本实用新型属于旋转靶材技术领域，具体涉及一种旋转靶材制备装置。
背景技术：
旋转靶材是磁控的靶材，靶材做成圆筒型的，里面装有静止不动的磁体，以慢速转动，而旋转靶材在制备的过程中广泛采用镀膜沉积工艺，通过喷枪对管状的工件表面进行轰击喷射，靶材表面材料以分子、原子、离子或电子等形式被溅射出来，飞溅到工件上沉积成膜，从而形成旋转靶材。
但是目前市场上的旋转靶材制备装置在使用过程中存在较多的缺陷，例如，在使用时无法全方面且均匀的对靶材管材进行喷涂，管材上的涂料容易集中在某一区域，从而影响镀膜靶材的质量和密度，另外，没有设置便于快速安装与拆卸靶材管材的结构，固定和拆卸时操作繁琐不便，从而影响制备时的工作效率。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种旋转靶材制备装置，以解决上述背景技术中提出的无法全方面且均匀的对靶材管材进行喷涂，以及没有设置便于快速安装与拆卸靶材管材的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种旋转靶材制备装置，包括箱体，所述箱体的底部安装有支撑柱，且箱体的一侧固定有控制器，所述箱体的侧壁安装有密闭箱门，且箱体的一侧靠近控制器的下方通过螺栓固定连接有电机，所述电机的输出轴延伸至箱体内部的一端通过螺纹连接有空心管，所述空心管的外壁安装有靶材管材，所述密闭箱门的内部顶端安装有两个固定板，两个所述固定板之间固定有滑杆，所述滑杆的外壁套设有滑套，所述滑套的一侧安装有高压喷头，其中一个所述固定板的侧壁靠近滑杆的一侧固定有液压缸，所述液压缸远离固定板的一端通过液压杆与滑套相连接，所述电机与控制器电性连接。
优选的，所述空心管的两端均贯穿有连接杆，所述连接杆延伸至空心管内部的一端安装有拉环，且连接杆延伸至空心管外部的一端固定有限位板，所述连接杆的外壁且位于空心管与靶材管材之间套设有弹簧，所述空心管与靶材管材之间靠近弹簧的一侧安装有伸缩筒。
优选的，所述密闭箱门的侧壁安装有观察窗和把手，且观察窗位于把手的一侧。
优选的，所述电机的外壁安装有保护罩，所述保护罩的外壁开设有散热孔。
优选的，所述支撑柱的底部安装有滑轮，所述滑轮的外壁开设有防滑槽。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
(1)本实用新型通过液压缸伸缩带动滑套使其在滑杆上滑动，而后滑套带动高压喷头沿着滑杆做往返运动，从而使材料均匀喷涂在靶材管材上，同时通过电机带动空心管转动，然后使空心管带动其外壁的靶材管材转动，从而能够全方面进行喷涂。
(2)本实用新型通过按压限位板使其带动连接杆下移，而后使限位板与空心管之间的距离减小，从而便于将靶材管材套在空心管上，同时在弹簧的作用下能够使限位板紧贴在靶材管材的内壁，进而完成紧固，拆卸时只需拉动拉环即可分离限位板与靶材管材，从而便于取下靶材管材。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型箱体的内部结构示意图；
图3为本实用新型空心管与靶材管材连接时的结构示意图；
图中：1-密闭箱门、2-箱体、3-滑轮、4-支撑柱、5-电机、6-保护罩、7-控制器、8-高压喷头、9-滑杆、10-固定板、11-液压缸、12-滑套、13-限位板、14-靶材管材、15-空心管、16-弹簧、17-拉环、18-连接杆、19-伸缩筒。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-图3所示，本实用新型提供一种技术方案：包括箱体2，箱体2的底部安装有支撑柱4，且箱体2的一侧固定有控制器7，控制器7的型号为cpu226，额定功率11w，工作电压为24v，箱体2的侧壁安装有密闭箱门1，且箱体2的一侧靠近控制器7的下方通过螺栓固定连接有电机5，电机5的型号为gh-28-750-60s，额定电压220v，额定功率750w，额定转速1400rpm，电机5的输出轴延伸至箱体2内部的一端通过螺纹连接有空心管15，空心管15的外壁安装有靶材管材14，密闭箱门1的内部顶端安装有两个固定板10，两个固定板10之间固定有滑杆9，滑杆9的外壁套设有滑套12，滑套12的一侧安装有高压喷头8，其中一个固定板10的侧壁靠近滑杆9的一侧固定有液压缸11，液压缸11远离固定板10的一端通过液压杆与滑套12相连接，通过液压缸11驱动液压杆伸缩以带动滑套12在滑杆9上滑动，而后滑套12带动高压喷头8沿着滑杆9做往返运动，从而使材料均匀喷涂在靶材管材14上，同时通过控制器7启动电机5，使电机5带动空心管15转动，然后使空心管15带动其外壁的靶材管材14转动，从而能够全方面进行喷涂，进而实现了均匀全方面的喷涂，保证了靶材管材14的镀膜质量，电机5与控制器7电性连接。
