本申请涉及电路蚀刻领域，特别是涉及一种蚀刻设备。
背景技术：
随着科技的进步与越发精细，对电子元件的基础材料——电路板的要求也越来越高，目前，行业里面最常用的都是单流体蚀刻技术。采用雾化喷嘴，通过泵浦将药液加压后打散，然后喷淋在板面上。常见的蚀刻装置，包括喷淋管和传送轨道，其中多个带有相同喷淋量的喷嘴位于传送轨道的上方，在传送轨道上提供需要蚀刻的电路板(即本申请中的待蚀刻基板)，对喷淋管提供蚀刻药水对电路板进行蚀刻，但采用这种方式进行雾化，药液的粒径大小太大，大约在80-110um之间，所以在做精细线路(线宽线隙30um/30um)的时候，药水很难进入到线路之间，导致蚀刻深度不理想，蚀刻不均匀，侧蚀现象较为严重，线路侧壁的平整性较差。
因此，找到一种使所述蚀刻液与待蚀刻基板充分接触，提高蚀刻均匀性，提高线路侧壁平整性的设备，是本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现要素：
本申请的目的是提供一种蚀刻设备，以解决现有技术中蚀刻液与待蚀刻的线路板基材接触不充分，导致蚀刻效果差，线路边缘参差不平的情况。
为解决上述技术问题，本申请提供一种蚀刻设备，所述蚀刻设备包括空压机、储气罐、过滤器、喷淋器及输送带；
所述喷淋器包括液体分流盘、气体分流盘及空气雾化喷嘴，且所述液体分流盘及所述气体分流盘固定于所述喷淋器的壳体中；
所述空气雾化喷嘴设置在所述喷淋器的下表面；
所述喷淋器设置于所述输送带上方；
所述过滤器用于过滤通过所述储气罐向所述空气雾化喷嘴输送的气体中的油。
可选地，在所述的蚀刻设备中，所述蚀刻设备还包括干燥器，所述干燥器用于吸收所述过滤器向所述空气雾化喷嘴输送的气体中的水汽。
可选地，在所述的蚀刻设备中，所述蚀刻设备还包括摇摆器，所述摇摆器使所述喷淋器在水平面内垂直于所述输送带的输送方向摇摆。
可选地，在所述的蚀刻设备中，所述摇摆器为通过凸轮驱动的摇摆器。
可选地，在所述的蚀刻设备中，所述液体分流盘与所述喷淋器的壳体之间、所述气体分流盘与所述喷淋器的壳体之间通过导轨连接；
所述壳体的侧壁设置有开关门，所述液体分流盘及所述气体分流盘能通过所述开关门抽出所述壳体或推入所述壳体。
可选地，在所述的蚀刻设备中，所述液体分流盘及所述气体分流盘的边缘设置有滑轮；所述液体分流盘及所述气体分流盘通过所述滑轮设置于所述导轨上。
可选地，在所述的蚀刻设备中，所述蚀刻设备还包括气体加热器，所述气体加热器用于对输送向所述气体分流盘的气体进行加热。
可选地，在所述的蚀刻设备中，所述空气雾化喷嘴的喷射方向垂直于所述输送带所在的平面。
可选地，在所述的蚀刻设备中，所述气体分流盘与所述空气雾化喷嘴之间、所述液体分流盘与所述空气雾化喷嘴之间通过塑料软管连接。
本申请所提供的蚀刻设备，所述蚀刻设备包括空压机、储气罐、过滤器、喷淋器及输送带；所述喷淋器包括液体分流盘、气体分流盘及空气雾化喷嘴，且所述液体分流盘及所述气体分流盘固定于所述喷淋器的壳体中；所述空气雾化喷嘴设置在所述喷淋器的下表面；所述喷淋器设置于所述输送带上方；所述过滤器用于过滤通过所述储气罐向所述空气雾化喷嘴输送的气体中的油。本申请中通过使用空气雾化喷嘴，将喷出的蚀刻液的微粒尺寸控制在30微米至50微米之间，使所述微粒能轻易进入精细线路板(线路间距一般为30微米左右)的线路之间，对所述线路板充分蚀刻，使蚀刻后得到的线路深浅一致，侧壁平整，此外，本申请还在现有的蚀刻设备的基础上，增设了所述过滤器，滤除空气在空压机内被压缩的过程中混入的油污杂质，所述油污杂质会污染蚀刻液，可能导致蚀刻液发生化学变化，达不到预想的蚀刻效果，同时阻碍所述蚀刻液与所述待蚀刻基板的接触，导致蚀刻不均匀，大大降低蚀刻效果。
附图说明
为了更清楚的说明本申请实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请提供的蚀刻设备的一种具体实施方式的结构示意图；
图2为本申请提供的蚀刻设备的另一种具体实施方式的结构示意图；
图3为本申请提供的蚀刻设备的又一种具体实施方式的喷淋器内部连接侧视图；
图4为本申请提供的蚀刻设备的又一种具体实施方式的喷淋器内部连接正视图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
本申请的核心是提供一种蚀刻设备，其中一种的具体实施方式如图1所示，称其为具体实施方式一，包括空压机100、储气罐200、过滤器300、喷淋器400及输送带500；
