器。
多个承载器收纳部12(第一承载器收纳部)各自收纳多个承载器70。多个承载器收纳部12在交接部11之下在上下方向上排列。
瓶收纳部13(第一瓶收纳部)收纳从承载器70取出的处理液瓶80。瓶收纳部13也可以构成为能够收纳多个处理液瓶80。多个瓶收纳部13在与承载器收纳部12隔开间隔的位置在上下方向上排列。多个瓶收纳部13包括：补充瓶收纳部22，其收纳从承载器70取出后且用于对基片处理装置90送液之前的处理液瓶80；和空瓶收纳部23，其收纳用于对基片处理装置90送液之后的处理液瓶80(以下称为“已用完的处理液瓶80”。)。
送液部14从自承载器70取出的处理液瓶80对基片处理装置90送出处理液。送液部14与多个瓶收纳部13在上下方向上排列。例如，送液部14配置于在上下方向上排列的瓶收纳部13之间。例如，送液部14包括开闭治具24、送液管路28、送液头25、泵26和液位传感器27。
开闭治具24在处理液瓶80的瓶盖82的开闭时，保持该瓶盖82。送液管路28是与基片处理装置90连接的管路。例如，送液管路28在中途分支与多个基片处理装置90连接。送液头25安装于打开的处理液瓶80(瓶盖82被取下的处理液瓶80)，从该处理液瓶80内对送液管路28送出处理液。泵26设置于送液管路28，从处理液瓶80侧对基片处理装置90侧加压输送处理液。液位传感器27检测处理液瓶80内的处理液的液位。液位传感器27例如是超声波式或者静电电容式等的非接触传感器。
输送部15(第一输送部)在承载器收纳部12、瓶收纳部13与送液部14之间输送处理液瓶80，在交接部11与承载器收纳部12之间输送承载器70。输送部15配置于交接部11与多个承载器收纳部12以及多个瓶收纳部13与送液部14之间。例如，输送部15是具有升降、水平移动、旋转和抓持等多个自由度的机械臂。输送部15构成为处理液瓶80的可输送范围包含多个送液部14。例如，输送部15处理液瓶80的可输送范围包括交接部11、所有的承载器收纳部12、所有的瓶收纳部13和所有的送液部14。
壳体16收纳交接部11、所有的承载器收纳部12、所有的瓶收纳部13和所有的送液部14。温度调节部17调节壳体16的内部的温度。例如，温度调节部17包括加热器、冷却器和风扇(均未图示)。
(承载器保管装置)
如图3所示，承载器保管装置30包括交接部31、送入部32、送出部33、多个承载器收纳部34、多个瓶收纳部35和输送部36。
交接部31(第二交接部)用于在其与自动输送装置50之间交接承载器70(即，在其与处理液供给装置10之间交接承载器70)。交接部31设置于承载器保管装置30的上部，能够使承载器70从上方出入。交接部31具有与上述读取部21相同的读取部39。读取部39配置于交接部31内能够读取上述信息保持部71的位置。
送入部32用于补充承载器70。送入部32设置于交接部31的下方，能够从侧方送入承载器70。送入部32具有与上述读取部21相同的读取部41。读取部41配置于送入部32中能够读取上述信息保持部71的位置。
送出部33用于送出收纳有已用完的处理液瓶80的承载器70。送出部33设置于交接部31的下方，能够向侧方送出承载器70。
多个承载器收纳部34(第二承载器收纳部)各自收纳多个承载器70。多个承载器收纳部34在交接部31、送入部32与送出部33之间在上下方向排列。
瓶收纳部35(第二瓶收纳部)收纳从承载器70取出的处理液瓶80。瓶收纳部35也可以构成为能够收纳多个处理液瓶80。多个瓶收纳部35在与承载器收纳部34隔开间隔的位置在上下方向排列。
输送部36(第二输送部)在承载器收纳部34与瓶收纳部35之间输送处理液瓶80，在交接部31、送入部32、送出部33与承载器收纳部34之间输送承载器70。输送部36配置与交接部31、送入部32、送出部33及多个承载器收纳部34、与多个瓶收纳部35之间。例如，输送部36是具有升降、水平移动、旋转和抓持等多个自由度的机械臂。输送部36构成为处理液瓶80的可输送范围包括交接部31、送入部32、送出部33、所有的承载器收纳部34和所有的瓶收纳部35。
壳体37收纳交接部31、送入部32、送出部33、所有的承载器收纳部34和所有的瓶收纳部35。温度调节部38调节壳体37的内部的温度。例如，温度调节部38包括加热器、冷却器和风扇(均未图示)。
此外，承载器保管装置30与处理液供给装置10同样还可以具有从自承载器70取出的处理液瓶80对基片处理装置90送出处理液的送液部。换言之，处理液供给系统1也可以构成为多个处理液供给装置10的任意者起到作为承载器保管装置30的作用。
(自动输送装置)
自动输送装置50例如是oht(overheadhoisttransfer：吊运转移装置)，包括：通过吸附或抓持等来保持承载器70的保持部51；使保持部51升降的升降部52；以及在承载器保管装置30与处理液供给装置10之间输送保持部51的输送部53。
(报知装置)
报知装置60是图像显示监视器或者警告灯等显示装置，切换表示处理液瓶80的处理液在消费期限内的通常状态和表示至少一个处理液瓶80的处理液已过期的警报状态。报知装置60构成为能够在警报状态下显示处理液已过期的处理液瓶80存在于哪些装置。
(控制装置)
控制装置100构成为能够执行如下步骤：控制输送部15以使得从承载器收纳部12的承载器70取出处理液瓶80并将其输送到瓶收纳部13的步骤；控制输送部15以使得将处理液瓶80从瓶收纳部13输送到送液部14的步骤；和控制输送部15以使得将已用完的处理液瓶80从送液部14收纳在承载器收纳部12的承载器70的步骤。
