本发明涉及制动阀技术领域，具体而言，涉及一种制动阀滑阀副平面度的检测装置及检测方法。
背景技术：
制动阀阀是制动系统的核心部件。采用滑阀机构的制动阀的心脏是滑阀副——滑阀与主阀体的滑阀座配合副、节制阀与滑阀的配合副(统称为滑阀副)。共3个零部件、4个配合面，各配合面均采用研磨加工，要求平面度达到6μm，表面粗糙度达到ra0.2μm。此4个面的加工质量直接影响各配合副的密封性，一旦密封失效则有可能导致各通气孔向外漏泄或互相串风，致使制动、缓解失效。目前各面研磨后的质量(平面度、粗糙度)没有有效的检测手段，仍主要依靠操作者经验进行判断，缺乏量化手段及指标。因此急需研发一种可靠的检测工艺及装备，用于生产现场的实物检测。
目前常用的平面度检测方法有以下两种：
专用检测仪取点检测：采用类似与三坐标取点检测的方法。其检测原理是在一块标准的平面平板上安装一定数量的精密气动量规，将平板与工件密贴后，由气动量规检测出该点与标准平板间的间隙，以此得出工件该点与标准平板之间的高度差，再由计算机拟合为虚拟平面，以此量化工件平面度的误差。从滑阀副的作用原理来讲，无论哪两个面密贴之后，都应实现机械密封，不仅密封面的各孔不能向外漏泄，各孔之间也不能串风，因此需要工件配合面整个表面的平面度均达到技术要求的指标。任何一点的局部凹下都有可能造成密封失效。而上述的检测方法只是在局部取点测量，无法充分反映整个配合面的实际状态，并不适合滑阀副检测。
间接检测法：采用的是功能性检测的方式，将被测平面与一标准平面密贴，将工件上的孔封闭后抽真空，通过真空度来判断二者的密封程度，间接评价被测面的平面度。由于此种方法属于间接评价法，因而并不能实现对工件的平面度指标的检测，且检测的重复精度不高
技术实现要素：
本发明的主要目的在于提供一种制动阀滑阀副平面度的检测装置及检测方法，以解决现有技术中无法对制动阀滑阀副的平面度进行有效检测的问题。
为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种制动阀滑阀副平面度的检测装置，包括：第一光源；干涉采集器；第一偏光片，第一偏光片位于第一光源和待测工件之间，且第一光源发出的光束在经过第一偏光片时分成反射的参考光束和透射的检测光束，检测光束穿过第一偏光片后照射在待测工件上，并被待测工件反射后逆向照射在第一偏光片背离第一光源的一侧，且在第一偏光片的反射下射入干涉采集器；反光镜，反光镜位于第一偏光片远离干涉采集器的一侧，参考光束反射到反光镜上，并在反光镜的至少一次反射下逆向穿过第一偏光片照射到干涉采集器上，检测光束和参考光束在干涉采集器上形成干涉图像；显示设备，显示设备与干涉采集器连接，并将干涉图像显示出来。
进一步地，第一光源发出的光束的波长为500至760nm，且第一光源采用激光光源。
进一步地，第一光源发出的光束的波长为635nm。
进一步地，检测装置还包括调整平台，调整平台位于第一偏光片远离第一光源的一侧，待测工件放置在调整平台上，且调整平台的工作表面的倾斜程度能够调节。
进一步地，检测装置还包括：第二偏光片，第二偏光片设置在第一偏光片远离反光镜的一侧，并且经由第一偏光片反射的检测光束以及经由反光镜反射的参考光束均照射在第二偏光片上，并分成反射光束和透射光束，反射光束或透射光束射入干涉采集器中并形成干涉图像；调整采集器，调整采集器设置在第一偏光片远离反光镜的一侧并与显示设备连接，透射光束或反射光束射入调整采集器中并形成光斑，且由检测光束形成的光斑和由参考光束形成的光斑之间的相对位置随调整平台的工作表面的倾斜程度改变。
进一步地，检测装置还包括透镜，透镜位于第一光源和第一偏光片之间，第一光源发出的光束穿过透镜后照射在第一偏光片上。
进一步地，检测装置还包括：第二光源；平晶，平晶能够伸入待测工件的孔洞之中，第二光源发出的光束经由平晶表面照射在待测工件上并形成干涉图像。
