本实用新型涉及废气处理领域,尤其涉及一种硝酸吹白废气处理设备。
背景技术:
近几年,随着电子产业飞速发展,芯片制造行业也在突飞猛进的发展,芯片的氧化膜越来越薄。制造芯片时,需要用硝酸对其进行清洗和腐蚀,硝酸纯度的高低对芯片的成品率起着关键性的作用。即,硝酸纯度越高,芯片的成品率越高。因此,人们非常渴望得到高纯度的硝酸,在工业上有时候需要比较纯净的硝酸,尤其二氧化氮要少,否则副反应和副产物都会增加。在硝酸工业中,原则上会经过漂白处理,即用洁净空气吹除其中含有的二氧化氮,得到无色透明或略带黄色的液体
但是,现有技术中应用的硝酸吹白设备较为复杂,空气分散效果不好,导致二氧化氮排出效率低,从而使吹白效果差,影响了硝酸的实际应用效果,且现有的设备不能对排出的二氧化氮进行处理,所以会污染空气。
因此,有必要提供一种硝酸吹白废气处理设备解决上述技术问题。
技术实现要素:
本实用新型提供一种硝酸吹白废气处理设备,解决了现有的硝酸吹白设备吹白效果差和不能对排出的二氧化氮进行处理的问题。
为解决上述技术问题,本实用新型提供的一种硝酸吹白废气处理设备,包括底座,所述底座的顶部从左至右依次固定连接有净气箱、反应箱、处理箱和储液罐,所述净气箱顶部的一侧贯穿有第一进气管,所述反应箱顶部的一侧固定连接有气泵,所述气泵的吸气口固定连接有第一出气管,所述第一出气管的底端贯穿净气箱的顶部且延伸至净气箱的内部,所述气泵的出气口固定连接有第二进气管,所述第二进气管的底端贯穿反应箱的顶部且延伸至反应箱的内部,所述反应箱一侧的顶部通过第二出气管与处理箱连通,所述处理箱一侧的底部通过第一进料管与储液罐连通。
优选的,所述反应箱顶部的一侧固定连接有控制箱,所述控制箱的顶部固定连接有进料箱,所述进料箱的底部和控制箱的顶部之间通过第二进料管连通,所述第二进料管位于控制箱内部的表面从上至下分别设置有节流阀和流量计,所述节流阀和流量计远离第二进料管的一端均贯穿控制箱且延伸至控制箱的外部,所述第二进料管的底端从上至下依次贯穿控制箱和反应箱且延伸至反应箱的内部,所述进料箱的顶部开设有第一进料口。
优选的,所述第二出气管位于处理箱内部的一端固定连接有导气管,所述处理箱的顶部开设有通孔。
优选的,所述第一进料管位于处理箱内部的表面贯穿有挡板,所述挡板的顶部固定连接有支撑杆,所述支撑杆的顶端固定连接有浮球。
优选的,所述储液罐的顶部开设有第二进料口,所述第二进料口的表面套设有密封盖。
优选的,所述第一进气管和第二出气管的表面分别设置有第一控制阀和第二控制阀。
与相关技术相比较,本实用新型提供的硝酸吹白废气处理设备具有如下有益效果:
本实用新型提供一种硝酸吹白废气处理设备,打开第一控制阀,使空气进入净气箱内,通过水溶液可得到纯净的空气,通过第一进料口将液体注入进料箱内,打开节流阀将进料箱内的液体通过第二进料管注入反应箱的内部,观察流量计,当到达所需数值时,关闭节流阀,再打开气泵,将净气箱净化后的空气转入到反应箱内部的液体中,通过空气将二氧化氮排出,打开第二控制阀,将二氧化氮通入处理箱中的导气管,经过导气管中双氧水的吸收将二氧化氮转化为无害气体,通过通孔排出处理箱,当处理箱中双氧水的量不足时,液面会下降,从而使浮球下降,从而使挡板下降,从而使储液罐中的液体流入处理箱内,从而使液面上升,浮球跟随上升,挡板从而再次挡住第一进料口,该装置结构简单,操作方便,吹白效率高,工作环境安全可靠,并且能有效的将吹白产生的有害气体二氧化氮吸收转化成无害气体,不仅增强了硝酸的实际运用的效果,还解决了污染空气的问题。
附图说明