控制装置100还构成为能够执行如下步骤：控制输送部15以使得将配置于交接部11的承载器70输送到承载器收纳部12的步骤；和控制输送部15以使得将收纳有已用完的处理液瓶80的承载器70从承载器收纳部12输送到交接部11的步骤。控制装置100也可以控制输送部15，以使得在送液部14配置处理液瓶80后至该处理液瓶80成为已用完的状态的期间，在承载器收纳部12的承载器70与承载器保管装置30之间输送其他处理液瓶80。控制装置100也可以构成为能够执行控制输送部15以使得在送液部14中开闭处理液瓶80的瓶盖82的步骤，还可以构成为能够执行控制输送部15以使得将送液头25安装在处理液瓶80的步骤。
控制装置100也可以基于信息保持部71保持的信息，获取处理液瓶80所收纳的处理液的种类的信息，基于处理液的种类挑选要从承载器70取出的处理液瓶80。控制装置100也可以基于信息保持部71保持的信息，获取处理液瓶80所收纳的处理液的消费期限的信息，挑选要从承载器70取出的处理液瓶80以使得将处理液的消费期限临近的处理液瓶80优先被输送到送液部14。控制装置100还可以构成能够执行在存在处理液已过期的处理液瓶80的情况下，控制报知装置60以使得将上述通常状态切换至上述警报状态的步骤。
控制装置100还可以构成为能够执行如下步骤：控制输送部36以在该承载器70与其他承载器70之间更换处理液瓶80，使得用于送到处理液供给装置10的承载器70内的多个处理液瓶80成为收纳有适用于该处理液供给装置10的处理液的状态。
如图4例示的那样，控制装置100作为功能上的构成(以下称为“功能模块”。)包括控制处理液供给装置10的第一控制部110、控制承载器保管装置30的第二控制部130、控制自动输送装置50的第三控制部140和存储处理液瓶80的信息的瓶数据库150。
例如，瓶数据库150包含将处理液瓶80的识别信息、处理液瓶80的所在信息、处理液瓶80所收纳的处理液的种类、处理液瓶80所收纳的处理液的消费期限相关联的表格数据。在处理液瓶80收纳于承载器70的情况下，处理液瓶80的所在信息包含承载器70的识别信息和承载器70的所在信息。承载器70的所在信息包含承载器70的配置部位(交接部11、31、承载器收纳部12、34、送入部32或者送出部33)的识别信息。在处理液瓶80位于承载器70外的情况下，处理液瓶80的所在信息包含处理液瓶80的配置部位(瓶收纳部13、35)的识别信息。
第一控制部110中，作为更细分的功能模块，包括指令获取部111、瓶数据更新部112、瓶挑选部113、输送控制部114、瓶盖开闭控制部115、头拆装控制部116、送液控制部117、外部输送要求部118、承载器补充要求部119、期限确认部121和警报切换部122。
指令获取部111获取操作者的指令输入或者来自上位控制装置的指令输入。瓶数据更新部112根据读取部21所读取的信息保持部71的信息和由输送部15进行的处理液瓶80的输送的信息，来更新瓶数据库150的内容。例如，瓶数据更新部112根据读取部21所读取的承载器70的识别信息和由输送部15进行的承载器70的输送的信息来更新承载器70的所在信息，根据由输送部15进行的处理液瓶80的输送的信息来更新处理液瓶80的所在信息。
瓶挑选部113基于信息保持部71保持的信息，获取处理液瓶80所收纳的处理液的种类的信息，基于处理液的种类挑选要从承载器70取出的处理液瓶80。另外，瓶挑选部113基于信息保持部71保持的信息来获取处理液瓶80所收纳的处理液的消费期限的信息，挑选要从承载器70取出的处理液瓶80以使得将处理液的消费期限临近的处理液瓶80优先输送到送液部14。例如，瓶挑选部113参照存储于瓶数据库150的信息，获取承载器70内的处理液瓶80所收纳的处理液的种类和消费期限的信息。如上所述，存储在瓶数据库150的承载器70的所在信息基于信息保持部71保持的信息被更新。因此，基于存储于瓶数据库150的信息，相当于基于信息保持部71所保持的信息。
输送控制部114执行如下步骤：控制输送部15以使得从承载器收纳部12的承载器70取出处理液瓶80并将其输送到补充瓶收纳部22的步骤；控制输送部15以使得将处理液瓶80从补充瓶收纳部22输送到送液部14的步骤；控制输送部15以使得将已用完的处理液瓶80从送液部14输送并收纳在承载器收纳部12的承载器70的步骤；控制输送部15以使得将配置于交接部11的承载器70输送到承载器收纳部12的步骤；和控制输送部15以使得将收纳有已用完的处理液瓶80的承载器70从承载器收纳部12输送到交接部11。
输送控制部114也可以构成为能够执在送液部14配置处理液瓶80后至该处理液瓶80成为已用完的状态的期间，行如下步骤的至少一者：在承载器收纳部12的承载器70与承载器保管装置30之间输送其他处理液瓶80的步骤；以及在交接部11与承载器收纳部12之间输送承载器70的步骤。
瓶盖开闭控制部115控制输送部15以使得在送液部14中进行处理液瓶80的瓶盖82的开闭。头拆装控制部116控制输送部15以对处理液瓶80拆装送液头25。
送液控制部117控制送液部14以使得开始或停止对基片处理装置90送液。例如，送液控制部117在将送液头25安装到处理液瓶80后，控制送液部14以使泵26从关闭状态成为打开状态，在由液位传感器27检测的液位达到了送液完成的水平时，控制送液部14以使泵26从打开状态成为关闭状态。
外部输送要求部118对第三控制部140发送要求将已用完的承载器70(所有的处理液瓶80成为已用完的状态的承载器70)输送到承载器保管装置30的信号。承载器补充要求部119对第二控制部130发送要求补充承载器70的信号。要求补充承载器70的信号也可以包含指定补充用的承载器70内的处理液瓶80所收纳的处理液的种类的信息。
期限确认部121参照存储于瓶数据库150的信息，确认处理液供给装置10中是否存在处理液已过期的处理液瓶80。警报切换部122在处理液供给装置10中存在处理液已过期的处理液瓶80的情况下，控制报知装置60以使得将上述通常状态切换至上述警报状态。此时，警报切换部122也可以控制报知装置60以显示存在处理液已过期的处理液瓶80的处理液供给装置10。
