本实用新型涉及一种镀膜机，特别是涉及一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机。
背景技术：
现有广泛用于生产的磁控溅射镀膜机中所用的溅射靶体或整体装于炉内、或整体装于炉壁上(下壁、侧壁或上壁)，靶体上的靶材表面都朝向炉内被镀工件，镀膜前炉腔抽真空并启动加热，下一步充入氩气，在工件与炉壁(接地)施加较高电压，使炉内氩气辉光放电产生氩等离子体，对工件表面进行氩离子轰击清洗，然后进入镀膜作业：启动阴极磁控溅射靶电源，产生靶材溅射，溅出靶材物料，在工件上施加负偏压，把溅射出的靶材粒子吸拉到工件表面沉积成膜层。由于在镀膜作业中，靶材会发热，在靶材背面必须有水冷装置带走热量。
一般的靶材都能耐受一定温度和湿度，在镀膜作业完毕后，等待炉内冷却到100度左右，破真空，打开炉门取工件。在打开炉门后，虽然靶材曝露在大气中，但一般不会产生不允许的不良影响和后果。有的镀膜机炉内还备有多种靶材的阴极溅射靶，在镀膜时，为了避免不同靶材的靶体之间相互污染，会在靶材前方加置活动遮挡板，它起到遮挡屏蔽作用，但不起真空密封作用。
随着科学技术不断发展，出现了许多新材料靶材。新近有要求镀锂膜层，需要使用金属锂作为靶材，而金属锂的特性是不能接触水、稍高温下不能接触水汽，否则会引起爆炸。现有的磁控溅射镀膜机的溅射靶结构都不能满足隔离大气(空气含水汽)要求，必须重新设计全新的溅射靶结构和镀膜机。使用锂材料靶材的镀膜机结构必须满足：1、不能用水作为介质进行冷却，以保证锂材料不会与水接触；2、有单独真空气密功能，能与大气隔离，隔离水汽。为此，我们针对上述技术特点，实用新型了具有上述功能的专用镀膜机。
技术实现要素：
本实用新型所要解决的技术问题，就是提供一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其能保证使用过程中靶材始终不会与水汽接触。
解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：
一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室和靶体，通过循环流经靶体的液体实现对靶体的降温，其特征在于：还包括：
靶腔，设置在真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与真空镀膜室连通；
伸缩机构，安装在靶腔的壁板上；靶体安装在伸缩机构上，并位于靶腔内；由伸缩机构带动靶体向腔口方向移动，或收缩回靶腔内；
靶门及翻转启闭机构，靶门通过翻转启闭机构安装在腔口处，通过翻转启闭机构带动靶门翻转，通过翻转的靶门密封盖合腔口或打开腔口。
循环流经所述靶体用于降温的液体为硅油。
在所述靶腔的壁板上设有用于对靶腔进行抽真空的抽气口。
所述翻转启闭机构包括旋转机构、第一动密封组件和旋转轴，旋转轴可转动支承在腔口的侧旁，靶门的与旋转轴对应的侧边与旋转轴固定连接，旋转机构安装在真空镀膜室外部，旋转机构的输出轴通过第一动密封组件与旋转轴连接，通过第一动密封组件实现密封。
在所述靶门上对应腔口的沿边设有靶门密封圈，在腔口的周边设有一圈围边；当靶门密封盖在腔口处时，靶门密封圈压在靶门与腔口的沿边之间，围边围绕在靶门的外围。
所述旋转机构为旋转式气缸，第一动密封组件为磁流体密封传动装置，磁流体密封传动装置通过真空密封圈密封安装在真空镀膜室的壁板的外表面上，旋转式气缸的输出轴与磁流体密封传动装置的主轴的输入端连接，磁流体密封传动装置的主轴的输出端穿入真空镀膜室，并与旋转轴连接。
所述伸缩机构包括直线运动机构、滑动套管、连接板和第二动密封组件，滑动套管活动穿过靶腔的壁板，通过第二动密封组件密封，靶体固定安装在滑动套管的里端，直线运动机构安装在靶腔的壁板的外表面，连接板连接直线运动机构的活动端和滑动套管的外端。
所述靶体内设有液体流道，在滑动套管内设有出液管和进液管，出液管和进液管与滑动套管之间绝缘，出液管和进液管的里端分别与液体流道的出液口和进液口连接，出液管和进液管的外端分别从滑动套管的外端穿出。