为了便于固定靶材管材14，本实施例中，优选的，空心管15的两端均贯穿有连接杆18，连接杆18延伸至空心管15内部的一端安装有拉环17，且连接杆18延伸至空心管15外部的一端固定有限位板13，连接杆18的外壁且位于空心管15与靶材管材14之间套设有弹簧16，空心管15与靶材管材14之间靠近弹簧16的一侧安装有伸缩筒19，当需要安装靶材管材14进行制备时，通过按压限位板13使其带动连接杆18下移，而后使限位板13与空心管15之间的距离减小，从而便于将靶材管材14套在空心管15上，同时在弹簧16的作用下能够使限位板13紧贴在靶材管材14的内壁，进而完成紧固，通过伸缩筒19能够进一步加强结构的稳定性，当拆卸时只需拉动拉环17即可分离限位板13与靶材管材14，从而便于取下靶材管材14。
为了便于观察靶材管材14，本实施例中，优选的，密闭箱门1的侧壁安装有观察窗和把手，通过观察窗便于观察箱体2内的制备情况，且观察窗位于把手的一侧。
为了防止电机5受到破坏，本实施例中，优选的，电机5的外壁安装有保护罩6，保护罩6起到散热防护的作用，保护罩6的外壁开设有散热孔。
为了便于改变箱体1的位置，本实施例中，优选的，支撑柱4的底部安装有滑轮3，滑轮3起到便于移动的作用，滑轮3的外壁开设有防滑槽。
本实用新型的工作原理及使用流程：该实用新型在使用时，首先接通电源使装置的内部通电，而后打开密闭箱门1并安装靶材管材14，安装时通过按压限位板13使其带动连接杆18下移，而后使限位板13与空心管15之间的距离减小，从而便于将靶材管材14套在空心管15上，同时在弹簧16的作用下能够使限位板13紧贴在靶材管材14的内壁，进而完成紧固，通过伸缩筒19能够进一步加强结构的稳定性，在靶材管材14进行镀膜的过程中，通过连接管将准备好的原料送入高压喷头8内，使高压喷头8喷出原料对靶材管材14进行镀膜，通过液压缸11驱动液压杆伸缩以带动滑套12在滑杆9上滑动，而后滑套12带动高压喷头8沿着滑杆9做往返运动，从而使材料均匀喷涂在靶材管材14上，同时通过控制器7启动电机5，使电机5带动空心管15转动，然后使空心管15带动其外壁的靶材管材14转动，从而能够全方面进行喷涂，进而实现了均匀全方面的喷涂，保证了靶材管材14的镀膜质量，当旋转靶材制备完成后，只需拉动拉环17即可分离限位板13与靶材管材14，从而便于取下靶材管材14。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
1.一种旋转靶材制备装置，其特征在于：包括箱体，所述箱体的底部安装有支撑柱，且箱体的一侧固定有控制器，所述箱体的侧壁安装有密闭箱门，且箱体的一侧靠近控制器的下方通过螺栓固定连接有电机，所述电机的输出轴延伸至箱体内部的一端通过螺纹连接有空心管，所述空心管的外壁安装有靶材管材，所述密闭箱门的内部顶端安装有两个固定板，两个所述固定板之间固定有滑杆，所述滑杆的外壁套设有滑套，所述滑套的一侧安装有高压喷头，其中一个所述固定板的侧壁靠近滑杆的一侧固定有液压缸，所述液压缸远离固定板的一端通过液压杆与滑套相连接，所述电机与控制器电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种旋转靶材制备装置，其特征在于：所述空心管的两端均贯穿有连接杆，所述连接杆延伸至空心管内部的一端安装有拉环，且连接杆延伸至空心管外部的一端固定有限位板，所述连接杆的外壁且位于空心管与靶材管材之间套设有弹簧，所述空心管与靶材管材之间靠近弹簧的一侧安装有伸缩筒。
3.根据权利要求1所述的一种旋转靶材制备装置，其特征在于：所述密闭箱门的侧壁安装有观察窗和把手，且观察窗位于把手的一侧。
4.根据权利要求1所述的一种旋转靶材制备装置，其特征在于：所述电机的外壁安装有保护罩，所述保护罩的外壁开设有散热孔。
5.根据权利要求1所述的一种旋转靶材制备装置，其特征在于：所述支撑柱的底部安装有滑轮，所述滑轮的外壁开设有防滑槽。
技术总结