第二控制部130中，作为更细分的功能模块，包括指令获取部131、瓶数据更新部132、补充要求获取部133、输送控制部134、外部输送要求部135、期限确认部136和警报切换部137。
指令获取部131获取操作者的指令输入或者来自上位控制装置的指令输入。瓶数据更新部132根据读取部39、41所读取的信息保持部71的信息和由输送部36进行的处理液瓶80的输送的信息，来更新瓶数据库150的内容。例如，瓶数据更新部132根据读取部39、41所读取的承载器70的识别信息和由输送部36进行的承载器70的输送的信息来更新承载器70的所在信息，根据由输送部36进行的处理液瓶80的输送的信息来更新处理液瓶80的所在信息。
补充要求获取部133获取从第一控制部110的承载器补充要求部119发送的信号(要求补充承载器70的信号)。输送控制部134控制输送部36以在该承载器70与其他承载器70之间更换处理液瓶80，使得用于送到处理液供给装置10的承载器70内的多个处理液瓶80成为收纳有适用于该处理液供给装置10的处理液的状态。例如，输送控制部134控制输送部36以在该承载器70与其他承载器70之间更换处理液瓶80，使得用于送到处理液供给装置10的承载器70内的多个处理液瓶80成为收纳有与从承载器补充要求部119获取的信号一致的处理液。
外部输送要求部135对第三控制部140发送要求将与从承载器补充要求部119获取的信号相应的承载器70输送到处理液供给装置10的信号。期限确认部136参照存储于瓶数据库150的信息，确认承载器保管装置30中是否存在处理液已过期的处理液瓶80。
警报切换部137在承载器保管装置30中存在处理液已过期的处理液瓶80的情况下，控制报知装置以将上述通常状态切换至上述警报状态。此时，警报切换部137也可以控制报知装置60，使得表示承载器保管装置30中存在处理液已过期的处理液瓶80的情况。
第三控制部140根据来自外部输送要求部118和外部输送要求部135的信号，控制自动输送装置50以在承载器保管装置30的交接部31与处理液供给装置10的交接部11之间输送承载器70。
控制装置100由控制用计算机构成。例如，控制装置100具有图5所示的电路190。电路190包括一个或者多个处理器191、内存192、存储器193和输入输出端口194。存储器193例如包括硬盘等计算机可读取的存储介质。存储介质存储有用于使处理液供给装置10、承载器保管装置30和自动输送装置50执行后述的处理液供给步骤的程序。存储介质可以为非易失性的半导体存储器、磁盘和光盘等可取出的介质。内存192暂时存储从存储器193的存储介质下载的程序和处理器191的运算结果。处理器191与内存192协作地执行上述程序，从而构成上述的各功能模块。输入输出端口194根据来自处理器191的指令，在读取部21、39、41、输送部15，36、泵26、液位传感器27、自动输送装置50、与报知装置60之间进行信号的输入输出。
此外，控制装置100的硬件构成并不限于必须由程序构成各功能模块。例如，控制装置100的各功能模块可以由专用的逻辑电路或者将其集成而得的asic(applicationspecificintegratedcircuit：专用集成电路)构成。另外，控制装置100可以分为通过通信线路连接的多个控制用计算机。例如，控制装置100可以分为处理液供给装置10用的控制用计算机、承载器保管装置30用的控制用计算机、和自动输送装置50用的控制用计算机。
(处理液供给步骤)
接着，作为处理液供给方法的一例，说明处理液供给系统1执行的处理液供给步骤。
(处理液供给开始处理顺序)
首先，说明从处理液供给装置10对基片处理装置90开始供给处理液为止的步骤(以下称为“处理液供给开始处理顺序”。)。如图6所示，控制装置100首先依次执行步骤s01、s02、s03、s04。在步骤s01中，瓶数据更新部112在用自动输送装置50将承载器70配置到交接部11时待机(参照图7的(a))。在步骤s02中，瓶数据更新部112从读取部21获取承载器70的信息保持部71保持的信息。在步骤s03中，输送控制部114控制输送部15，以从交接部11对任一承载器收纳部12输送承载器70(参照图7的(b))。在步骤s04中，根据步骤s03中的承载器70的输送，瓶数据更新部112更新瓶数据库150的内容。例如，瓶数据更新部112根据步骤s03中的承载器70的输送，来更新该承载器70的所在信息。
接着，控制装置100依次执行步骤s05、s06、s07、s08。在步骤s05中，瓶挑选部113参照存储于瓶数据库150的信息，获取承载器70内的处理液瓶80所收纳的处理液的种类和消费期限的信息。在步骤s06中，基于在步骤s05中获取到的信息，瓶挑选部113挑选要从承载器70取出的处理液瓶80。
瓶挑选部113基于处理液的种类挑选要从承载器70取出的处理液瓶80。另外，瓶挑选部113挑选要从承载器70取出的处理液瓶80，以使得处理液的消费期限临近的处理液瓶80优先被输送到送液部14。例如，瓶挑选部113基于处理液的种类挑选要从承载器70取出的成为候补的多个处理液瓶80，挑选该多个处理液瓶80中的处理液最接近消费期限的处理液瓶80。
在步骤s07中，输送控制部114控制输送部15，以将在步骤s06中挑选出的处理液瓶80从承载器70取出并输送到补充瓶收纳部22(参照图7的(c))。在步骤s08中，根据步骤s07中的处理液瓶80的输送，瓶数据更新部112更新瓶数据库150的内容。例如，瓶数据更新部112根据步骤s07中的处理液瓶80的输送，来更新该处理液瓶80的所在信息。此外，在步骤s06、s07中，也可以挑选、输送多个处理液瓶80。