所述靶体包括靶材、铜板、极靴、隔水胶皮、靶座和若干磁铁，在靶座的面向真空镀膜室的表面设有安装槽，隔水胶皮平贴在安装槽的底面，极靴设置在隔水胶皮的表面，铜板密封盖在安装槽的槽口处，磁铁分布在铜板与极靴之间，靶材平贴固定在铜板的外表面上；在铜板与极靴之间形成液体流道，在靶体上还设有与液体流道连通的出液通道和进液通道，出液通道和进液通道的外端即为出液口和进液口。
所述镀膜机还包括靶体固定板，靶体固定板固定在滑动套管的里端，靶座通过绝缘固定组件固定在靶体固定板上，靶座与靶体固定板之间留有间隔。
与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：
1、本实用新型为前所未有的具有独立的靶体隔离空间的镀膜机，通过另外设置靶腔和靶门来实现对靶体的密封隔离，适合用于特殊的不能见水和潮气的靶材(如金属锂)的溅射。本实用新型通过翻转启闭机构实现靶门的自动打开和自动密封盖合腔口。本实用新型的靶体还可通过伸缩机构进行移动，从而能将靶体调节至合理的溅射距离，可见，本实用新型在实现对靶体进行密封隔离的功能下，也不会影响镀膜时的效率。
2、本实用新型采用硅油作为靶体降温用的液体，完全避免了现有的镀膜机中由冷却水的渗漏带来的不利风险。
3、本实用新型在靶腔上单独设置抽气口，实现对靶腔单独抽真空。
4、本实用新型的翻转启闭机构通过旋转机构、第一动密封组件和旋转轴实现靶门的翻转，且实现动密封，结构简单，运行可靠稳定。
附图说明
图1是本实用新型的靶门处于关闭状态时的剖视示意图之一，视图方向为主视方向；
图2是本实用新型的靶门处于打开状态时的剖视示意图，视图方向为主视方向；
图3是本实用新型的靶门处于关闭状态时的剖视示意图之二，视图方向为侧视方向；
图4是图1中ⅰ处的放大示意图；
图5是图3中ⅲ处的放大示意图；
图6是图3中ⅳ处的放大示意图；
图7是图2中ⅱ处的放大示意图；
图8是本实用新型的靶体与伸缩机构的装配示意图；
图9是图3中ⅴ处的放大示意图；
图10是本实用新型的靶体下降至低点时的状态示意图；
图11是图9中ⅶ处的放大示意图。
图中附图标记含义：
1真空镀膜室；1-1真空镀膜室的底部；2靶腔；2-1抽气口；2-2靶腔的底部壁板；2-3腔口；3靶体；3-1靶材；3-2铜板；3-3磁铁；3-4极靴；3-5隔水胶皮；3-6压条；3-7屏蔽围板；3-8靶座；3-9靶体固定板；3-10连接螺栓；3-11绝缘垫；3-12绝缘套；3-13绝缘盖；4靶门；4-1靶门密封圈；4-2围边；5翻转启闭机构；5-1旋转机构；5-2气缸安装座；5-3旋转式气缸的输出轴；5-4旋转轴；5-5固定连接座；5-7垫高块；5-8支承管；5-9支承座；5-10连接套孔；6伸缩机构；6-1滑动套管；6-3保护盖；6-4绝缘护套；6-5连接板；6-6导柱；6-7导向管；6-8导柱固定座；6-9直线运动机构；6-10浮动接头；7第一动密封组件；7-1磁流体密封传动装置；7-2磁流体密封传动装置的主轴的输入端；7-3磁流体密封传动装置的主轴的输出端；7-4焊接座；7-5真空密封圈；7-6套孔；8第二动密封组件；8-1第二骨架油封；8-2密封固定管；8-3隔套；8-4第二密封压盖；9-1液体流道；9-2进液管；9-3出液管；9-4液管绝缘套；9-5锁紧螺母；9-6密封压套；9-7管部密封圈；9-8管连接头；9-9弯头水嘴；9-10进液通道；9-11出液通道；10硅油。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型进一步描述。
如图1至图11所示的一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其包括真空镀膜室1、靶体3、靶腔2、伸缩机构6、靶门4及翻转启闭机构5。本镀膜机通过循环流经靶体的液体实现对靶体3的降温。