根据本发明的另一方面，提供了一种制动阀滑阀副平面度的检测方法，包括：打开第一光源，第一光源发出的光束在经过第一偏光片时分成反射的参考光束和透射的检测光束，检测光束穿过第一偏光片后照射在待测工件上，并被待测工件反射后逆向照射在第一偏光片背离第一光源的一侧，且在第一偏光片的反射下射入干涉采集器，参考光束反射到反光镜上，并在反光镜的至少一次反射下逆向穿过第一偏光片照射到干涉采集器上，检测光束和参考光束在干涉采集器上形成干涉图像，显示设备显示出来干涉图像；根据显示设备显示的干涉图像判断待测工件的表面的平面度是否满足要求，当干涉图像的各干涉条纹之间均相互平行，则待测工件的平面度满足要求，当干涉图像中未有干涉条纹或者各干涉条纹之间不平行，则待测工件的平面度不满足要求。
进一步地，检测方法还包括在打开第一光源后且在判断待测工件的表面的平面度之前的调平操作，调平操作包括经由第一偏光片反射的检测光束以及经由反光镜反射的参考光束均照射在第二偏光片上，并分成反射光束和透射光束，透射光束或反射光束射入调整采集器中并形成光斑，调整调整平台的工作表面，使得由检测光束形成的光斑和由参考光束形成的光斑之间重合。
进一步地，检测方法还包括将平晶伸入至待测工件的孔洞之中，打开第二光源，第二光源发出的光束经由平晶表面照射在待测工件上并形成干涉图像，根据平晶表面的干涉图像判断待测工件的孔洞侧壁的平面度。
应用本发明的技术方案，通过设置有第一偏光片和反光镜，第一偏光片能够对第一光源发出的光束进行反射和透射，其中被反射的部分为参考光束，透射过第一偏光片的部分为检测光束，检测光束会照射到待测工件上，然后被待测工件的表面反射180度，使得检测光束沿着照射到待测工件的方向反向再次照射到第一偏光片上，并且在第一偏光片的反射下转向90度，从而射入到干涉采集器中，与此同时，参考光束经过第一偏光片反射90度，照射到反光镜上，在反光镜上进行至少一次反射，最终使得参考光束沿着照射到反光镜的方向反向再次照射到第一偏光片上，此时参考光束与检测光束相互平行，参考光束透射过第一偏光片射入干涉采集器中，从而使得参考光束与检测光束形成干涉条纹，根据干涉条纹即可判断出待测工件的表面的平面度是否满足要求。上述设置方式由于第一光源的光束能够照射到待测工件的整个表面上，因而一次检测就能够对待测工件的整个表面全部进行检测，避免局部取点测量造成的检测误差，检测更加全面，保证待测工件整个表面的平面度均能够满足要求，而利用光的等厚干涉的作为基本原理，通过两个光束的干涉产生的干涉条纹来判断表面的平面度，使得检测结果更加准确可靠，并且装置结构简单，造价低，易于维护操作，检测方法操作方便，易于现场执行。
附图说明
构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
图1示出了本发明的制动阀滑阀副平面度的检测装置的结构示意图；
图2示出了图1中的检测装置在进行调平操作之前的结构示意图；
图3示出了图2中的检测装置在进行调平操作之后的结构示意图。
其中，上述附图包括以下附图标记：
10、第一光源；11、参考光束；12、检测光束；20、干涉采集器；30、第一偏光片；40、反光镜；50、显示设备；60、调整平台；70、第二偏光片；80、调整采集器；90、透镜；100、待测工件。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。
需要指出的是，除非另有指明，本申请使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。
在本发明中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、顶、底”通常是针对附图所示的方向而言的，或者是针对部件本身在竖直、垂直或重力方向上而言的；同样地，为便于理解和描述，“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外，但上述方位词并不用于限制本发明。
为了解决现有技术中无法对制动阀滑阀副的平面度进行有效检测的问题，本发明提供了一种制动阀滑阀副平面度的检测装置及检测方法。