接着，控制装置100执行步骤s09、s11。在步骤s09中，包括从补充瓶收纳部22对送液部14输送处理液瓶80开始送液的处理(以下称为“送液开始处理”。)。送液开始处理的具体的处理内容在后文说明。在步骤s11中，送液控制部117确认在所有的送液部14中是否开始送液。在步骤s11中，在判断为存在没有开始送液的送液部14的情况下，控制装置100使处理返回步骤s09。然后，反复进行送液开始处理，直到所有的送液部14中开始送液。在步骤s11中，在判断为在所有的送液部14中开始送液的情况下，控制装置100完成处理液供给开始处理顺序。
图8是表示步骤s09中的送液开始处理的处理顺序的流程图。如图8所示，控制装置100依次执行步骤s21、s22、s23、s24、s25。
在步骤s21中，输送控制部114控制输送部15以使得将处理液瓶80从补充瓶收纳部22输送到送液部14。在步骤s22中，瓶盖开闭控制部115控制输送部15以使得打开输送到送液部14的处理液瓶80的瓶盖82。例如，瓶盖开闭控制部115控制输送部15以使得在将处理液瓶80的瓶盖82保持于送液部14的开闭治具24的状态下使处理液瓶80下降(参照图9的(a)和(b))。在步骤s23中，头拆装控制部116控制输送部15以对步骤s22中瓶盖82被取下的处理液瓶80安装送液头25。
例如，头拆装控制部116控制输送部15以使得在将处理液瓶80配置于送液头25的下方后，使该处理液瓶80上升至送液头25侧(参照图9的(c))。在步骤s24中，送液控制部117控制送液部14以使得泵26从关闭状态成为打开状态。在步骤s25中，根据步骤s21中的处理液瓶80的输送，瓶数据更新部112更新瓶数据库150的内容。
(处理液供给继续处理顺序)
接着，对一边更换送液部14中的处理液瓶80，一边继续从处理液供给装置10对基片处理装置90供给处理液的处理(以下，称为“处理液供给继续处理顺序”)进行说明。
如图10所示，控制装置100首先执行步骤s31。在步骤s31中，送液控制部117确认任意送液部14中处理液瓶80是否成为已用完的状态。处理液瓶80成为已用完的状态是指，由液位传感器27检测的液位达到了送液完成的水平。
在步骤s31中，在判断为在任意送液部14中处理液瓶80成为已用完的状态的情况下，控制装置100执行步骤s32。步骤s32包括在处理液瓶80成为已用完的状态的送液部14(以下，称为“更换对象的送液部14”。)中，更换处理液瓶80的处理(以下，称为“瓶更换处理”。)。
图11是表示步骤s32中的瓶更换处理的处理顺序的流程图。如图11所示，控制装置100首先依次执行在步骤s61、s62、s63、s64。在步骤s61中，送液控制部117控制更换对象的送液部14以使泵26从打开状态成为关闭状态。在步骤s62中，头拆装控制部116控制输送部15以使得从已用完的处理液瓶80取下送液头25。例如，头拆装控制部116控制输送部15，以使得已用完的处理液瓶80下降而远离送液头25(参照图12的(a))。在步骤s63中，瓶盖开闭控制部115控制输送部15以关闭已用完的处理液瓶80的瓶盖82。例如，瓶盖开闭控制部115控制输送部15，以使得在更换对象的送液部14的开闭治具24所保持的瓶盖82的下方配置了已用完的处理液瓶80后，使该处理液瓶80向该瓶盖82侧上升(参照图12的(b))。在步骤s64中，输送控制部114控制输送部15，以将已用完的处理液瓶80从更换对象的送液部14输送到空瓶收纳部23(参照图12的(c))。
接着，控制装置100依次执行步骤s65、s66、s67、s68。在步骤s65中，输送控制部114控制输送部15，以将处理液瓶80从补充瓶收纳部22输送到更换对象的送液部14。在步骤s66中，瓶盖开闭控制部115控制输送部15，以使得打开输送到更换对象的送液部14的处理液瓶80的瓶盖82(与步骤s22相同)。在步骤s67中，头拆装控制部116控制输送部15以将送液头25安装到在步骤s66中瓶盖82被取下的处理液瓶80(与步骤s23相同)。在步骤s68中，送液控制部117控制更换对象的送液部14以使泵26从关闭状态成为打开状态。
接着，控制装置100依次执行步骤s69、s71。在步骤s69中，输送控制部114控制输送部15，以使得从空瓶收纳部23输送已用完的处理液瓶80并将其收纳在承载器收纳部12的承载器70(参照图12的(d))。在步骤s71中，根据步骤s69中的处理液瓶80的输送，瓶数据更新部112更新瓶数据库150的内容。以上，步骤s32中的瓶更换处理完成。
返回图10，在步骤s31中判断为任意送液部14中处理液瓶80都没有成为已用完的状态的情况下，控制装置100执行步骤s33。在步骤s33中，瓶数据更新部112确认是否在交接部11配置有补充用的承载器70。
在步骤s33中，在判断为在交接部11配置有补充用的承载器70的情况下，控制装置100依次执行步骤s34、s35、s36。在步骤s34中，瓶数据更新部112从读取部21获取承载器70的信息保持部71保持的信息。在步骤s35中，输送控制部114控制输送部15以使得从交接部11对任意承载器收纳部12输送承载器70。在步骤s36中，根据在步骤s35中的承载器70的输送，瓶数据更新部112更新瓶数据库150的内容。
在步骤s33中，在判断为在交接部11没有配置补充用的承载器70的情况下，控制装置100执行步骤s37。在步骤s37中，输送控制部114确认是否存在已用完的承载器70(所有的处理液瓶80成为已用完的状态的承载器70)。
在步骤s37中，在判断为存在已用完的承载器70的情况下，控制装置100依次执行步骤s38、s39、s41。在步骤s38中，输送控制部114控制输送部15，以将已用完的承载器70从承载器收纳部12输送到交接部11。在步骤s39中，承载器补充要求部119对第二控制部130的补充要求获取部133发送要求补充承载器70的信号。在步骤s41中，外部输送要求部118对第三控制部140发送要求将已用完的承载器70输送到承载器保管装置30的信号。与此相应，第三控制部140控制自动输送装置50，以将已用完的承载器70从处理液供给装置10的交接部11输送到承载器保管装置30的交接部31。
