本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，具体为一种用于化学气相沉积设备的馈通装置。
背景技术：
化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料，其中化学气相沉积用的馈通装置的作用更是不容忽视。
气体馈通时，引入的气体通常被引导至涂布器中再发生沉积反应，但是现有的技术中，往往只能够一次性引入所有气体，不能够有效地控制气体的流量和引入气体的种类，发生一次沉积现象往往需要频繁的更换设备，浪费人力物力的同时也对工作效率造成了严重的影响，因此，如何能够有效地控制气体的引入成为了一项继续解决的技术难题。
技术实现要素：
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于化学气相沉积设备的馈通装置，具备便于控制气体引入的优点，解决了气体的引入难以控制的问题。
(二)技术方案
为实现上述便于控制气体引入的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于化学气相沉积设备的馈通装置，包括外筒，所述外筒的内壁套接有旋转筒，所述外筒的底部固定连接有基板，所述基板的底部固定连接有底筒，所述底筒的底部固定连接有涂布器，所述外筒的外壁固定连接有底座，所述底座朝外面的一侧固定连接有进气管，所述底座朝外面的另一侧活动连接有旋转杆，所述旋转杆的顶部固定连接有旋转钮，所述进气管的朝内面固定连接有内圈，所述内圈的外壁开设有弧形槽，所述内圈的内部边缘铰接有三角叶片，所述三角叶片的一端铰接有连接杆，所述连接杆的顶端铰接有外圈，所述外圈的外壁啮合有转动轮，所述转动轮的中心处固定连接有旋转杆，所述内圈的朝内面固定连接有连接管，所述连接管的朝内面活动连接有旋转筒，所述旋转筒的外壁开设有圆形槽，所述旋转筒的底部开设有矩形槽，所述矩形槽活动连接在凹型座的内壁上，所述旋转筒的内壁活动连接有出气管。
优选的，所述底筒的顶部贯通基板的中心处与外筒固定连接，起到支撑外筒的作用。
优选的，所述底座、进气管、旋转杆、旋转钮、连接管、出气管、转动轮、内圈、三角叶片和外圈均有六个，均匀设置在外筒上，数量更多效率更高。
优选的，所述三角叶片、弧形槽和连接杆均有五个，便于控制三角叶片的开合。
优选的，所述内圈的面积等于五个三角叶片的面积和，便于封闭三角叶片。
优选的，所述连接杆的底端与内圈上开设的弧形槽相契合，使三角叶片与内圈的契合效果更佳。
优选的，所述圆形槽的半径与连接管和出气管的半径相等，便于控制气体的进入。
(三)有益效果
与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于化学气相沉积设备的馈通装置，具备以下有益效果：
1、该用于化学气相沉积设备的馈通装置，通过旋转旋转筒使旋转筒在凹型座上旋转移动，当旋转筒上的的圆形槽与连接管和出气管对接时进气管进入的化学气体可以通过连接管到达出气管，当封闭时气体被旋转筒的筒壁阻挡在外，通过旋转筒、凹型座、圆形槽、连接管、出气管和进气管之间的配合使用，从而达到了有效控制气体进入的效果。
2、该用于化学气相沉积设备的馈通装置，通过扭动旋转钮使旋转杆旋转，旋转杆旋转使转动轮转动，继而使其啮合的外圈转动，外圈转动又通过连接杆带动了内圈上铰接的三角叶片的开合，通过旋转钮、旋转杆、转动轮、外圈、连接杆、内圈和三角叶片之间的配合使用，从而达到了控制单个气体通道的闭合以及调整流量的效果。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型正面剖面图；
图3为本实用新型旋转筒部分侧视图；
图4为本实用新型底座部分剖面图；
图5为本实用新型图4中a部分放大图。
图中：1-外筒、2-旋转筒、3-基板、4-底筒、5-涂布器、6-底座、7-进气管、8-旋转杆、9-旋转钮、10-连接管、11-出气管、12-凹型座、13-矩形槽、14-圆形槽、15-转动轮、16-内圈、17-三角叶片、18-外圈、19-弧形槽、20-连接杆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5，一种用于化学气相沉积设备的馈通装置，包括外筒1，外筒1的内壁套接有旋转筒2，外筒1的底部固定连接有基板3，基板3的底部固定连接有底筒4，底筒4的顶部贯通基板3的中心处与外筒1固定连接，数量更多效率更高，起到支撑外筒1的作用，底筒4的底部固定连接有涂布器5，外筒1的外壁固定连接有底座6，底座6朝外面的一侧固定连接有进气管7，底座6朝外面的另一侧活动连接有旋转杆8，旋转杆8的顶部固定连接有旋转钮9，进气管7的朝内面固定连接有内圈16，内圈16的外壁开设有弧形槽19，内圈16的内部边缘铰接有三角叶片17，内圈16的面积等于五个三角叶片17的面积和，便于封闭三角叶片17，三角叶片17的一端铰接有连接杆20，连接杆20的底端与内圈16上开设的弧形槽19相契合，使三角叶片17与内圈16的契合效果更佳，三角叶片17、弧形槽19和连接杆20均有五个，便于控制三角叶片17的开合，连接杆20的顶端铰接有外圈18，底座6、进气管7、旋转杆8、旋转钮9、连接管10、出气管11、转动轮15、内圈16、三角叶片17和外圈18均有六个，均匀设置在外筒1上，外圈18的外壁啮合有转动轮15，转动轮15的中心处固定连接有旋转杆8，内圈16的朝内面固定连接有连接管10，连接管10的朝内面活动连接有旋转筒2，旋转筒2的外壁开设有圆形槽14，圆形槽14的半径与连接管10和出气管11的半径相等，便于控制气体的进入，旋转筒2的底部开设有矩形槽13，矩形槽13活动连接在凹型座12的内壁上，旋转筒2的内壁活动连接有出气管11。
