一种单晶炉故障报警装置的制作方法

专利2022-06-28  173


本实用新型涉及单晶炉技术领域,尤其涉及一种单晶炉故障报警装置。



背景技术:

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

运行时,将原硅料放入石英埚内,开启加热器,原硅料加热为液体后,然后慢慢将硅液冷却并稳定到快要结晶的温度,使用旋转的籽晶慢慢将硅液拉成为单晶硅棒。如果石英埚存在隐形裂纹,在熔解硅料时,随着硅液对石英埚压力的增大,裂纹也会扩大,硅液就会从裂纹漏出,引起报警器报警,便于及时的发现处理,降低损失。

目前报警装置报警后,如果人员不能及时快速的进行处理,高温的硅液滴落后会从托盘溢出,造成内部电器件的损害。

为此,我们提出一种单晶炉故障报警装置解决上述问题。



技术实现要素:

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的问题,而提出的一种单晶炉故障报警装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种单晶炉故障报警装置,包括坩埚和托盘,所述托盘的上表面开设有凹槽,所述坩埚设置在凹槽上,所述凹槽为锥形结构,所述托盘的内部中间位置开设有空腔,所述凹槽的底面中间位置开设有与空腔连通的漏孔,所述空腔侧壁开设有环形的球形槽,所述球形槽内滚动连接有滚球,所述托盘的内部还开设有收集腔,所述空腔的下端与收集腔相连通设置,所述托盘的底面开设有与收集腔连通的卸料口,所述滚球的一侧开设有接料槽,所述接料槽的槽壁下端对称嵌设有第一导电块和第二导电块,所述滚球的内部开设有报警腔,所述报警腔内安装有报警器,所述第一导电块的一端连接有导线,所述导线的另一端与报警器接线端连接,所述报警器的另一接线端通过导线与第二导电块的一端连接。

优选的,所述滚球上开设有贯通的流孔,所述流孔与接料槽垂直设置,所述托盘的内部开设有电机腔,所述球形槽的一侧下方开设有与电机腔连通的条形口,所述电机腔内安装有电机,所述电机的输出端连接有齿轮,所述滚球的表面开设有齿槽,所述齿轮穿过条形口与齿槽啮合,所述报警腔内还固定连接有电流传感器和继电器,所述电流传感器与导线并联,所述继电器的一端与电流传感器电性连接,所述继电器的另一端与电机电性连接。

优选的,所述齿槽的长度为滚球外弧长的四分之一。

优选的,所述漏孔、接料槽的直径和流孔的直径比为1:1.2:1.2。

优选的,所述接料槽的深度小于滚球直径的二分之一。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

1、此单晶炉故障报警装置,通过在空腔内滚动连接有滚球,滚球上开设接料槽,接料槽接到漏出的硅液后,硅液具有导电性,使得滚球内部的报警电路接通,实现及时的报警,便于工作人员及时处理,降低损失。

2、此单晶炉故障报警装置,通过在滚球上开设流孔,出现漏液后,电流传感器控制电机工作,使得齿轮驱动滚球转动,流孔接收硅液至收集腔,避免工作人员未及时到达,硅液溢出,对炉体内部电器件造损害,避免增大损失。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种单晶炉故障报警装置整体结构图;

图2为本实用新型提出的一种单晶炉故障报警装置滚球示意图;

图3为图1中a处的结构示意图;

图4为图3中b处的结构示意图。

图中:1坩埚、2托盘、3凹槽、4收集腔、5卸料口、6空腔、7第一导电块、8导线、9球形槽、10漏孔、11接料槽、12第二导电块、13报警器、14报警腔、15流孔、16齿轮、17电机腔、18电机、19滚球、20齿槽、21条形口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。

参照图1-4,一种单晶炉故障报警装置,包括坩埚1和托盘2,托盘2的上表面开设有凹槽3,坩埚1设置在凹槽3上,凹槽3为锥形结构,托盘2的内部中间位置开设有空腔6,凹槽3的底面中间位置开设有与空腔6连通的漏孔10,漏孔10、接料槽11的直径和流孔15的直径比为1:1.2:1.2,保证接料槽11和流孔15能接收漏孔10的硅液,当硅液泄漏,由于硅液具有导电性,会使得报警电路连通,实现报警器13报警,空腔6侧壁开设有环形的球形槽9,球形槽9内滚动连接有滚球19,滚球19上开设有贯通的流孔15,流孔15与接料槽11垂直设置,托盘2的内部开设有电机腔17,球形槽9的一侧下方开设有与电机腔17连通的条形口21,电机腔17内安装有电机18,电机18的输出端连接有齿轮16,滚球19的表面开设有齿槽20,齿槽20的长度为滚球19外弧长的四分之一,齿轮16带动滚球19转动,齿槽20的长度正好使得滚球19的流孔15与漏孔10对应,使得齿轮16穿过条形口21与齿槽20啮合,报警腔14内还固定连接有电流传感器和继电器,电流传感器与导线8并联,继电器的一端与电流传感器电性连接,继电器的另一端与电机18电性连接,滚球19转动使得流孔15与漏孔10对应后,可实现对硅液进行收集,避免硅液溢出对炉体内部电器件造成损害,托盘2的内部还开设有收集腔4,空腔6的下端与收集腔4相连通设置,托盘2的底面开设有与收集腔4连通的卸料口5,滚球19的一侧开设有接料槽11,接料槽11的深度小于滚球19直径的二分之一,接料槽11的槽壁下端对称嵌设有第一导电块7和第二导电块12,滚球19的内部开设有报警腔14,报警腔14内安装有报警器13,第一导电块7的一端连接有导线8,导线8的另一端与报警器13接线端连接,报警器13的另一接线端通过导线8与第二导电块12的一端连接,需要说明的是,上述电机18的型号为yb2-132s-4-h,上述电流传感器的型号为hcs-es5-10a,上述继电器的型号为srd-12vdc-sl-c。