在步骤s37中，在判断为没有已用完的承载器70的情况下，控制装置100执行步骤s42。在步骤s42中，输送控制部114确认是否需要对补充瓶收纳部22补充处理液瓶80。例如，输送控制部114在补充瓶收纳部22的处理液瓶80的数量比规定数量少的情况下，判断为需要处理液瓶80的补充。
在步骤s42中，在判断为需要对补充瓶收纳部22补充处理液瓶80的情况下，控制装置100依次执行步骤s43、s44、s45、s46。在步骤s43中，瓶挑选部113参照存储于瓶数据库150的信息，获取承载器70内的处理液瓶80所收纳的处理液的种类和消费期限的信息。在步骤s44中，基于在步骤s43中所获取的信息，瓶挑选部113挑选要从承载器70取出的处理液瓶80(与步骤s06相同)。在步骤s45中，输送控制部114控制输送部15，将在步骤s44中所挑选的处理液瓶80从承载器70取出并输送到补充瓶收纳部22。在步骤s46中，根据在步骤s45中的处理液瓶80的输送，瓶数据更新部112更新瓶数据库150的内容。
在步骤s32、s36、s41、s46后，控制装置100执行步骤s47。在步骤s42中，在判断为不需要对补充瓶收纳部22补充处理液瓶80的情况下，控制装置100执行步骤s47。在步骤s47中，指令获取部111确认是否存在指令。
在步骤s47中，在判断为不存在停止指令的情况下，控制装置100执行步骤s48。在步骤s48中，期限确认部121参照存储于瓶数据库150的信息，确认处理液供给装置10中是否存在处理液已过期的处理液瓶80。
在步骤s48中，在判断为存在处理液已过期的处理液瓶80的情况下，控制装置100执行步骤s49。在步骤s49中，警报切换部122控制报知装置60以将上述通常状态切换至上述警报状态。之后，控制装置100使处理返回步骤s31。在步骤s48中，在判断为不存在处理液已过期的处理液瓶80的情况下，控制装置100不执行步骤s49而使处理返回步骤s31。
然后，一边根据需要更换送液部14中的处理液瓶80，一边继续从处理液供给装置10对基片处理装置90供给处理液，直至被输入停止指令。在送液部14配置处理液瓶80后，至该处理液瓶80成为已用完的状态的期间(即，判断为在任意送液部14中处理液瓶80没有成为已用完的状态的期间)，根据需要执行如下步骤的至少一者：在承载器收纳部12的承载器70与承载器保管装置30之间输送其他处理液瓶80的步骤；以及在交接部11与承载器收纳部12之间输送承载器70的步骤的。
在步骤s47中，在判断为存在停止指令的情况下，控制装置100执行步骤s51。在步骤s51中，送液控制部117控制所有的送液部14，以使得将泵26从关闭状态切换至打开状态。如上所述，处理液供给继续处理顺序完成。
(承载器保管处理顺序)
接着，说明承载器保管装置30中的承载器70的保管处理顺序。如图13所示，控制装置100首先执行步骤s81。在步骤s81中，补充要求获取部133确认是否接收到要求补充承载器70的信号。
在步骤s81中，在判断为接收到了要求补充承载器70的信号的情况下，控制装置100依次执行步骤s82、s83、s84、s85。在步骤s82中，输送控制部134控制输送部36以在该承载器70与其他承载器70之间更换处理液瓶80，使得用于送到处理液供给装置10的承载器70内的多个处理液瓶80成为收纳有与从承载器补充要求部119获取的信号一致的处理液的状态。此时，输送控制部134也可以控制输送部36，以使得经瓶收纳部35输送处理液瓶80。在步骤s83中，根据步骤s82中的处理液瓶80的输送，瓶数据更新部132更新瓶数据库150的内容。在步骤s84中，输送控制部134控制输送部36，以将补充用的承载器70(用于送到处理液供给装置10的承载器70)从承载器收纳部34输送到交接部31。在步骤s85中，外部输送要求部135对第三控制部140发送要求对处理液供给装置10输送补充用的承载器70的信号。与之相应，第三控制部140控制自动输送装置50，以将补充用的承载器70从承载器保管装置30的交接部31输送到处理液供给装置10的交接部11。
在步骤s81中，在判断为没有接收到要求补充承载器70的信号的情况下，控制装置100执行步骤s86。在步骤s86中，瓶数据更新部132确认是否在送入部32配置有承载器70。
在步骤s86中，在判断为在送入部32配置有承载器70的情况下，控制装置100依次执行步骤s87、s88、s89。在步骤s87中，瓶数据更新部132从读取部41获取承载器70的信息保持部71保持的信息。在步骤s88中，输送控制部134控制输送部36，以将承载器70从送入部32输送到任意承载器收纳部34。在步骤s89中，根据在步骤s87中读取到的数据，将新的承载器70(在步骤s88中被输送的承载器70)内的处理液瓶80的数据登记在瓶数据库150中。
在步骤s86中，在判断为在送入部32没有配置承载器70的情况下，控制装置100执行步骤s91。在步骤s91中，瓶数据更新部132确认是否在交接部31配置有上述已用完的承载器70。
在步骤s91中，在判断为在交接部31配置有已用完的承载器70的情况下，控制装置100依次执行步骤s92、s93、s94。在步骤s92中，瓶数据更新部132从读取部39获取承载器70的信息保持部71保持的信息。在步骤s93中，输送控制部134控制输送部36，以将承载器70从交接部31输送到送出部33。在步骤s94中，根据在步骤s93中的承载器70的输送，瓶数据更新部132更新瓶数据库150的内容。例如，瓶数据更新部132从瓶数据库150删除在步骤s93中被输送的承载器70内的处理液瓶80的信息。
