本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体为一种靶材贴合装置。
背景技术：
靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，靶材通常需要与靶拖进行贴合使用，目前的贴合方式大多通过熔化的易熔金属涂层将靶拖和靶材间进行贴合固定，在贴合前需要将靶拖和靶材对齐，目前的贴合装置都是通过人工手工对齐，精确度低，且贴合时易熔金属涂层熔化易导致金属液流出，使得靶材与靶拖间金属液凝固后靶材与靶拖不平行，影响后续使用，为此我们提出一种靶材贴合装置用于解决上述问题。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种靶材贴合装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种靶材贴合装置，包括底座，所述底座上固定安装加热板，所述加热板上放置靶拖，所述靶拖上放置靶材，所述靶材和靶拖相接处的一面均固定涂有易熔金属涂层，所述靶材和靶拖的侧壁间卡接定位框，所述加热板的一侧的底座上固定安装固定架，所述固定架顶部通过螺纹结构套接压紧螺柱，所述压紧螺柱的底部贯穿固定架并转动卡接压紧板，所述压紧板紧密压在靶材上。
优选的，所述定位框包括四个定位块，所述定位块为l型结构，且定位块内壁紧密贴合靶拖和靶材的四角处外壁，相邻所述定位块的外壁间安装伸缩杆，所述定位块的一边内壁开有贯穿定位块外壁的插入槽，所述定位块的另一边内壁开有卡槽，所述插入槽内滑动插入密封板，所述密封板的一端卡接在卡槽内，且卡槽内的密封板端面紧密贴合相邻定位块上的插入槽内得密封板外壁，所述密封板紧密贴合易熔金属涂层两侧的靶拖和靶材，所述插入槽一侧的定位块外壁通过螺纹结构套接锁紧螺栓，所述锁紧螺栓的端面紧密压在密封板的外壁上。
优选的，所述插入槽和卡槽的宽度等于密封板的厚度，所述密封板的高度大于易熔金属涂层的厚度。
优选的，所述伸缩杆包括固定套和滑杆，所述固定套和滑杆的一端分别固定连接相邻两个定位块相靠近的一侧外壁，所述滑杆的另一端滑动套接在固定套内，所述固定套的另一端端面紧密贴合调节螺母的端面，所述调节螺母的外壁一体成型设有转环，所述调节螺母外壁滑动套接压盘，所述压盘紧密压在转环上，且压盘的内壁过盈套接固定套外壁，所述调节螺母的内壁通过螺纹结构套接滑杆的外壁。
优选的，所述加热板为电热板，所述易熔金属涂层为金属铟合金涂层，且易熔金属涂层的表面与靶拖和靶材外壁平齐，所述压紧板的底部固定安装多个弹性橡胶半球结构的压紧垫。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过伸缩杆调节定位块间距，使得四个l型结构的定位块围成不同大小的矩形结构，便于使得定位块内壁贴合不同尺寸的靶拖和靶材的外壁，将靶拖和靶材外壁对齐夹紧，确保靶材顶面与靶拖平行，定位准确，且适用性高；四根密封板紧密贴合易熔金属涂层处的缝隙，并通过锁紧螺栓对密封板固定，则易熔金属涂层融化后不会溢出，且防止外界空气氧化金属液，确保金属液凝固后均匀分布在靶拖和靶材间，使得靶拖和靶材贴合牢固且精确；通过转动调节螺母，从而带动滑杆沿固定套滑动，从而快速调节定位块间距，使用方便。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型定位框处俯视剖面结构示意图；
图3为本实用新型伸缩杆处局部剖面结构示意图；
图4为本实用新型主视剖面结构示意图。
