本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种蒸空溅射镀膜设备的分割型mask框。
背景技术：
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法，主要有真空蒸发镀、真空溅射镀、真空粒子镀等。其中真空溅射镀是用带电粒子轰击靶材，加速的离子轰击固体表面，使靶材原子从表面逸出飞向基板，沉积成薄膜。
在真空溅射镀膜过程中，mask框会出现如下问题：1、靶材原子溅射到mask框上，引起变形，严重时，再生清洗后难以矫正；2、mask框表面的圆形孔位变形后，不可满足安装；3、mask框多次使用之后，mask框的左右边框容易开裂。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供了一种蒸空溅射镀膜设备的分割型mask框，可以使得整体形变量降低，再生使用时容易矫正，延长使用寿命。
为了实现上述目的，本实用新型提供的技术方案如下：一种蒸空溅射镀膜设备的分割型mask框，包括mask框本体，所述mask框本体为方形且相邻两边相互垂直，所述mask框本体分割为相同的四块框体，四块框体通过连接片两两连接，所述mask框本体的分割处设有连接槽，可与连接片配合，所述连接槽为圆角矩形，连接槽内设有四个连接孔。
进一步的，所述连接槽槽深约为mask框本体的二分之一。
进一步的，所述连接槽槽深为4mm。
进一步的，所述连接片长度大于连接槽长度，使得连接片安装在连接槽内时，mask框本体的连接处留有间隙。
进一步的，所述间隙约为1-2mm。
进一步的，所述间隙为1mm。
进一步的，所述分割型mask为内折弯型，内折弯部分的框体上设有若干通孔。
进一步的，所述连接槽两侧设有若干u型孔。
本实用新型的有益效果是：1、mask框体本体分割为四块框体，使得多次使用，边框不容易开裂；2、mask框体本体连接处设有间隙，使得靶材原子在打击至mask框本体，mask框本体有形变空间，不会因为靶材原子对mask框本体压应力造成框体开裂，同时再生使用时也容易矫正；3、连接槽两侧设有若干u型孔，可便于安装，减少螺丝断裂。
附图说明：
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型的放大示意图；
图中：1mask框本体、2连接槽、3连接孔、4连接片、5间隙、6通孔、7u型孔。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的描述。
如图1-2所示，一种蒸空溅射镀膜设备的分割型mask框，包括mask框本体1，所述mask框本体1为方形且相邻两边相互垂直，所述mask框本体1分割为相同的四块框体，四块框体通过连接片4两两连接，所述mask框本体1的分割处设有连接槽2，可与连接片4配合，所述连接槽2为圆角矩形，连接槽2内设有四个连接孔3。
进一步的，所述连接槽2槽深约为mask框本体1的二分之一。
进一步的，所述连接槽2槽深为4mm，此时效果最优，连接件4可完全安装于连接槽2内，与连接槽2完美契合。
进一步的，所述连接片4长度大于连接槽2长度，使得连接片4安装在连接槽内2时，mask框本体1的连接处留有间隙5。
进一步的，所述间隙5约为1-2mm。
进一步的，所述间隙5为1mm，此时效果最优，靶材原子冲击mask框本体1，使得mask框本体1发生形变，尤其对玻璃基板镀膜时，真空腔体内温度较高，形变会更为明显，当间隙5小于1mm时，mask框本体1的形变在可控范围内，通过后续矫正可以再生使用，当间隙5大于2mm时，mask框本体1的连接处会过于薄弱，靶材原子冲击连接件4时，很容易断裂。
进一步的，所述分割型mask为内折弯型，内折弯部分的框体上设有若干通孔6。
进一步的，所述连接槽2两侧设有若干u型孔7，可以克服了原先圆形孔位变形后，不可满足安装的问题，同时保证了螺丝不会因为u型孔7位变形而断裂。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
1.一种蒸空溅射镀膜设备的分割型mask框，包括mask框本体，其特征在于：所述mask框本体为方形且相邻两边相互垂直，所述mask框本体分割为相同的四块框体，四块框体通过连接片两两连接，所述mask框本体的分割处设有连接槽，可与连接片配合，所述连接槽为圆角矩形，连接槽内设有四个连接孔。
2.根据权利要求1所述的一种蒸空溅射镀膜设备的分割型mask框，其特征在于：所述连接槽槽深约为mask框本体的二分之一。
3.根据权利要求1所述的一种蒸空溅射镀膜设备的分割型mask框，其特征在于：所述连接槽槽深为4mm。
4.根据权利要求1所述的一种蒸空溅射镀膜设备的分割型mask框，其特征在于：所述连接片长度大于连接槽长度，使得连接片安装在连接槽内时，mask框本体的连接处留有间隙。
5.根据权利要求4所述的一种蒸空溅射镀膜设备的分割型mask框，其特征在于：所述间隙约为1-2mm。
6.根据权利要求5所述的一种蒸空溅射镀膜设备的分割型mask框，其特征在于：所述间隙为1mm。
7.根据权利要求1所述的一种蒸空溅射镀膜设备的分割型mask框，其特征在于：所述分割型mask为内折弯型，内折弯部分的框体上设有若干通孔。
8.根据权利要求1所述的一种蒸空溅射镀膜设备的分割型mask框，其特征在于：所述连接槽两侧设有若干u型孔。
技术总结