本实用新型涉及光伏电池制造技术领域，具体涉及一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具。
背景技术：
随着光伏产业的规模化和光伏技术的迅速发展，超大产量原子层沉积（ald）技术成为光伏产品降本增效的有效途径。对于ald技术自身降低成本的最有效途径就是提高其设备如晶圆（硅片）的产量，而对于批入批出式ald设备，有效提高ald设备载具的装载量和缩短生产周期非常关键。
技术实现要素：
发明目的：本实用新型目的在于针对现有技术的不足，提供一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，能够提高载具的装载量和缩短ald设备的生产周期。
技术方案：本发明所述一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，包括由顶部件、底部件和两侧部件围成的载具框架；所述顶部件与底部件之间设置有若干齿条，所述齿条与侧部件平行；所述齿条的部分或全部设置为中空结构。
优选地，包括由顶板、底板和两侧板围成的载具框架；所述顶板与底板之间设置有两个齿条，所述齿条与侧板平行；所述两侧板的内侧端均固设有齿条。
优选地，所述两侧板的外侧端均设有导气槽。
优选地，包括由顶板、底板和两侧部齿条围成的载具框架；所述顶板和底板之间设置有一个齿条，所述齿条与侧部齿条平行。
优选地，包括由顶板、底板和两侧部齿条围成的载具框架；所述顶板和底板之间设置有两个齿条，所述齿条与侧部齿条平行。
优选地，包括由顶板、底板和两侧部齿条围成的载具框架；所述顶板和底板之间设置有多个齿条，所述齿条与侧部齿条平行；所述顶板的上端和底板的下端均设有导气槽。
优选地，所述齿条由金属制成。
优选地，所述顶板、底板均由金属制成。
优选地，所述侧板由金属制成。
所述金属优选铝合金、不锈钢、钛合金。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：
（1）本实用新型设置至少部分为中空结构的齿条，在实施时，将ald设备如晶圆（硅片）置于齿条的中空结构中，热媒（空气或氮气）从中空结构通过，将热量快速传递给齿条（或从齿条带走），由于齿条和ald设备直接接触，能够对ald设备进行快速加热或冷却。
（2）本实用新型能够有效杜绝载具划伤，能够有效减少绕镀，绕镀厚度为镀层厚度的50%以下。
（3）本实用新型的齿条等结构优选采用金属制成，如铝合金或铝镁合金，能够达到ald工艺要求，同时减少了载具成本，有效增加了转运和加热效率。
附图说明
图1为本实用新型实施例1的主视图。
图2为本实用新型实施例1的侧视图。
图3为本实用新型实施例1的俯视图。
图4为本实用新型实施例2的结构图。
图5为本实用新型实施例3的结构图。
图6为本实用新型实施例1实施时的示意图。
附图中，1-顶板，2-底板，3-侧板，4-齿条，5-导气槽，6-硅片，7-热媒。
具体实施方式
下面通过具体实施例和附图对本实用新型技术方案进行详细说明，但是本实用新型的保护范围不局限于所述实施例。
实施例1
一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，参照图1-3，包括由顶板1、底板2和两侧板3围成的载具框架；顶板1与底板2之间设置有两个齿条4，齿条4与侧板3平行，齿条4为中空齿条；两侧板3的内侧端均固设有齿条4；两侧板3的外侧端均设有导气槽5；其中，齿条4、顶板1、底板2和侧板3均由铝合金制成。
本实施例设置中空齿条，参照图6，在实施时，将ald设备如硅片6置于齿条的中空结构中，热媒7（空气或氮气）从中空结构通过，将热量快速传递给齿条（或从齿条带走），由于齿条和ald设备直接接触，能够对ald设备进行快速加热或冷却。
实施例2
一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，参照图4，包括由顶板1、底板2和两侧部齿条4围成的载具框架；顶板1和底板2之间设置有两个齿条4，齿条4与侧部齿条4平行，齿条4为中空齿条；其中，齿条4、顶板1和底板2均由不锈钢制成。
实施例3
一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，参照图5，包括由顶板1、底板2和两侧部齿条4围成的载具框架；顶板1和底板2之间设置有17个齿条4，齿条4与侧部齿条4平行，齿条4的部分设置为中空结构，顶板1的上端和底板2的下端均设有导气槽5；其中，齿条4、顶板1和底板2均由钛合金制成。
如上所述，尽管参照特定的优选实施例已经表示和表述了本实用新型，但其不得解释为对本实用新型自身的限制。在不脱离所附权利要求定义的本实用新型的精神和范围前提下，可对其在形式上和细节上作出各种变化。
1.一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，其特征在于，包括由顶部件、底部件和两侧部件围成的载具框架；所述顶部件与底部件之间设置有若干齿条，所述齿条与侧部件平行；所述齿条的部分或全部设置为中空结构。
2.根据权利要求1所述的速热载具，其特征在于，包括由顶板、底板和两侧板围成的载具框架；所述顶板与底板之间设置有两个齿条，所述齿条与侧板平行；所述两侧板的内侧端均固设有齿条。
3.根据权利要求2所述的速热载具，其特征在于，所述两侧板的外侧端均设有导气槽。
4.根据权利要求1所述的速热载具，其特征在于，包括由顶板、底板和两侧部齿条围成的载具框架；所述顶板和底板之间设置有一个齿条，所述齿条与侧部齿条平行。
5.根据权利要求1所述的速热载具，其特征在于，包括由顶板、底板和两侧部齿条围成的载具框架；所述顶板和底板之间设置有两个齿条，所述齿条与侧部齿条平行。
6.根据权利要求1所述的速热载具，其特征在于，包括由顶板、底板和两侧部齿条围成的载具框架；所述顶板和底板之间设置有多个齿条，所述齿条与侧部齿条平行；所述顶板的上端和底板的下端均设有导气槽。
7.根据权利要求1-6任一项所述的速热载具，其特征在于，所述齿条由金属制成。
8.根据权利要求2-6任一项所述的速热载具，其特征在于，所述顶板、底板均由金属制成。
9.根据权利要求2或3所述的速热载具，其特征在于，所述侧板由金属制成。
技术总结