如图1所示，本实施例的靶腔2设置在真空镀膜室的底部1-1，当然靶腔2也可设置在真空镀膜室的顶部或侧部，此时其它部件的安装位置也将跟随变化。靶腔2通过上端的腔口2-3直接与真空镀膜室1连通。伸缩机构6安装在靶腔2的底部壁板2-2上。靶体3安装在伸缩机构6上，并位于靶腔2内，由伸缩机构6带动靶体3向腔口2-3方向移动，或收缩回靶腔2内，本实施例的伸缩机构6带动靶体3上下运动。靶门4通过翻转启闭机构5安装在腔口2-3处，通过翻转启闭机构带动靶门翻转，通过翻转的靶门密封盖合腔口或打开腔口。
为了能完全避免靶材与水接触，本实施例将硅油作为循环流经靶体的用于降温的液体，将硅油作为冷却剂。
为了能单独对靶腔2进行抽真空，如图1所示，在靶腔2的左侧壁板上设有用于对靶腔进行抽真空的抽气口2-1。抽真空时，抽气口2-1外接真空泵。
如图4至图6所示，本实施例的翻转启闭机构5包括旋转机构5-1、第一动密封组件7和旋转轴5-4，旋转轴5-4可转动支承在腔口2-3的侧边，靶门4的与旋转轴5-4对应的侧边与旋转轴5-4固定连接，从而能通过旋转轴5-4带动靶门4翻转，旋转机构5-1安装在真空镀膜室1外部，旋转机构5-1的输出轴5-3通过第一动密封组件7与旋转轴5-4连接，通过第一动密封组件7实现动密封。
靶门4的密封结构为：在靶门4上对应腔口2-3的沿边设有靶门密封圈4-1，在腔口2-3的周边设有一圈围边4-2；当靶门4密封盖在腔口2-3处时，靶门密封圈4-1压在靶门4与腔口2-3的沿边之间，形成密封，围边4-2围绕在靶门4的外围，围边4-2可防止灰尘进入靶门与腔口的密封处。
本实施例的旋转机构5-1为旋转式气缸，第一动密封组件7为磁流体密封传动装置，磁流体密封传动装置7-1通过真空密封圈7-5密封安装在真空镀膜室1的后部壁板的外表面上，旋转式气缸的输出轴5-3与磁流体密封传动装置7-1的主轴的输入端7-2连接，磁流体密封传动装置的主轴的输出端7-3穿入真空镀膜室1，并与旋转轴5-4连接，通过旋转式气缸5-1带动磁流体密封传动装置的主轴转动，再带动旋转轴5-4转动，通过磁流体密封传动装置7-1实现了动密封。
如图5所示，旋转式气缸5-1和磁流体密封传动装置7-1的具体安装结构为：在真空镀膜室1的壁板上对应磁流体密封传动装置的位置开设有连通孔，在连通孔位置密封焊接有焊接座7-4，焊接座7-4中部设有穿入孔，穿入孔与连通孔对应，磁流体密封传动装置7-1通过真空密封圈7-5密封固定在焊接座7-4上，磁流体密封传动装置的主轴的输出端7-3穿过焊接座7-4的穿入孔后穿入真空镀膜室1，旋转式气缸5-1通过气缸安装座5-2固定安装在磁流体密封传动装置7-1的后端部，旋转式气缸的输出轴5-3与磁流体密封传动装置的主轴的输入端7-2均穿入气缸安装座5-2的中部孔中，旋转式气缸的输出轴5-3与磁流体密封传动装置的主轴的输入端7-2通过平键连接。磁流体密封传动装置的主轴的输出端7-3设有套孔7-6，旋转轴5-4的端部穿入套孔7-6中，并通过平键连接磁流体密封传动装置的主轴的输出端7-3和旋转轴5-4的端部。
如图4和图6所示，旋转轴5-4的安装结构为：在真空镀膜室的底部壁板的上方对应旋转轴5-4的两端部分别设有支承管5-8，支承管5-8分别通过支承座5-9固定在真空镀膜室1的底部壁板上，旋转轴5-4的两端分别活动穿于支承管5-8中，靶门4的与旋转轴5-4对应的侧边设有三块固定连接座5-5，三块固定连接座5-5沿靶门4的侧边均匀分布，固定连接座5-5通过螺栓固定在靶门4上，在固定连接座5-5与靶门4之间设有垫高块5-7，在固定连接座5-5上设有连接套孔5-10，固定连接座5-5通过连接套孔5-10套在旋转轴5-4上，且通过设在连接套孔5-10内的平键固定连接固定连接座5-5与旋转轴5-4。
如图7至图10所示，本实施例镀膜机的伸缩机构6包括直线运动机构6-9、滑动套管6-1、连接板6-5和第二动密封组件8，滑动套管6-1活动穿过靶腔2的底部壁板2-2，通过第二动密封组件8密封，靶体3固定安装在滑动套管6-1的里端(本实施例中滑动套管的上端即为其里端)，直线运动机构6-9的上端安装在靶腔的底部壁板2-2的下表面，连接板6-5连接直线运动机构6-9的下活动端和滑动套管6-1的外端(本实施例中滑动套管的下端即为其外端)。直线运动机构6-9在做上下直线运动时，将通过连接板6-5带动滑动套管6-1同步运动。
