本实用新型涉及镀膜防护技术领域,具体涉及一种新型防着帽。
背景技术:
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法,主要有真空蒸发镀、真空溅射镀、真空粒子镀等。其中真空蒸发镀是用带电粒子轰击靶材,加速的离子轰击固体表面,使靶材原子从表面逸出飞向基板,沉积成薄膜。
在真空溅射镀膜过程中,靶材原子不仅会飞向基板,沉积形成薄膜,还会在真空腔体内壁沉积,污染真空腔体内壁,所以需要设置防着板来保护真空腔体内壁不受污染,但是在防着板的固定处,螺栓缺乏保护,螺栓在受热膨胀时,经靶材原子打压很容易变形,多次使用过后螺栓上的螺纹和防着板上的螺孔会严重变形,会导致螺栓无法固定住防着板,需要重新跟换防着板,降低了效率,加大了成本。
技术实现要素:
本实用新型的目的在于提供了一种新型防着帽,可以有效的保护螺栓。
本实用新型的上述目的通过以下的技术方案得以实现:一种新型防着帽,包括防着帽本体,所述防着帽本体由帽头和帽身组成,所述帽头上设有多个防着块,防着块在帽头各面上同向排列设置,且相邻两个防着块之间设有间隙,所述帽身内部为中空结构,所述帽身中空部分为两层,其中与防着帽本体配合使用的组装件置于底层,螺栓头部可置于顶层,所述螺栓轴部的螺纹与组装件上的螺纹孔配套,所述帽身内壁上设有弧形槽,弧形槽位于底层。
进一步的,所述帽头截面为正六边形,所述帽头分为周围四面和顶面,其周围四面中各面相同,防着块置于周围四面和顶面上。
进一步的,所述防着块为梯型块,其截面为梯形,高度约为1-2mm。
进一步的,所述间隙约为2-3mm。
进一步的,所述间隙为3mm,所述防着块高度为1.2mm。
进一步的,所述组装件分为顶部、中部和底部,其中顶部、中部和底部依次连接,且螺纹孔在顶部、中部和底部之间,所述顶部向外延伸一部分,延伸部分为弧形,其弧形延伸部分可嵌入弧形槽内。
进一步的,所述组装件顶部高度略小于弧形槽深度,并且两者最大差值不能超过弧形槽宽度。
本实用新型在实施之初,采用的防着帽上开两针孔,通过针固定在防着板上,从而保护防着板固定处的螺栓,但是两针在后续清洗过程中易变形,导致不可安装,且两针孔的加工较为困难,易偏差,导致不可安装,所有在防着帽上设置弧形槽与配套的组装件一起使用,可固定在螺栓上。
本实用新型的有益效果是:帽头上设有的防着块,增强了防着帽的沉淀能力,防止溅射出的靶材原子经防着帽反弹后重新飞向真空腔体内壁,污染内壁,或飞向基板,降低成膜率;帽身内壁上设有弧形槽,螺栓可嵌入弧形槽内,固定简单,使用方便。
附图说明:
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是本实用新型的内部示意图;
图3是本实用新型的俯视图;
图4是本实用新型的配套使用的组装件的示意图;
图中:1防着帽本体、2帽头、3帽身、4防着块、5间隙、6万向轮、7间隙、8底层、9顶层、10弧形槽、11组装件、12螺纹孔、13顶部、14中部、15底部、16弧形延伸部分。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的描述。
如图1-4所示,一种新型防着帽,包括防着帽本体1,所述防着帽本体1由帽头2和帽身3组成,所述帽头2上设有多个防着块4,防着块4在帽头2各面上同向排列设置,且相邻两个防着块4之间设有间隙5,所述帽身3内部为中空结构,所述帽身3中空部分为两层,其中与防着帽本体1配合使用的组装件11置于底层8,螺栓头部可置于顶层9,所述螺栓轴部的螺纹与组装件11上的螺纹孔12配套,所述帽身3内壁上设有弧形槽10,弧形槽10位于底层8。
进一步的,所述帽头2截面为正六边形,所述帽头2分为周围四面和顶面,其周围四面中各面相同,防着块4置于周围四面和顶面上。
进一步的,所述防着块4为梯型块,其截面为梯形,高度约为1-2mm,其中防着帽上防着块的高度通常与防着板上防着块的高度一致,否则平面内各处高度参差不齐,会出现集中沉淀的现象。
进一步的,所述间隙5约为2-3mm,当间隙大于3mm,防着帽的沉淀能力较弱,当间隙小于2mm,防着块较为密集,在真空腔体内,防着块受热会膨胀,相邻防着块之间预留的间隙小,使得相邻防着块挤压在一起,无法达到沉淀靶材原子的目的。
进一步的,所述间隙5为3mm,所述防着块4高度为1.2mm。
进一步的,所述组装件11分为顶部13、中部14和底部15,其中顶部13、中部14和底部15依次连接,且螺纹孔12在顶部13、中部14和底部15之间,所述顶部13向外延伸一部分,延伸部分为弧形,其弧形延伸部分16可嵌入弧形槽10内。
进一步的,所述组装件11顶部高度略小于弧形槽10深度,并且两者最大差值不能超过弧形槽10宽度。
使用时,将螺栓旋入组装件11中,然后连接后的整体可固定防着板,通过组装件11的弧形延伸部分16嵌入弧形槽10内,使得防着帽可以保护连接后的整体。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例,凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
1.一种新型防着帽,包括防着帽本体,其特征在于:所述防着帽本体由帽头和帽身组成,所述帽头上设有多个防着块,防着块在帽头各面上同向排列设置,且相邻两个防着块之间设有间隙,所述帽身内部为中空结构,所述帽身中空部分为两层,其中与防着帽本体配合使用的组装件置于底层,螺栓头部可置于顶层,所述螺栓轴部的螺纹与组装件上的螺纹孔配套,所述帽身内壁上设有弧形槽,弧形槽位于底层。
2.根据权利要求1所述的一种新型防着帽,其特征在于:所述帽头截面为正六边形,所述帽头分为周围四面和顶面,其周围四面中各面相同,防着块置于周围四面和顶面上。
3.根据权利要求1所述的一种新型防着帽,其特征在于:所述防着块为梯型块,其截面为梯形,高度约为1-2mm。
4.根据权利要求1所述的一种新型防着帽,其特征在于:所述间隙约为2-3mm。
5.根据权利要求3所述的一种新型防着帽,其特征在于:所述间隙为3mm,所述防着块高度为1.2mm。
6.根据权利要求1所述的一种新型防着帽,其特征在于:所述组装件分为顶部、中部和底部,其中顶部、中部和底部依次连接,且螺纹孔在顶部、中部和底部之间,所述顶部向外延伸一部分,延伸部分为弧形,其弧形延伸部分可嵌入弧形槽内。
7.根据权利要求4所述的一种新型防着帽,其特征在于:所述组装件顶部高度略小于弧形槽深度,并且两者最大差值不能超过弧形槽宽度。
技术总结