如图1所示的一种制动阀滑阀副平面度的检测装置，包括第一光源10、干涉采集器20、第一偏光片30、反光镜40和显示设备50，第一偏光片30位于第一光源10和待测工件100之间，且第一光源10发出的光束在经过第一偏光片30时分成反射的参考光束11和透射的检测光束12，检测光束12穿过第一偏光片30后照射在待测工件100上，并被待测工件100反射后逆向照射在第一偏光片30背离第一光源10的一侧，且在第一偏光片30的反射下射入干涉采集器20；反光镜40位于第一偏光片30远离干涉采集器20的一侧，参考光束11反射到反光镜40上，并在反光镜40的至少一次反射下逆向穿过第一偏光片30照射到干涉采集器20上，检测光束12和参考光束11在干涉采集器20上形成干涉图像；显示设备50与干涉采集器20连接，并将干涉图像显示出来。
本实施例通过设置有第一偏光片30和反光镜40，第一偏光片30能够对第一光源10发出的光束进行反射和透射，其中被反射的部分为参考光束11，透射过第一偏光片30的部分为检测光束12，检测光束12会照射到待测工件100上，然后被待测工件100的表面反射180度，使得检测光束12沿着照射到待测工件100的方向反向再次照射到第一偏光片30上，并且在第一偏光片30的反射下转向90度，从而射入到干涉采集器20中，与此同时，参考光束11经过第一偏光片30反射90度，照射到反光镜40上，在反光镜40上进行至少一次反射，最终使得参考光束11沿着照射到反光镜40的方向反向再次照射到第一偏光片30上，此时参考光束11与检测光束12相互平行，参考光束11透射过第一偏光片30射入干涉采集器20中，从而使得参考光束11与检测光束12形成干涉条纹，根据干涉条纹即可判断出待测工件100的表面的平面度是否满足要求。上述设置方式由于第一光源10的光束能够照射到待测工件100的整个表面上，因而一次检测就能够对待测工件100的整个表面全部进行检测，避免局部取点测量造成的检测误差，检测更加全面，保证待测工件100整个表面的平面度均能够满足要求，而利用光的等厚干涉的作为基本原理，通过两个光束的干涉产生的干涉条纹来判断表面的平面度，使得检测结果更加准确可靠，并且装置结构简单，造价低，易于维护操作，检测方法操作方便，易于现场执行。
在本实施例中，第一光源10发出的光束为单色平行光，且其波长为500至760nm，且第一光源10采用同调长度较长的激光光源，从而满足对滑阀副的平面度进行检测的需求。
优选地，第一光源10发出的光束的波长为635nm。
本实施例的检测装置的检测原理如下：
当两光束的光程差△等于λ，2λ，3λ……波长的整数倍时，参考光束11和检测光束12的振动周相相同，互相加强形成亮条纹的中心。当△等于λ/2，3λ/2，5λ/2……半波长的奇数倍，这参考光束11和检测光束12的振动周相相反，互相抵消形成暗条纹的中心。光强的这种明暗交替的变化，形成明暗相间的干涉条纹。于是可知：
相邻两明或暗条纹间对应的光程差△变化总是λ/2。若待测工件100的表面很平，干涉条纹是平行直线，条纹的多少与平面度无关。如果待测工件100的表面稍微凹凸，干涉条纹将发生弯曲。若量出相邻干涉条纹距离为a，干涉条纹的弯曲量为b，则平面度f为：
若干涉条纹成一个圆圈状，b＝a，则：
式中，f为被检测面的平面度，a为干涉条纹间距，b为通过直径的干涉条纹最大弯曲量，λ为所使用光源的光波波长。
当待测工件100的表面是绝对平面时，参考光束11和检测光束12之间有了一定的光程差△，干涉采集器20检测到的是稳定的干涉图像；当待测工件100的表面不平时，平面上不同位置产生的光程差△发生改变，干涉采集器20检测到的是发生畸变的干涉图像。再将干涉图像采集到显示设备50中，根据显示的条纹图像即可判断平面度。
在本实施例中，检测装置还包括调整平台60，调整平台60位于第一偏光片30远离第一光源10的一侧，待测工件100放置在调整平台60的工作表面上，且调整平台60的工作表面的倾斜程度能够调节。本实施例的检测装置整体立置，调整平台60放置于一平面上，通过调整调整平台60的工作表面的倾斜程度即可对检测装置进行初始调平，从而保证后续采集到的干涉图像的准确性，调整平台60的上方设置有倾斜的第一偏光片30，在第一偏光片30的上方设置有第一光源10，在第一偏光片30的一横向侧边竖直设置有反光镜40，在第一偏光片30的另一侧横向侧边设置有干涉采集器20，这样即可实现检测光束12和参考光束11的反射和透射。