其中，直线运动机构6-9为直线运动式气缸，气缸的活塞杆通过浮动接头6-10与连接板6-5的中部连接。采用浮动接头6-10有利用克服连接板上下运动时因板面稍有摆动或偏移而引起与气缸轴线发生的偏差。
如图8和图9所示，本实施例在靶体3内设有液体流道9-1，在滑动套管6-1内腔设有出液管9-3和进液管9-2，出液管9-3和进液管9-2与滑动套管6-1之间绝缘，出液管9-3和进液管9-2的里端分别与液体流道9-1的出液口和进液口连接，出液管9-3和进液管9-2的外端分别从滑动套管6-1的外端穿出。出液管9-3和进液管9-2的从滑动套管6-1外端穿出的端部用于与外部的管道连接。使用时，硅油从进液管9-2进入液体流道9-1，流经液体流道9-1时带走靶体3的热量，再从出液管9-3流出，通过硅油的不断循环从而实现对靶体3的降温，图9和10中箭头方向示意出了硅油的进出方向。
如图8和图9所示，靶体3的结构为：靶体3包括靶材3-1、铜板3-2、极靴3-4、隔水胶皮3-5、靶座3-8和若干磁铁3-3，在靶座3-8的面向真空镀膜室1的表面(本实施例中靶座的上表面即为其面向真空镀膜室的表面)设有安装槽，隔水胶皮3-5平贴在安装槽的底面，极靴3-4设置在隔水胶皮3-5的表面，铜板3-2密封盖在安装槽的槽口处，通过压在周边的密封条实现密封，磁铁3-3均匀分布在铜板3-2与极靴3-4之间，靶材3-1平贴固定在铜板3-2的外表面上。在铜板3-2与极靴3-4之间形成液体流道9-1，在靶体3上还设有与液体流道连通的出液通道9-11和进液通道9-10，出液通道9-11和进液通道9-10的下端即为出液口和进液口。
靶材3-1的具体固定结构为：在靶座3-8的上表面沿边通过螺栓固定有压条3-6，与铜板3-2一起通过用于固定压条3-6的螺栓固定在靶座3-8的上表面，密封条位于铜板3-2与靶座3-8的上表面之间，靶材3-1的周边压在压条3-6与铜板3-2之间，从而将靶材3-1可拆卸固定在铜板的上表面。
如图9所示，出液通道9-11和进液通道9-10以靶体3的中心线为中心对称设置，出液通道9-11和进液通道9-10分别穿过靶座3-8、隔水胶皮3-5和极靴3-4后与液体流道9-1连通。
具体的，本实施例的伸缩机构6包括两条滑动套管6-1和两组第二动密封组件8，两条滑动套管6-1以靶体3的中心线为中心对称设置，出液管9-3和进液管9-2分别设置在两条滑动套管6-1中，出液通道9-11的下端口与出液管9-3的上端连接，进液通道9-10的下端口与进液管9-2的上端连接。
如图8和图9所示，第二动密封组件8包括密封固定管8-2和第二骨架油封8-1，密封固定管8-2对应固定在靶腔的底部壁板2-2的下表面，滑动套管6-1穿过密封固定管8-2的中间孔，第二骨架油封8-1设置在密封固定管8-2的中间孔中，通过第二骨架油封8-1实现密封。本实施例的第二动密封组件8设有两个第二骨架油封8-1，第二动密封组件还设有隔套8-3和第二密封压盖8-4，两个第二骨架油封8-1之间通过隔套8-3隔开，第二密封压盖8-4密封盖在密封固定管8-2的中间孔的下端口处，第二骨架油封8-1及隔套8-3通过第二密封压盖8-4进行固定。
本实施例的镀膜机还设有两组导柱组件，通过导柱组件使得直线运动机构在带动滑动套管运动时更稳定。导柱组件包括导柱固定座6-8、导柱6-6和导向管6-7，导柱固定座6-8通过螺栓固定在靶腔的底部壁板2-2的下表面，导向管6-7通过螺栓固定安装在连接板6-5上表面，导柱6-6的一端固定在导柱固定座6-8上，另一端活动穿过导向管6-7，通过导柱6-6与导向管6-7的配合滑动使得运动更稳定。