所述喷淋器400包括液体分流盘401、气体分流盘402及空气雾化喷嘴403，且所述液体分流盘401及所述气体分流盘402固定于所述喷淋器400的壳体中；
所述空气雾化喷嘴403设置在所述喷淋器400的下表面；
所述喷淋器400设置于所述输送带500上方；
所述过滤器300用于过滤通过所述储气罐200向所述空气雾化喷嘴403输送的气体中的油。
特别的，所述蚀刻设备还包括干燥器，所述干燥器用于吸收所述过滤器300向所述空气雾化喷嘴403输送的气体中的水汽。空气在所述空气雾化喷嘴403中会与所述蚀刻液混合，因此若空气的湿度太高，则会导致最终喷淋在所述待蚀刻基板上的药液浓度降低，影响最终的蚀刻效果，因此，加装干燥器可有效提高最终产品的良品率。
需要注意的是，所述蚀刻设备还包括气体加热器，所述气体加热器用于对输送向所述气体分流盘402的气体进行加热。所述蚀刻液的温度同样会影响蚀刻效果，若通过所述加热器将所述蚀刻液温度加热至45摄氏度至55摄氏度之间，和所述蚀刻液工作温度一致，则会大大提高蚀刻速度，提升生产效率。
更进一步地，所述空气雾化喷嘴403的喷射方向垂直于所述输送带500所在的平面。
需要特别注意的是，所述气体分流盘402与所述空气雾化喷嘴403之间、所述液体分流盘401与所述空气雾化喷嘴403之间通过塑料软管连接。塑料软管的韧性好，柔软度高，适合设置多弯的复杂线路，同时塑料软管的耐腐蚀性好，价格低廉，可延长设备的使用寿命，同时降低成本。
本申请所提供的蚀刻设备，所述蚀刻设备包括空压机100、储气罐200、过滤器300、喷淋器400及输送带500；所述喷淋器400包括液体分流盘401、气体分流盘402及空气雾化喷嘴403，且所述液体分流盘401及所述气体分流盘402固定于所述喷淋器400的壳体中；所述空气雾化喷嘴403设置在所述喷淋器400的下表面；所述喷淋器400设置于所述输送带500上方；所述过滤器300用于过滤通过所述储气罐200向所述空气雾化喷嘴403输送的气体中的油。本申请中通过使用空气雾化喷嘴403，将喷出的蚀刻液的微粒尺寸控制在30微米至50微米之间，使所述微粒能轻易进入精细线路板(线路间距一般为30微米左右)的线路之间，对所述线路板充分蚀刻，使蚀刻后得到的线路深浅一致，侧壁平整，此外，本申请还在现有的蚀刻设备的基础上，增设了所述过滤器300，滤除空气在空压机100内被压缩的过程中混入的油污杂质，所述油污杂质会污染蚀刻液，可能导致蚀刻液发生化学变化，达不到预想的蚀刻效果，同时阻碍所述蚀刻液与所述待蚀刻基板的接触，导致蚀刻不均匀，大大降低蚀刻效果。
在具体实施方式一的基础上，进一步对所述蚀刻设备增设摇摆器600，称其为具体实施方式二，其结构示意图如图2所示，包括空压机100、储气罐200、过滤器300、喷淋器400及输送带500；
所述喷淋器400包括液体分流盘401、气体分流盘402及空气雾化喷嘴403，且所述液体分流盘401及所述气体分流盘402固定于所述喷淋器400的壳体中；
所述空气雾化喷嘴403设置在所述喷淋器400的下表面；
所述喷淋器400设置于所述输送带500上方；
所述过滤器300用于过滤通过所述储气罐200向所述空气雾化喷嘴403输送的气体中的油；
所述蚀刻设备还包括摇摆器600，所述摇摆器600使所述喷淋器400在水平面内垂直于所述输送带500的输送方向摇摆。
本具体实施方式与上述具体实施方式的不同之处在于，本具体实施方式为所述蚀刻设备增设了所述摇摆器600，其余结构均与上述具体实施方式相同，在此不再展开赘述。
更进一步地，所述摇摆器600为通过凸轮驱动的摇摆器600。本具体实施方式中，为所述喷淋器400加装了摇摆器600，使得所述喷淋器400可以在水平方向上周期性地左右移动，避免由于个别空气雾化喷嘴403堵塞，导致所述待蚀刻基板的部分区域蚀刻不充分，进而导致蚀刻不均匀，产生坏件，大大提高了最终成品的良品率。
在具体实施方式二的基础上，进一步对所述气体分流盘402与所述壳体的连接方式、所述液体分流盘401与所述壳体的连接方式做限定，得到具体实施方式三，其喷淋器400内部连接侧视图如图3所示，喷淋器400内部连接正视图如图4所示，包括空压机100、储气罐200、过滤器300、喷淋器400及输送带500；
所述喷淋器400包括液体分流盘401、气体分流盘402及空气雾化喷嘴403，且所述液体分流盘401及所述气体分流盘402固定于所述喷淋器400的壳体中；