在步骤s85、s89、s94后，控制装置100执行步骤s95。在步骤s91中，在判断为在交接部31没有配置已用完的承载器70的情况下，控制装置100执行步骤s95。在步骤s95中，指令获取部131确认是否存在停止指令。
在步骤s95中，在判断为不存在停止指令的情况下，控制装置100执行步骤s96。在步骤s96中，期限确认部136参照存储于瓶数据库150的信息，确认承载器保管装置30中是否存在处理液已过期的处理液瓶80。
在步骤s96中，在判断为存在处理液已过期的处理液瓶80的情况下，控制装置100执行步骤s97。在步骤s97中，警报切换部137控制报知装置60，以将上述通常状态切换至上述警报状态。之后，控制装置100使处理返回步骤s81。在步骤s96中，在判断为不存在处理液已过期的处理液瓶80的情况下，控制装置100不执行步骤s97而使处理返回步骤s81。然后，一边根据需要进行补充用的承载器70的准备、新的承载器70的接收、已用完的承载器70的送出，一边继续保管承载器70，直至被输入停止指令。
在步骤s95中，在判断为存在停止指令的情况下，控制装置100完成承载器70的保管处理顺序。
(实施方式的效果)
如以上说明的方式，处理液供给系统1包括处理液供给装置10和控制装置100，处理液供给装置10包括：收纳承载器70的承载器收纳部12，其中承载器70收纳有多个处理液瓶80；收纳从承载器70取出的处理液瓶80的瓶收纳部13；从自承载器70取出的处理液瓶80对基片处理装置90送出处理液的送液部14；和在承载器收纳部12、瓶收纳部13与送液部14之间输送处理液瓶80的输送部15，控制装置100构成为能够执行如下步骤：控制输送部15，以使得从承载器收纳部12的承载器70取出处理液瓶80并将其输送到瓶收纳部13的步骤；控制输送部15，以使得从瓶收纳部13对送液部输送处理液瓶80的步骤；和控制输送部15，以使得将已用完的处理液瓶80从送液部14输送并收纳在承载器收纳部12的承载器70的步骤。
依照该处理液供给系统1，能够自动执行从承载器70取出处理液瓶80并将其配置在送液部的步骤和将已用完的处理液瓶80送回承载器的步骤，因此能够进行按承载器70单位的处理液瓶80的补充、回收。由此，能够降低处理液瓶80的补充回收作业的频率。另外，通过使用瓶收纳部13进行按处理液瓶80单位的缓冲(buffering)，能够保证送液部14中更换处理液瓶80的迅速性。所以，对于减轻基片处理中对处理液瓶80进行补充回收的作业的负担，是有效的。
也可以为，处理液供给装置10还包括承载器70交接用的交接部11，控制装置100构成为还能够执行如下步骤：控制输送部15，以将配置于交接部11的承载器70输送到承载器收纳部12的步骤；和控制输送部15，以将收纳有已用完的处理液瓶80的承载器70从承载器收纳部12输送到交接部11的步骤。在该情况下，能够将对处理液供给装置10交接承载器70的交接作业简单化。承载器70的交接作业的简单化能够有助于该作业的自动化。所以，对于更换处理液瓶80的作业的进一步的负担减轻是有效的。
也可以为，控制装置100控制输送部15，以使得在送液部14配置处理液瓶80后至该处理液瓶80成为已用完的状态的期间，在承载器收纳部12的承载器70与瓶收纳部13之间输送其他处理液瓶80。在该情况下，在送液部14配置处理液瓶80后至该处理液瓶80成为已用完的状态的期间，通过进行按处理液瓶80单位的缓冲，能够更可靠地保证送液部14中更换处理液瓶80的迅速性。
也可以为，处理液供给装置10具有多个送液部14，输送部15构成为处理液瓶80的可输送范围包含多个送液部14。在该情况下，通过在多个送液系统中共用第一输送部15，能够实现装置结构的简单化。
也可以为，控制装置100构成为还能够执行控制输送部15以使得在送液部14中进行处理液瓶80的瓶盖的开闭的步骤。在该情况下，用于开闭瓶盖82的结构的至少一部分在多个送液系统中共用，因此能够实现装置结构的简单化。
也可以为，送液部14具有用于从处理液瓶80内送出处理液的送液头25，控制装置100构成为还能够执行控制输送部15以将送液头25安装在处理液瓶80的步骤。在该情况下，用于安装送液头25的结构的至少一部分在多个送液系统中共用，因此能够实现装置结构的进一步简单化。
也可以为，承载器70具有信息保持部71，该信息保持部71保持关于收纳于处理液瓶80的处理液的信息，控制装置100基于信息保持部71保持的信息来获取处理液瓶80所收纳的处理液的种类的信息，基于处理液的种类来挑选要从承载器70取出的处理液瓶80。在该情况下，利用信息保持部71所保持的信息，能够实现处理液供给装置10中的处理液瓶80输送的高效率化。
也可以为，控制装置100基于信息保持部71保持的信息来获取处理液瓶80所收纳的处理液的消费期限的信息，挑选要从承载器70取出的处理液瓶80以将处理液的消费期限临近的处理液瓶80优先输送到送液部14。在该情况下，能够抑制发生处理液过期。
也可以为，处理液供给系统还包括切换通常状态和警报状态的报知装置60，其中该通常状态表示所有的处理液瓶80的处理液在消费期限内的情况，该警报状态表示至少一个处理液瓶80的处理液已过期的情况，控制装置100构成为还能够执行在存在处理液已过期的处理液瓶80的情况下，控制报知装置60以将通常状态切换至警报状态的步骤。在该情况下，通过防止使用已过期的处理液，能够实现可靠性的进一步提高。
也可以为，处理液供给装置10还包括：内置承载器收纳部12、瓶收纳部13、送液部14和输送部15的壳体16；以及调节壳体16的内部的温度的温度调节部17。在该情况下，利用将处理液瓶集中配置在处理液供给装置10的壳体16内的结构，能够用简单的结构管理处理液的温度。
也可以为，处理液供给系统1还包括：收纳多个承载器70的承载器保管装置30；和在承载器保管装置30与处理液供给装置10之间输送承载器70的自动输送装置50。在该情况下，通过在承载器70的供给源与处理液供给装置10之间设置收纳多个承载器70的承载器保管装置30，能够进一步降低承载器70的补充回收作业的频率。