本实用新型中,当坩埚1漏液时,硅液流入凹槽3,并从漏孔10滴落,由于接料槽11与漏孔10对应,硅液滴入接料槽11中,接料槽11内部的第一导电块7和第二导电块12连通,报警器13通电后报警,在处理人员未及时到达前,电流传感器产生电信号,使得继电器启动电机18工作,电机18驱动齿轮16转动,由于齿轮16与齿槽20啮合,齿轮16的转动带动滚球19转动,使得流孔15与漏孔10对应,漏孔10滴出的硅液通过流孔进入收集腔4中,避免硅液溢出对内部电器件造成损害,待处理人员维修后,启动电机18反向转动,通过齿轮16带动滚球19转动,使得接料槽11与漏孔10对应,采用夹件对接料槽11内凝固的单晶硅夹取,然后将收集腔4的硅液通过卸料口5排出。

以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征:

1.一种单晶炉故障报警装置,包括坩埚(1)和托盘(2),其特征在于,所述托盘(2)的上表面开设有凹槽(3),所述坩埚(1)设置在凹槽(3)上,所述凹槽(3)为锥形结构,所述托盘(2)的内部中间位置开设有空腔(6),所述凹槽(3)的底面中间位置开设有与空腔(6)连通的漏孔(10),所述空腔(6)侧壁开设有环形的球形槽(9),所述球形槽(9)内滚动连接有滚球(19),所述托盘(2)的内部还开设有收集腔(4),所述空腔(6)的下端与收集腔(4)相连通设置,所述托盘(2)的底面开设有与收集腔(4)连通的卸料口(5),所述滚球(19)的一侧开设有接料槽(11),所述接料槽(11)的槽壁下端对称嵌设有第一导电块(7)和第二导电块(12),所述滚球(19)的内部开设有报警腔(14),所述报警腔(14)内安装有报警器(13),所述第一导电块(7)的一端连接有导线(8),所述导线(8)的另一端与报警器(13)接线端连接,所述报警器(13)的另一接线端通过导线(8)与第二导电块(12)的一端连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉故障报警装置,其特征在于,所述滚球(19)上开设有贯通的流孔(15),所述流孔(15)与接料槽(11)垂直设置,所述托盘(2)的内部开设有电机腔(17),所述球形槽(9)的一侧下方开设有与电机腔(17)连通的条形口(21),所述电机腔(17)内安装有电机(18),所述电机(18)的输出端连接有齿轮(16),所述滚球(19)的表面开设有齿槽(20),所述齿轮(16)穿过条形口(21)与齿槽(20)啮合,所述报警腔(14)内还固定连接有电流传感器和继电器,所述电流传感器与导线(8)并联,所述继电器的一端与电流传感器电性连接,所述继电器的另一端与电机(18)电性连接。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉故障报警装置,其特征在于,所述齿槽(20)的长度为滚球(19)外弧长的四分之一。

4.根据权利要求2所述的一种单晶炉故障报警装置,其特征在于,所述漏孔(10)、接料槽(11)的直径和流孔(15)的直径比为1:1.2:1.2。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉故障报警装置,其特征在于,所述接料槽(11)的深度小于滚球(19)直径的二分之一。

技术总结
本实用新型公开一种单晶炉故障报警装置,包括坩埚和托盘,所述托盘的上表面开设有凹槽,所述坩埚设置在凹槽上,所述凹槽为锥形结构,所述托盘的内部中间位置开设有空腔,所述凹槽的底面中间位置开设有与空腔连通的漏孔,所述空腔侧壁开设有环形的球形槽,所述球形槽内滚动连接有滚球,所述托盘的内部还开设有收集腔,所述空腔的下端与收集腔上壁中央位置连通,所述托盘的底面开设有与收集腔连通的卸料口,本实用新型涉及单晶炉技术领域,该单晶炉故障报警装置可对坩埚漏液进行及时报警,并且能对漏液进行导流,避免高温硅液溢出对炉体内部电器件造成损害。

技术研发人员:张世平;闫志祥;马立强;陈炳旭
受保护的技术使用者:焦作晶锐光电有限公司
技术研发日:2019.07.31
技术公布日:2020.06.09

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