为了实现出液管9-3和进液管9-2与滑动套管之间绝缘，在出液管和进液管的端部与滑动套管接触的部位均套有液管绝缘套9-4。还在滑动套管6-1的外端固定有保护盖6-3，在保护盖6-3内紧贴保护盖的内壁设有绝缘护套6-4，连接板6-5通过螺栓与保护盖6-3的下端连接，在出液管9-3和进液管9-2的外端(本实施例中出液管和进液管的下端即为其外端)分别通过管连接头9-8连接一个弯头水嘴9-9，弯头水嘴9-9位于保护盖6-3内，弯头水嘴9-9的连接端从保护盖的侧面穿出至外部，用于与外部的管道连接。
如图8所示，滑动套管6-1的里端与出液管9-3和进液管9-2的密封连接的结构为：在滑动套管6-1的里端(本实施例中滑动套管的上端即为其里端)设有密封台阶孔，在密封台阶孔的上端设有沉孔，出液管9-3和进液管9-2的里端(本实施例中出液管和进液管的上端即为其里端)分别穿过对应的密封台阶孔，在密封台阶孔中设有两密封压套9-6和两管部密封圈9-7，两密封压套9-6和两管部密封圈9-7相间隔设置，在出液管9-3和进液管9-2的里端分别以螺纹连接锁紧螺母9-5，锁紧螺母9-5位于沉孔中，通过锁紧螺母9-5将出液管和进液管锁紧。
为了能更好的安装靶体3，本实施例的镀膜机还包括靶体固定板3-9，靶体固定板3-9固定在滑动套管6-1的上端，靶座3-8通过绝缘固定组件固定在靶体固定板3-9的上方，靶座3-8与靶体固定板3-9之间留有一定间隔。在靶体固定板3-9的周边固定设置有屏蔽围板3-7，屏蔽围板3-7围绕在靶体3的周边，且与靶体3之间留有一定间隔，从而可防止侧向放电。
如图11所示，绝缘固定组件的结构为：绝缘固定组件包括连接螺栓3-10、绝缘垫3-11、绝缘套3-12和绝缘盖3-13，连接螺栓3-10穿过靶体固定板并螺纹连接在靶座上，绝缘垫3-11套在连接螺栓3-10上，并垫在靶体固定板3-9与靶座3-8之间，绝缘套3-12套住连接螺栓3-10头部及与靶体固定板接触的部位，从而使得连接螺栓与靶体固定板之间绝缘，绝缘盖3-13盖在绝缘套3-12的端口处，从而将连接螺栓的头部封闭在绝缘套内。
本实用新型镀膜机的具体使用方式为：由于溅射靶材不能接触水和潮湿空气，因此在非镀膜作业时，靶门4始终处于关闭状态，伸缩机构6带动靶体3下降到最低点，抽气口2-1外接专用抽气泵，对靶腔2抽气，维持靶腔2内真空。需要镀膜作业时，打开镀膜机真空镀膜室1的炉门，放入待镀工件后，然后关闭炉门，对真空镀膜室1进行抽真空。当真空镀膜室1内真空度达到与靶腔2内真空度相近时，启动翻转启闭机构5的旋转式气缸，带动靶门4向上翻转打开，解除对靶腔2的真空密封。开启靶门4后将进入镀膜作业：向靶体3内通入循环流动的硅油10进行冷却，之后，启动伸缩机构6，带动靶体3往腔口2-3方向升起，从而调节靶体3与靶基(工件)之间的镀膜距离。之后，真空镀膜室1内部由加热器进行加热，抽真空至本底真空，通入适量氩气或反应气体至工作真空度，启动溅射靶电源和偏压电源进行离子轰击清洗和镀膜，镀膜完毕后进行真空镀膜室内工件的冷却，继续对真空镀膜室1进行抽真空。此时，通过伸缩机构6带动靶体3下降到靶腔2的最低位置，启动翻转启闭机构5，带动靶门4向腔口方向翻转，直至靶门4完成密封住腔口2-3。待工件冷却至预定温度，可开启炉门取件，完成镀膜作业。
本实施例的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机不是唯一的实施方式，根据需要可采用相似的具有翻转靶门的磁控溅射靶，设计成并列多靶的镀膜机，也可以设计成从真空镀膜室的顶部向下溅射的单靶或并列多靶的镀膜机，也可以设计成上、下相对的一组对靶或多组对靶的镀膜机，还可以把具有翻转靶门的磁控溅射靶设计成立式的装在真空镀膜室的侧壁上的单靶或多靶镀膜机，上述都属于本实用新型方案所保护的范围。
1.一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室和靶体，通过循环流经所述靶体的液体实现对所述靶体的降温，其特征在于：还包括：
靶腔，设置在所述真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与所述真空镀膜室连通；