图1为本实用新型提供的硝酸吹白废气处理设备的一种较佳实施例的结构示意图;
图2为图1所示浮球阀的结构示意正视图。
图中标号:1、底座,2、净气箱,3、反应箱,4、处理箱,5、储液罐,6、第一进气管,7、气泵,8、第一出气管,9、第二进气管,10、第二出气管,11、第一进料管,12、控制箱,13、进料箱,14、第二进料管,15、节流阀,16、流量计,17、导气管,18、通孔,19、挡板,20、支撑杆,21、浮球,22、第一进料口,23、第二进料口,24、密封盖,25、第一控制阀,26、第二控制阀。
具体实施方式
下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
请结合参阅图1和图2,其中,图1为本实用新型提供的硝酸吹白废气处理设备的一种较佳实施例的结构示意图;图2为图1所示浮球阀的结构示意正视图。硝酸吹白废气处理设备包括底座1,所述底座1的顶部从左至右依次固定连接有净气箱2、反应箱3、处理箱4和储液罐5,所述净气箱2顶部的一侧贯穿有第一进气管6,所述反应箱3顶部的一侧固定连接有气泵7,所述气泵7的吸气口固定连接有第一出气管8,所述第一出气管8的底端贯穿净气箱2的顶部且延伸至净气箱2的内部,所述气泵7的出气口固定连接有第二进气管9,所述第二进气管9的底端贯穿反应箱3的顶部且延伸至反应箱3的内部,所述反应箱3一侧的顶部通过第二出气管10与处理箱4连通,所述处理箱4一侧的底部通过第一进料管11与储液罐5连通。
所述反应箱3顶部的一侧固定连接有控制箱12,所述控制箱12的顶部固定连接有进料箱13,所述进料箱13的底部和控制箱12的顶部之间通过第二进料管14连通,所述第二进料管14位于控制箱12内部的表面从上至下分别设置有节流阀15和流量计16,所述节流阀15和流量计16远离第二进料管14的一端均贯穿控制箱12且延伸至控制箱12的外部,所述第二进料管14的底端从上至下依次贯穿控制箱12和反应箱3且延伸至反应箱的内部,所述进料箱13的顶部开设有第一进料口22。
所述第二出气管10位于处理箱4内部的一端固定连接有导气管17,所述处理箱4的顶部开设有通孔18。
所述第一进料管11位于处理箱4内部的表面贯穿有挡板19,所述挡板19的顶部固定连接有支撑杆20,所述支撑杆20的顶端固定连接有浮球21。
所述储液罐5的顶部开设有第二进料口23,所述第二进料口23的表面套设有密封盖24。
所述第一进气管6和第二出气管10的表面分别设置有第一控制阀25和第二控制阀26。
本实用新型提供的硝酸吹白废气处理设备的工作原理如下:
打开第一控制阀25,使空气进入净气箱2内,通过水溶液可得到纯净的空气,通过第一进料口22将液体注入进料箱13内,打开节流阀15将进料箱13内的液体通过第二进料管14注入反应箱3的内部,观察流量计16,当到达所需数值时,关闭节流阀15,再打开气泵7,将净气箱2净化后的空气转入到反应箱3内部的液体中,通过空气将二氧化氮排出,打开第二控制阀26,将二氧化氮通入处理箱4中的导气管17,经过导气管17中双氧水的吸收将二氧化氮转化为无害气体,通过通孔18排出处理箱4,当处理箱4中双氧水的量不足时,液面会下降,从而使浮球21下降,从而使挡板19下降,从而使储液罐5中的液体流入处理箱4内,从而使液面上升,浮球21跟随上升,挡板从而再次挡住第一进料口11。
与相关技术相比较,本实用新型提供的硝酸吹白废气处理设备具有如下有益效果:
打开第一控制阀25,使空气进入净气箱2内,通过水溶液可得到纯净的空气,通过第一进料口22将液体注入进料箱13内,打开节流阀15将进料箱13内的液体通过第二进料管14注入反应箱3的内部,观察流量计16,当到达所需数值时,关闭节流阀15,再打开气泵7,将净气箱2净化后的空气转入到反应箱3内部的液体中,通过空气将二氧化氮排出,打开第二控制阀26,将二氧化氮通入处理箱4中的导气管17,经过导气管17中双氧水的吸收将二氧化氮转化为无害气体,通过通孔18排出处理箱4,当处理箱4中双氧水的量不足时,液面会下降,从而使浮球21下降,从而使挡板19下降,从而使储液罐5中的液体流入处理箱4内,从而使液面上升,浮球21跟随上升,挡板从而再次挡住第一进料口11,该装置结构简单,操作方便,吹白效率高,工作环境安全可靠,并且能有效的将吹白产生的有害气体二氧化氮吸收转化成无害气体,不仅增强了硝酸的实际运用的效果,还解决了污染空气的问题。
以上所述仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其它相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
1.一种硝酸吹白废气处理设备,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部从左至右依次固定连接有净气箱(2)、反应箱(3)、处理箱(4)和储液罐(5),所述净气箱(2)顶部的一侧贯穿有第一进气管(6),所述反应箱(3)顶部的一侧固定连接有气泵(7),所述气泵(7)的吸气口固定连接有第一出气管(8),所述第一出气管(8)的底端贯穿净气箱(2)的顶部且延伸至净气箱(2)的内部,所述气泵(7)的出气口固定连接有第二进气管(9),所述第二进气管(9)的底端贯穿反应箱(3)的顶部且延伸至反应箱(3)的内部,所述反应箱(3)一侧的顶部通过第二出气管(10)与处理箱(4)连通,所述处理箱(4)一侧的底部通过第一进料管(11)与储液罐(5)连通。
2.根据权利要求1所述的硝酸吹白废气处理设备,其特征在于,所述反应箱(3)顶部的一侧固定连接有控制箱(12),所述控制箱(12)的顶部固定连接有进料箱(13),所述进料箱(13)的底部和控制箱(12)的顶部之间通过第二进料管(14)连通,所述第二进料管(14)位于控制箱(12)内部的表面从上至下分别设置有节流阀(15)和流量计(16),所述节流阀(15)和流量计(16)远离第二进料管(14)的一端均贯穿控制箱(12)且延伸至控制箱(12)的外部,所述第二进料管(14)的底端从上至下依次贯穿控制箱(12)和反应箱(3)且延伸至反应箱的内部,所述进料箱(13)的顶部开设有第一进料口(22)。
3.根据权利要求1所述的硝酸吹白废气处理设备,其特征在于,所述第二出气管(10)位于处理箱(4)内部的一端固定连接有导气管(17),所述处理箱(4)的顶部开设有通孔(18)。
4.根据权利要求1所述的硝酸吹白废气处理设备,其特征在于,所述第一进料管(11)位于处理箱(4)内部的表面贯穿有挡板(19),所述挡板(19)的顶部固定连接有支撑杆(20),所述支撑杆(20)的顶端固定连接有浮球(21)。
5.根据权利要求1所述的硝酸吹白废气处理设备,其特征在于,所述储液罐(5)的顶部开设有第二进料口(23),所述第二进料口(23)的表面套设有密封盖(24)。
6.根据权利要求1所述的硝酸吹白废气处理设备,其特征在于,所述第一进气管(6)和第二出气管(10)的表面分别设置有第一控制阀(25)和第二控制阀(26)。
技术总结