工作原理:化学气体从进气管7进入，进气管7与连接管10之间固定连接有内圈16，通过扭动旋转钮9使旋转杆8转动，继而带动转动轮15转动，转动轮15转动带动其外壁啮合的外圈18转动，外圈18转动拉动了连接杆20的运动，外圈18顺时针转动时，连接杆20张开，带动三角叶片17张开，露出内圈16，化学气体可以进入，外圈18逆时针转动时，连接杆20闭合，带动三角叶片17在内圈16内闭合，封闭了气体通道，气体无法进入，通过控制三角叶片17的闭合，从而达到了可以控制单个气体通道的目的，当需要闭合所有气体通道时，转动旋转筒2，旋转筒2在凹型座12上转动，其外壁上开设的圆形槽14与连接管10和出气管11的管口错开，从而封闭了所有的气体通道。
综上所述，该用于化学气相沉积设备的馈通装置，通过旋转旋转筒2使旋转筒2在凹型座12上旋转移动，当旋转筒2上的的圆形槽14与连接管10和出气管11对接时进气管7进入的化学气体可以通过连接管10到达出气管11，当封闭时气体被旋转筒2的筒壁阻挡在外，通过旋转筒2、凹型座12、圆形槽14、连接管10、出气管11和进气管7之间的配合使用，从而达到了有效控制气体进入的效果；底座6部分，通过扭动旋转钮9使旋转杆8旋转，旋转杆8旋转使转动轮15转动，继而使其啮合的外圈18转动，外圈18转动又通过连接杆20带动了内圈16上铰接的三角叶片17的开合，通过旋转钮9、旋转杆8、转动轮15、外圈18、连接杆20、内圈16和三角叶片17之间的配合使用，从而达到了控制单个气体通道的闭合以及调整流量的效果。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
1.一种用于化学气相沉积设备的馈通装置，包括外筒(1)，其特征在于：所述外筒(1)的内壁套接有旋转筒(2)，所述外筒(1)的底部固定连接有基板(3)，所述基板(3)的底部固定连接有底筒(4)，所述底筒(4)的底部固定连接有涂布器(5)，所述外筒(1)的外壁固定连接有底座(6)，所述底座(6)朝外面的一侧固定连接有进气管(7)，所述底座(6)朝外面的另一侧活动连接有旋转杆(8)，所述旋转杆(8)的顶部固定连接有旋转钮(9)，所述进气管(7)的朝内面固定连接有内圈(16)，所述内圈(16)的外壁开设有弧形槽(19)，所述内圈(16)的内部边缘铰接有三角叶片(17)，所述三角叶片(17)的一端铰接有连接杆(20)，所述连接杆(20)的顶端铰接有外圈(18)，所述外圈(18)的外壁啮合有转动轮(15)，所述转动轮(15)的中心处固定连接有旋转杆(8)，所述内圈(16)的朝内面固定连接有连接管(10)，所述连接管(10)的朝内面活动连接有旋转筒(2)，所述旋转筒(2)的外壁开设有圆形槽(14)，所述旋转筒(2)的底部开设有矩形槽(13)，所述矩形槽(13)活动连接在凹型座(12)的内壁上，所述旋转筒(2)的内壁活动连接有出气管(11)。
2.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积设备的馈通装置，其特征在于：所述底筒(4)的顶部贯通基板(3)的中心处与外筒(1)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积设备的馈通装置，其特征在于：所述底座(6)、进气管(7)、旋转杆(8)、旋转钮(9)、连接管(10)、出气管(11)、转动轮(15)、内圈(16)、三角叶片(17)和外圈(18)均有六个，均匀设置在外筒(1)上。
4.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积设备的馈通装置，其特征在于：所述三角叶片(17)、弧形槽(19)和连接杆(20)均有五个。
5.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积设备的馈通装置，其特征在于：所述内圈(16)的面积等于五个三角叶片(17)的面积和。
6.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积设备的馈通装置，其特征在于：所述连接杆(20)的底端与内圈(16)上开设的弧形槽(19)相契合。
7.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积设备的馈通装置，其特征在于：所述圆形槽(14)的半径与连接管(10)和出气管(11)的半径相等。
技术总结