本实用新型涉及单晶炉技术领域,尤其涉及一种单晶炉坩埚位置可调整装置。
背景技术:
单晶硅是硅的单晶体,其具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料,纯度要求达到99.9999%,甚至达到99.9999999%以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。单晶硅可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造,其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域,在军事电子设备中也占有重要地位。
目前在对单晶硅进行制备的过程中往往都是通过起吊坩埚变化坩埚在炉体内的位置高度来实现对其拉晶时状态的把控,但是对坩埚直接进行起吊,可能会使坩埚发生晃动等不确定性因素,影响单晶硅的正常制备。
技术实现要素:
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,如:现有技术对坩埚直接进行起吊,可能会使坩埚发生晃动等不确定性因素,影响单晶硅的正常制备,进而提出的一种单晶炉坩埚位置可调整装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种单晶炉坩埚位置可调整装置,包括通过吊臂固定在厂区横梁上的安装板和固定安装在厂区地面上的底座,所述底座的上表面居中位置处固定安装有伸缩柱,所述伸缩柱的顶部固接有炉体,所述炉体的上方设置有炉盖,且所述炉体的内底部设置有加热器,所述安装板的底部对称安装有两个连接杆,两个所述连接杆的下端贯穿炉盖的顶部后共同固定连接有安装架,所述安装架上安放有坩埚,所述安装板上安装有与炉体相匹配的适配调整机构。
优选的,所述适配调整机构包括固定套接在炉体中部的套环,所述安装板的上表面对称安装有两个支架,两个所述支架之间插设并转动连接有转轴,所述转轴上对称固定安装有两个卷绳轮,两个所述卷绳轮上均卷绕有钢丝绳,两个所述钢丝绳的末端分别固接在套环的左右两侧,所述安装板上通过电机安装座安装有伺服电机,所述伺服电机的输出端通过联轴器与转轴的右端固定连接。
优选的,所述伺服电机为交流伺服电机,所述伺服电机通过导线与市电相连。
优选的,所述炉体的外侧壁上设置有控制器,所述控制器通过导线与市电相连,且所述控制器与伺服电机之间通过导线电性连接。
优选的,所述炉体、炉盖之间的连接方式为通过螺栓与螺母形成的可拆卸式连接。
优选的,所述卷绳轮与转轴之间通过键连接的方式固接。
本实用新型的有益效果为:采用将坩埚安放在固定的安装架上的方式,这样在利用炉体内加热器对坩埚内硅料进行热熔的时候,可以通过炉体的升降实现炉体内坩埚与炉体内加热器之间位置距离的变化,相较于之前的直接提拉坩埚可以最大程度上保证坩埚的稳定性,避免晃动等情况的意外发生,从而单晶硅的正常制备。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种单晶炉坩埚位置可调整装置的结构示意图;
图2为本实用新型中炉体内部的结构示意图。
图中:1连接杆、2炉体、3炉盖、4安装架、5坩埚、6控制器、7底座、8伸缩柱、9套环、10钢丝绳、11安装板、12支架、13转轴、14卷绳轮、15伺服电机。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
参照图1-2,一种单晶炉坩埚位置可调整装置,包括通过吊臂固定在厂区横梁上的安装板11和固定安装在厂区地面上的底座7,底座7的上表面居中位置处固定安装有伸缩柱8,伸缩柱8的顶部固接有炉体2,炉体2的上方设置有炉盖3,且炉体2的内底部设置有加热器,安装板11的底部对称安装有两个连接杆1,两个连接杆1的下端贯穿炉盖3的顶部后共同固定连接有安装架4,安装架4上安放有坩埚5,安装板11上安装有与炉体2相匹配的适配调整机构。
适配调整机构包括固定套接在炉体2中部的套环9,安装板11的上表面对称安装有两个支架12,两个支架12之间插设并转动连接有转轴13,转轴13上对称固定安装有两个卷绳轮14,两个卷绳轮14上均卷绕有钢丝绳10,两个钢丝绳10的末端分别固接在套环9的左右两侧,安装板11上通过电机安装座安装有伺服电机15,伺服电机15的输出端通过联轴器与转轴13的右端固定连接。
伺服电机15为交流伺服电机,伺服电机15通过导线与市电相连。炉体2的外侧壁上设置有控制器6,控制器6通过导线与市电相连,且控制器6与伺服电机15之间通过导线电性连接。其中控制器6、伺服电机15的具体型号、电路连接等均为公知常识和惯用技术在此不再赘。
炉体2、炉盖3之间的连接方式为通过螺栓与螺母形成的可拆卸式连接。这样方便对坩埚5内制备好的单晶硅进行拿取,也方便了硅料的添加。
卷绳轮14与转轴13之间通过键连接的方式固接。
本实用新型提出的一种单晶炉坩埚位置可调整装置中,采用将坩埚5安放在固定的安装架4上的方式,这样在利用炉体2内加热器对坩埚5内硅料进行热熔的时候,可以通过控制伺服电机15带动转轴13转动实现两个卷绳轮14对两根钢丝绳10的自如收放,这样炉体2会上下升降,通过炉体2的升降实现炉体2内坩埚5与炉体2内加热器之间位置距离的变化,相较于之前的直接提拉坩埚5可以最大程度上保证坩埚5的稳定性,避免晃动等情况的意外发生,从而单晶硅的正常制备;另外,通过底座7、炉体2之间伸缩柱8的设置可以进一步提高炉体2升降时的稳定性,避免炉体2的意外偏斜对其内坩埚5的不利影响。
以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
1.一种单晶炉坩埚位置可调整装置,包括通过吊臂固定在厂区横梁上的安装板(11)和固定安装在厂区地面上的底座(7),其特征在于,所述底座(7)的上表面居中位置处固定安装有伸缩柱(8),所述伸缩柱(8)的顶部固接有炉体(2),所述炉体(2)的上方设置有炉盖(3),且所述炉体(2)的内底部设置有加热器,所述安装板(11)的底部对称安装有两个连接杆(1),两个所述连接杆(1)的下端贯穿炉盖(3)的顶部后共同固定连接有安装架(4),所述安装架(4)上安放有坩埚(5),所述安装板(11)上安装有与炉体(2)相匹配的适配调整机构。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚位置可调整装置,其特征在于,所述适配调整机构包括固定套接在炉体(2)中部的套环(9),所述安装板(11)的上表面对称安装有两个支架(12),两个所述支架(12)之间插设并转动连接有转轴(13),所述转轴(13)上对称固定安装有两个卷绳轮(14),两个所述卷绳轮(14)上均卷绕有钢丝绳(10),两个所述钢丝绳(10)的末端分别固接在套环(9)的左右两侧,所述安装板(11)上通过电机安装座安装有伺服电机(15),所述伺服电机(15)的输出端通过联轴器与转轴(13)的右端固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉坩埚位置可调整装置,其特征在于,所述伺服电机(15)为交流伺服电机,所述伺服电机(15)通过导线与市电相连。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉坩埚位置可调整装置,其特征在于,所述炉体(2)的外侧壁上设置有控制器(6),所述控制器(6)通过导线与市电相连,且所述控制器(6)与伺服电机(15)之间通过导线电性连接。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚位置可调整装置,其特征在于,所述炉体(2)、炉盖(3)之间的连接方式为通过螺栓与螺母形成的可拆卸式连接。
6.根据权利要求2所述的一种单晶炉坩埚位置可调整装置,其特征在于,所述卷绳轮(14)与转轴(13)之间通过键连接的方式固接。
技术总结