也可以为，承载器保管装30包括：各自收纳多个承载器70的多个承载器收纳部34；收纳从承载器70取出的处理液瓶80的瓶收纳部35；和在承载器收纳部34与瓶收纳部35之间输送处理液瓶80的输送部36，控制装置100构成为还能够执行如下步骤：控制输送部36以在该承载器70与其他承载器70之间更换处理液瓶80，使得用于送到处理液供给装置10的承载器70内的多个处理液瓶80成为收纳有适用于该处理液供给装置10的处理液的状态。在该情况下，能够兼顾处理液瓶80的补充回收作业的频率降低和减少无用的处理液瓶80的供给。
以上，对实施方式进行了说明，但是本发明并不一定限于上述的实施方式，在不脱离其主旨的范围能够进行各种各样的变更。基片处理装置90中的处理对象的基片不限于半导体基片，例如可以为玻璃基片、掩模基片、fpd(flatpaneldisplay：平板显示器)等。
以上的实施方式，如以下所付记。
(付记1)
一种处理液供给系统，其中：
包括处理液供给装置和控制装置，
上述处理液供给装置包括：
收纳承载器的第一承载器收纳部，其中上述承载器收纳有多个处理液瓶；
收纳从上述承载器取出的上述处理液瓶的第一瓶收纳部；
从自上述承载器取出的上述处理液瓶对基片处理装置送出处理液的送液部；和
在上述第一承载器收纳部、上述第一瓶收纳部与上述送液部之间输送上述处理液瓶的第一输送部，
上述控制装置构成为能够执行如下步骤：
控制上述第一输送部，以使得从上述第一承载器收纳部的上述承载器取出上述处理液瓶并将其输送到上述第一瓶收纳部的步骤；
控制上述第一输送部，以使得从上述第一瓶收纳部对上述送液部输送上述处理液瓶的步骤；和
控制上述第一输送部，以使得将已用完的上述处理液瓶从上述送液部输送并收纳在上述第一承载器收纳部的上述承载器的步骤。
(付记2)
如付记1记载的处理液供给系统，其中，
上述处理液供给装置还包括上述承载器交接用的第一交接部，
上述控制装置构成为还能够执行如下步骤：
控制上述第一输送部，以使得将配置于上述第一交接部的上述承载器输送到上述第一承载器收纳部的步骤；和
控制上述第一输送部，以使得将收纳有已用完的上述处理液瓶的上述承载器从上述第一承载器收纳部输送到上述第一交接部的步骤。
(付记3)
如付记1或2记载的处理液供给系统，其中，
上述控制装置控制上述第一输送部，以使得在上述送液部配置上述处理液瓶后至该处理液瓶成为已用完的状态的期间，在上述第一承载器收纳部的上述承载器与上述第一瓶收纳部之间输送其他上述处理液瓶。
(付记4)
如付记1～3中任一项记载的处理液供给系统，其中，
上述处理液供给装置具有多个上述送液部，
上述第一输送部构成为上述处理液瓶的可输送范围包含上述多个送液部。
(付记5)
如付记4记载的处理液供给系统，其中，
上述控制装置构成为还能够执行控制上述第一输送部以使得在上述送液部中进行上述处理液瓶的瓶盖的开闭的步骤。
(付记6)
如付记5记载的处理液供给系统，其中，
上述送液部具有用于从上述处理液瓶内送出处理液的送液头，
上述控制装置构成为还能够执行控制上述第一输送部以将上述送液头安装在上述处理液瓶的步骤。
(付记7)
如付记2～6中任一项记载的处理液供给系统，其中，
上述承载器具有信息保持部，上述信息保持部保持关于上述处理液瓶所收纳的处理液的信息，
上述控制装置基于上述信息保持部保持的信息来获取上述处理液瓶所收纳的处理液的种类的信息，基于处理液的种类来挑选要从上述承载器取出的上述处理液瓶。
(付记8)
如付记7记载的处理液供给系统，其中，
上述控制装置基于上述信息保持部保持的信息来获取上述处理液瓶所收纳的处理液的消费期限的信息，挑选要从上述承载器取出的上述处理液瓶以使得处理液的消费期限临近的上述处理液瓶优先被输送到上述送液部。
(付记9)
如付记8记载的处理液供给系统，其中，
还包括切换通常状态和警报状态的报知装置，其中上述通常状态表示所有的上述处理液瓶的处理液在消费期限内的情况，上述警报状态表示至少一个上述处理液瓶的处理液已过期的情况，
上述控制装置构成为还能够执行在存在上述处理液已过期的上述处理液瓶的情况下，控制报知装置以将上述通常状态切换为上述警报状态的步骤。
(付记10)
如付记1～9中任一项记载的处理液供给系统，其中，
上述处理液供给装置还包括：
内置上述第一承载器收纳部、上述第一瓶收纳部、上述送液部和上述第一输送部的壳体；以及
调节上述壳体的内部的温度的温度调节部。
(付记11)
如付记1～10中任一项记载的处理液供给系统，其中，还包括：
收纳多个上述承载器的承载器保管装置；和
在上述承载器保管装置与上述处理液供给装置之间输送上述承载器的自动输送装置。
(付记12)
如付记11记载的处理液供给系统，其中，
上述承载器保管装置包括：
各自收纳多个上述承载器的多个第二承载器收纳部；
收纳从上述承载器取出的上述处理液瓶的第二瓶收纳部；和
在上述第二承载器收纳部与上述第二瓶收纳部之间输送上述处理液瓶的第二输送部，
上述控制装置构成为还能够执行如下步骤：控制上述第二输送部以在该承载器与其他上述承载器之间更换上述处理液瓶，使得用于送到上述处理液供给装置的上述承载器内的上述多个处理液瓶成为收纳有适用于该处理液供给装置的处理液的状态。
(付记13)
一种处理液供给装置，其中，包括：
收纳承载器的第一承载器收纳部，其中上述承载器收纳有多个处理液瓶；
收纳从上述承载器取出的上述处理液瓶的第一瓶收纳部；
从自上述承载器取出的上述处理液瓶对基片处理装置送出处理液的送液部；和
在上述第一承载器收纳部、上述第一瓶收纳部与上述送液部之间输送上述处理液瓶的第一输送部。
(付记14)
一种承载器保管装置，其中，包括：
收纳多个承载器的第二承载器收纳部，其中上述多个承载器各自收纳有多个处理液瓶；