伸缩机构，安装在所述靶腔的壁板上；所述靶体安装在所述伸缩机构上，并位于所述靶腔内；由所述伸缩机构带动所述靶体向所述腔口方向移动，或收缩回所述靶腔内；
靶门及翻转启闭机构，所述靶门通过所述翻转启闭机构安装在所述腔口处，通过所述翻转启闭机构带动所述靶门翻转，通过翻转的所述靶门密封盖合所述腔口或打开所述腔口。
2.根据权利要求1所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：循环流经所述靶体用于降温的液体为硅油。
3.根据权利要求1所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：在所述靶腔的壁板上设有用于对所述靶腔进行抽真空的抽气口。
4.根据权利要求1所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述翻转启闭机构包括旋转机构、第一动密封组件和旋转轴，旋转轴可转动支承在所述腔口的侧旁，所述靶门的与所述旋转轴对应的侧边与所述旋转轴固定连接，旋转机构安装在所述真空镀膜室外部，所述旋转机构的输出轴通过所述第一动密封组件与所述旋转轴连接，通过所述第一动密封组件实现密封。
5.根据权利要求4所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：在所述靶门上对应所述腔口的沿边设有靶门密封圈，在所述腔口的周边设有一圈围边；当所述靶门密封盖在所述腔口处时，所述靶门密封圈压在所述靶门与所述腔口的沿边之间，所述围边围绕在所述靶门的外围。
6.根据权利要求4所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述旋转机构为旋转式气缸，所述第一动密封组件为磁流体密封传动装置，所述磁流体密封传动装置通过真空密封圈密封安装在所述真空镀膜室的壁板的外表面上，所述旋转式气缸的输出轴与所述磁流体密封传动装置的主轴的输入端连接，所述磁流体密封传动装置的主轴的输出端穿入所述真空镀膜室，并与所述旋转轴连接。
7.根据权利要求1所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述伸缩机构包括直线运动机构、滑动套管、连接板和第二动密封组件，所述滑动套管活动穿过所述靶腔的壁板，通过所述第二动密封组件密封，所述靶体固定安装在所述滑动套管的里端，所述直线运动机构安装在所述靶腔的壁板的外表面，所述连接板连接所述直线运动机构的活动端和所述滑动套管的外端。
8.根据权利要求7所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述靶体内设有液体流道，在所述滑动套管内设有出液管和进液管，所述出液管和进液管与所述滑动套管之间绝缘，所述出液管和进液管的里端分别与所述液体流道的出液口和进液口连接，所述出液管和进液管的外端分别从所述滑动套管的外端穿出。
9.根据权利要求8所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述靶体包括靶材、铜板、极靴、隔水胶皮、靶座和若干磁铁，在所述靶座的面向真空镀膜室的表面设有安装槽，所述隔水胶皮平贴在所述安装槽的底面，所述极靴设置在所述隔水胶皮的表面，所述铜板密封盖在所述安装槽的槽口处，所述磁铁分布在所述铜板与所述极靴之间，所述靶材平贴固定在所述铜板的外表面上；在所述铜板与所述极靴之间形成所述液体流道，在所述靶体上还设有与所述液体流道连通的出液通道和进液通道，所述出液通道和进液通道的外端即为所述出液口和进液口。
10.根据权利要求9所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述镀膜机还包括靶体固定板，所述靶体固定板固定在所述滑动套管的里端，所述靶座通过绝缘固定组件固定在所述靶体固定板上，所述靶座与所述靶体固定板之间留有间隔。
技术总结