图中：1底座、2加热板、3靶拖、4靶材、5易熔金属涂层、6定位框、61定位块、62卡槽、63插入槽、64锁紧螺栓、65密封板、66伸缩杆、661固定套、662滑杆、663转环、664压盘、665调节螺母、7固定架、8压紧螺柱、9压紧板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种靶材贴合装置，包括底座1，底座1上固定安装加热板2，加热板2上放置靶拖3，靶拖3上放置靶材4，靶材4和靶拖3相接处的一面均固定涂有易熔金属涂层5，靶材4和靶拖3的侧壁间卡接定位框6，加热板2的一侧的底座1上固定安装固定架7，固定架7顶部通过螺纹结构套接压紧螺柱8，压紧螺柱8的底部贯穿固定架7并转动卡接压紧板9，压紧板9紧密压在靶材4上。靶材4放置在靶拖3上，使得易熔金属涂层5紧密接触，通过定位框6包裹靶拖3和靶材4外壁，从而将靶拖3和靶材4外壁对齐定位，将定位后的靶拖3和靶材4放置到压紧板9底部的加热板2上，通过压紧螺柱8带动压紧板9压紧靶材4，从而使得靶材4和靶拖3固定，通过加热板2加热靶拖3，使得易熔金属涂层5融化，定位框6对靶材4和靶拖3相接处的缝隙极性封堵，避免融化的金属外溢，则金属液凝固后将靶材4和靶拖3牢固贴合。
定位框6包括四个定位块61，定位块61为l型结构，且定位块61内壁紧密贴合靶拖3和靶材4的四角处外壁，相邻定位块61的外壁间安装伸缩杆66，定位块61的一边内壁开有贯穿定位块61外壁的插入槽63，定位块61的另一边内壁开有卡槽62，插入槽63内滑动插入密封板65，密封板65的一端卡接在卡槽62内，且卡槽62内的密封板65端面紧密贴合相邻定位块61上的插入槽63内得密封板65外壁，密封板65紧密贴合易熔金属涂层5两侧的靶拖3和靶材4，插入槽63一侧的定位块61外壁通过螺纹结构套接锁紧螺栓64，锁紧螺栓64的端面紧密压在密封板65的外壁上，则通过调节伸缩杆66的长度，使得四个l型定位块61分别紧密贴合靶拖3和靶材4的四角处，从而将靶拖3和靶材4外壁对齐夹紧，确保靶材4顶面与靶拖3平行，再将密封板65从插入槽63插入，密封板65一端卡接卡槽62并紧密贴合相邻的密封板65外壁，使得四根密封板65紧密贴合易熔金属涂层5处的缝隙，并通过锁紧螺栓64对密封板65固定，则易熔金属涂层5融化后不会溢出，且防止外界空气氧化金属液，确保金属液凝固后均匀分布在靶拖3和靶材4间，使得靶拖3和靶材4贴合牢固且精确。
插入槽63和卡槽62的宽度等于密封板65的厚度，密封板65的高度大于易熔金属涂层5的厚度，确保密封板65紧贴靶拖3和靶材4外壁并对易熔金属涂层5完全封堵。
伸缩杆66包括固定套661和滑杆662，固定套661和滑杆662的一端分别固定连接相邻两个定位块61相靠近的一侧外壁，滑杆662的另一端滑动套接在固定套661内，固定套661的另一端端面紧密贴合调节螺母665的端面，调节螺母665的外壁一体成型设有转环663，调节螺母665外壁滑动套接压盘664，压盘664紧密压在转环663上，且压盘664的内壁过盈套接固定套661外壁，调节螺母665的内壁通过螺纹结构套接滑杆662的外壁，通过转动调节螺母665，从而带动滑杆662沿固定套661滑动，从而快速调节定位块61间距，且调节时，同时调节相对的两个伸缩杆66，使得定位块61贴合靶拖3和靶材4。
加热板2为电热板，易熔金属涂层5为金属铟合金涂层，且易熔金属涂层5的表面与靶拖3和靶材4外壁平齐，压紧板9的底部固定安装多个弹性橡胶半球结构的压紧垫。