收纳从上述承载器取出的上述处理液瓶的第二瓶收纳部；
在上述第二承载器收纳部与上述第二瓶收纳部之间输送上述瓶的第二输送部；和
第二交接部，用于在其与对基片处理装置供给处理液的处理液供给装置之间进行承载器的交接。
附图标记说明
1…处理液供给系统；10…处理液供给装置；11…交接部(第一交接部)；12…承载器收纳部(第一承载器收纳部)；13…瓶收纳部(第一瓶收纳部)；14…送液部；15…输送部(第一输送部)；16…壳体；17…温度调节部；25…送液头；30…承载器保管装置；34…承载器收纳部(第二承载器收纳部)；35…瓶收纳部(第二瓶收纳部)；36…输送部(第二输送部)；50…自动输送装置；60…报知装置；70…承载器；71…信息保持部；80…处理液瓶；82…瓶盖；90…基片处理装置；100…控制装置。
1.一种处理液供给系统，其特征在于：
包括处理液供给装置和控制装置，
所述处理液供给装置包括：
收纳承载器的第一承载器收纳部，其中所述承载器收纳有多个处理液瓶；
收纳从所述承载器取出的所述处理液瓶的第一瓶收纳部；
从自所述承载器取出的所述处理液瓶对基片处理装置送出处理液的送液部；和
在所述第一承载器收纳部、所述第一瓶收纳部与所述送液部之间输送所述处理液瓶的第一输送部，
所述控制装置构成为能够执行如下步骤：
控制所述第一输送部，以使得从所述第一承载器收纳部的所述承载器取出所述处理液瓶并将其输送到所述第一瓶收纳部的步骤；
控制所述第一输送部，以使得从所述第一瓶收纳部对所述送液部输送所述处理液瓶的步骤；和
控制所述第一输送部，以使得已用完从所述送液部输送已用完的所述处理液瓶并将其收纳在所述第一承载器收纳部的所述承载器的步骤。
2.如权利要求1所述的处理液供给系统，其特征在于：
所述处理液供给装置还包括所述承载器交接用的第一交接部，
所述控制装置构成为还能够执行如下步骤：
控制所述第一输送部，以使得将配置于所述第一交接部的所述承载器输送到所述第一承载器收纳部的步骤；和
控制所述第一输送部，以使得将收纳有已用完的所述处理液瓶的所述承载器从所述第一承载器收纳部输送到所述第一交接部的步骤。
3.如权利要求1所述的处理液供给系统，其特征在于：
所述控制装置控制所述第一输送部，以使得在所述送液部配置所述处理液瓶后至该处理液瓶成为已用完的状态的期间，在所述第一承载器收纳部的所述承载器与所述第一瓶收纳部之间输送其他所述处理液瓶。
4.如权利要求1所述的处理液供给系统，其特征在于：
所述处理液供给装置具有多个所述送液部，
所述第一输送部构成为所述处理液瓶的可输送范围包含所述多个送液部。
5.如权利要求4所述的处理液供给系统，其特征在于：
所述控制装置构成为还能够执行控制所述第一输送部以使得在所述送液部中进行所述处理液瓶的瓶盖的开闭的步骤。
6.如权利要求5所述的处理液供给系统，其特征在于：
所述送液部具有用于从所述处理液瓶内送出处理液的送液头，
所述控制装置构成为还能够执行控制所述第一输送部以将所述送液头安装在所述处理液瓶的步骤。
7.如权利要求2所述的处理液供给系统，其特征在于：
所述承载器具有信息保持部，所述信息保持部保持关于所述处理液瓶所收纳的处理液的信息，
所述控制装置基于所述信息保持部保持的信息来获取所述处理液瓶所收纳的处理液的种类的信息，基于处理液的种类来挑选要从所述承载器取出的所述处理液瓶。
8.如权利要求7所述的处理液供给系统，其特征在于：
所述控制装置基于所述信息保持部保持的信息来获取所述处理液瓶所收纳的处理液的消费期限的信息，挑选要从所述承载器取出的所述处理液瓶以使得处理液的消费期限临近的所述处理液瓶优先被输送到所述送液部。
9.如权利要求8所述的处理液供给系统，其特征在于：
还包括切换通常状态和警报状态的报知装置，其中所述通常状态表示所有的所述处理液瓶的处理液在消费期限内的情况，所述警报状态表示至少一个所述处理液瓶的处理液已过期的情况，
所述控制装置构成为还能够执行在存在所述处理液已过期的所述处理液瓶的情况下，控制报知装置以将所述通常状态切换为所述警报状态的步骤。
10.如权利要求1所述的处理液供给系统，其特征在于：
所述处理液供给装置还包括：
内置所述第一承载器收纳部、所述第一瓶收纳部、所述送液部和所述第一输送部的壳体；以及
调节所述壳体的内部的温度的温度调节部。
11.如权利要求1所述的处理液供给系统，其特征在于，还包括：
收纳多个所述承载器的承载器保管装置；和
在所述承载器保管装置与所述处理液供给装置之间输送所述承载器的自动输送装置。
12.如权利要求11所述的处理液供给系统，其特征在于：
所述承载器保管装置包括：
各自收纳多个所述承载器的多个第二承载器收纳部；
收纳从所述承载器取出的所述处理液瓶的第二瓶收纳部；和
在所述第二承载器收纳部与所述第二瓶收纳部之间输送所述处理液瓶的第二输送部，
所述控制装置构成为还能够执行如下步骤：控制所述第二输送部以在该承载器与其他所述承载器之间更换所述处理液瓶，使得用于送到所述处理液供给装置的所述承载器内的所述多个处理液瓶成为收纳有适用于该处理液供给装置的处理液的状态。
13.一种处理液供给装置，其特征在于，包括：
收纳承载器的第一承载器收纳部，其中所述承载器收纳有多个处理液瓶；
收纳从所述承载器取出的所述处理液瓶的第一瓶收纳部；
从自所述承载器取出的所述处理液瓶对基片处理装置送出处理液的送液部；和
在所述第一承载器收纳部、所述第一瓶收纳部与所述送液部之间输送所述处理液瓶的第一输送部。
14.一种承载器保管装置，其特征在于，包括：
收纳多个承载器的第二承载器收纳部，其中所述多个承载器各自收纳有多个处理液瓶；
收纳从所述承载器取出的所述处理液瓶的第二瓶收纳部；
在所述第二承载器收纳部与所述第二瓶收纳部之间输送所述瓶的第二输送部；和
第二交接部，用于在其与对基片处理装置供给处理液的处理液供给装置之间进行承载器的交接。
技术总结