所述空气雾化喷嘴403设置在所述喷淋器400的下表面；
所述喷淋器400设置于所述输送带500上方；
所述过滤器300用于过滤通过所述储气罐200向所述空气雾化喷嘴403输送的气体中的油；
所述蚀刻设备还包括摇摆器600，所述摇摆器600使所述喷淋器400在水平面内垂直于所述输送带500的输送方向摇摆；
所述液体分流盘401与所述喷淋器400的壳体之间、所述气体分流盘402与所述喷淋器400的壳体之间通过导轨404连接；
所述壳体的侧壁设置有开关门405，所述液体分流盘401及所述气体分流盘402能通过所述开关门405抽出所述壳体或推入所述壳体。
本具体实施方式中将所述喷淋器400的壳体限定为侧壁具有开关门405的壳体，并使所述液体分流盘401及所述气体分流盘402通过导轨404架设在所述壳体上，可以使所述液体分流盘401及所述气体分流盘402更方便省力地维护或者更换，大大节约了设备保养检修所需的时间，降低了人力成本。
为更进一步方便取出及放置所述液体分流盘401及气体分流盘402，还可在所述液体分流盘401及所述气体分流盘402的边缘设置有滑轮；述液体分流盘401及所述气体分流盘402通过所述滑轮设置于所述导轨404上。通过滑轮进一步降低所述液体分流盘401及所述气体分流盘402与所述导轨404的摩擦，当然，还可进一步增设固定卡扣，防止工作中的所述液体分流盘401及所述气体分流盘402相对所述壳体移动。
本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其它实施例的不同之处，各个实施例之间相同或相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。
需要说明的是，在本说明书中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上对本申请所提供的蚀刻设备进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以对本申请进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本申请权利要求的保护范围内。
1.一种蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻设备包括空压机、储气罐、过滤器、喷淋器及输送带；
所述喷淋器包括液体分流盘、气体分流盘及空气雾化喷嘴，且所述液体分流盘及所述气体分流盘固定于所述喷淋器的壳体中；
所述空气雾化喷嘴设置在所述喷淋器的下表面；
所述喷淋器设置于所述输送带上方；
所述过滤器用于过滤通过所述储气罐向所述空气雾化喷嘴输送的气体中的油。
2.如权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻设备还包括干燥器，所述干燥器用于吸收所述过滤器向所述空气雾化喷嘴输送的气体中的水汽。
3.如权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻设备还包括摇摆器，所述摇摆器使所述喷淋器在水平面内垂直于所述输送带的输送方向摇摆。
4.如权利要求3所述的蚀刻设备，其特征在于，所述摇摆器为通过凸轮驱动的摇摆器。
5.如权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述液体分流盘与所述喷淋器的壳体之间、所述气体分流盘与所述喷淋器的壳体之间通过导轨连接；
所述壳体的侧壁设置有开关门，所述液体分流盘及所述气体分流盘能通过所述开关门抽出所述壳体或推入所述壳体。
6.如权利要求5所述的蚀刻设备，其特征在于，所述液体分流盘及所述气体分流盘的边缘设置有滑轮；述液体分流盘及所述气体分流盘通过所述滑轮设置于所述导轨上。
7.如权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻设备还包括气体加热器，所述气体加热器用于对输送向所述气体分流盘的气体进行加热。
8.如权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述空气雾化喷嘴的喷射方向垂直于所述输送带所在的平面。
9.如权利要求1至8任一项所述的蚀刻设备，其特征在于，所述气体分流盘与所述空气雾化喷嘴之间、所述液体分流盘与所述空气雾化喷嘴之间通过塑料软管连接。
技术总结