工作原理：本实用新型使用时，靶材4放置在靶拖3上，使得易熔金属涂层5紧密接触，通过转动调节螺母665，从而带动滑杆662沿固定套661滑动，使得定位块61间距变大，便于将定位框6围在靶拖3和靶材4外侧，再转动调节螺母665，从而缩短定位块61间距，使得四个l型定位块61分别紧密贴合靶拖3和靶材4的四角处，从而将靶拖3和靶材4外壁对齐夹紧，确保靶材4顶面与靶拖3平行，再将密封板65从插入槽63插入，密封板65一端卡接卡槽62并紧密贴合相邻的密封板65外壁，使得四根密封板65紧密贴合易熔金属涂层5处的缝隙，并通过锁紧螺栓64对密封板65固定，将定位好的靶拖3和靶材4放在压紧板9下方的加热板2上，通过压紧螺柱8带动压紧板9压紧靶材4，从而使得靶材4和靶拖3固定，通过加热板2加热靶拖3，使得易熔金属涂层5融化，密封板65紧密贴合易熔金属涂层5处的缝隙，则易熔金属涂层5融化后不会溢出，且防止外界空气氧化金属液，确保金属液凝固后均匀分布在靶拖3和靶材4间，使得靶拖3和靶材4贴合牢固且精确。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
1.一种靶材贴合装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上固定安装加热板(2)，所述加热板(2)上放置靶拖(3)，所述靶拖(3)上放置靶材(4)，所述靶材(4)和靶拖(3)相接处的一面均固定涂有易熔金属涂层(5)，所述靶材(4)和靶拖(3)的侧壁间卡接定位框(6)，所述加热板(2)的一侧的底座(1)上固定安装固定架(7)，所述固定架(7)顶部通过螺纹结构套接压紧螺柱(8)，所述压紧螺柱(8)的底部贯穿固定架(7)并转动卡接压紧板(9)，所述压紧板(9)紧密压在靶材(4)上。
2.根据权利要求1所述的一种靶材贴合装置，其特征在于：所述定位框(6)包括四个定位块(61)，所述定位块(61)为l型结构，且定位块(61)内壁紧密贴合靶拖(3)和靶材(4)的四角处外壁，相邻所述定位块(61)的外壁间安装伸缩杆(66)，所述定位块(61)的一边内壁开有贯穿定位块(61)外壁的插入槽(63)，所述定位块(61)的另一边内壁开有卡槽(62)，所述插入槽(63)内滑动插入密封板(65)，所述密封板(65)的一端卡接在卡槽(62)内，且卡槽(62)内的密封板(65)端面紧密贴合相邻定位块(61)上的插入槽(63)内得密封板(65)外壁，所述密封板(65)紧密贴合易熔金属涂层(5)两侧的靶拖(3)和靶材(4)，所述插入槽(63)一侧的定位块(61)外壁通过螺纹结构套接锁紧螺栓(64)，所述锁紧螺栓(64)的端面紧密压在密封板(65)的外壁上。
3.根据权利要求2所述的一种靶材贴合装置，其特征在于：所述插入槽(63)和卡槽(62)的宽度等于密封板(65)的厚度，所述密封板(65)的高度大于易熔金属涂层(5)的厚度。
4.根据权利要求2所述的一种靶材贴合装置，其特征在于：所述伸缩杆(66)包括固定套(661)和滑杆(662)，所述固定套(661)和滑杆(662)的一端分别固定连接相邻两个定位块(61)相靠近的一侧外壁，所述滑杆(662)的另一端滑动套接在固定套(661)内，所述固定套(661)的另一端端面紧密贴合调节螺母(665)的端面，所述调节螺母(665)的外壁一体成型设有转环(663)，所述调节螺母(665)外壁滑动套接压盘(664)，所述压盘(664)紧密压在转环(663)上，且压盘(664)的内壁过盈套接固定套(661)外壁，所述调节螺母(665)的内壁通过螺纹结构套接滑杆(662)的外壁。
5.根据权利要求1所述的一种靶材贴合装置，其特征在于：所述加热板(2)为电热板，所述易熔金属涂层(5)为金属铟合金涂层，且易熔金属涂层(5)的表面与靶拖(3)和靶材(4)外壁平齐，所述压紧板(9)的底部固定安装多个弹性橡胶半球结构的压紧垫。
技术总结