与调整平台60配合调平的部件为第二偏光片70和调整采集器80，如图2和图3所示，第二偏光片70倾斜设置在第一偏光片30远离反光镜40的一侧，并且经由第一偏光片30反射的检测光束12以及经由反光镜40反射的参考光束11均照射在第二偏光片70上，并分成反射光束和透射光束，反射光束或透射光束射入干涉采集器20中；调整采集器80也设置在第一偏光片30远离反光镜40的一侧并与显示设备50连接，这样第二偏光片70、干涉采集器20和调整采集器80均位于第一偏光片30的同一侧，不同的是，干涉采集器20和调整采集器80相对于第二偏光片70的位置不同，二者分别位于第二偏光片70的反射路径和透射路径上，这样，参考光束11和检测光束12经过第二偏光片70时均会被分成反射光束和透射光束两部分，其中反射光束会转向90度射入干涉采集器20中形成干涉图像，而透射光束就会穿过第二偏光片70进入到调整采集器80中，当然，透射光束和反射光束射入的采集器也可以相互交换。射入调整采集器80的透射光束会在调整采集器80上形成光斑，由于有检测光束12和参考光束11两个光束，因而形成有两个光斑，通过调整调整平台60的倾斜程度即可改变两个光斑之间的相对位置，当两条光带之间重合时，说明调平完成，然后即可从干涉采集器20中读取干涉图像来判断待测工件100表面的平面度。
可选地，检测装置还包括透镜90，透镜90位于第一光源10和第一偏光片30之间，第一光源10发出的光束穿过透镜90后照射在第一偏光片30上。透镜90一般为凸透镜，其能够将光源发出光束范围进行扩大，有利于光束照射到待测工件100的整个表面，保证检测效果。
上述检测方式主要针对待测工件100外侧的表面，对于待测工件100的孔洞内的表面，由于孔洞的大小限制使得上述的检测方式难以进行，为了解决该问题，检测装置还包括第二光源和平晶，平晶能够伸入待测工件100的孔洞之中，第二光源发出的平行光在平晶工作面与待测工件100表面之间极薄的空气膜上下面反射后产生干涉条纹，各干涉条纹形成干涉图像，根据干涉图像即可判断孔洞的内表面的平面度，具体判断原理和判断方式与前述干涉采集器20采集到的干涉图像的判断原理和判断方式完全相同，这样，配合前述干涉采集器20采集的干涉图像即可对待测工件100的所有表面均进行平面度检测，保证检测的全面性。
本实施例还提供了一种制动阀滑阀副平面度的检测方法，采用上述的检测装置对待测工件100表面的平面度进行检测，其中，检测方法包括打开第一光源10，第一光源10发出的光束在经过第一偏光片30时分成反射的参考光束11和透射的检测光束12，检测光束12穿过第一偏光片30后照射在待测工件100上，并被待测工件100反射后逆向照射在第一偏光片30背离第一光源10的一侧，且在第一偏光片30的反射下射入干涉采集器20，参考光束11反射到反光镜40上，并在反光镜40的至少一次反射下逆向穿过第一偏光片30照射到干涉采集器20上，检测光束12和参考光束11在干涉采集器20上形成干涉图像，显示设备50显示出来干涉图像；根据显示设备50显示的干涉图像判断待测工件100的表面的平面度是否满足要求，当干涉图像的各干涉条纹之间均相互平行，则待测工件100的平面度满足要求，当干涉图像中未有干涉条纹或者各干涉条纹之间不平行，则待测工件100的平面度不满足要求。
检测方法还包括在打开第一光源10后且在判断待测工件100的表面的平面度之前的调平操作，调平操作包括经由第一偏光片30反射的检测光束12以及经由反光镜40反射的参考光束11均照射在第二偏光片70上，并分成反射光束和透射光束，透射光束或反射光束射入调整采集器80中并形成光斑，调整调整平台60的工作表面，使得由检测光束12形成的光斑和由参考光束11形成的光斑之间重合，说明调平完成，然后即可通过干涉采集器20的干涉图像判断待测工件100表面的平面度。
重复上述过程即可对待测工件100的所有或者大部分表面进行检测，若待测工件100带有孔洞且需要对孔洞的内表面进行检测，可以在上述检测方法的基础上增加以下过程：将平晶伸入至待测工件100的孔洞之中，打开第二光源，第二光源发出的光束经由平晶表面照射在待测工件100上并形成干涉图像，根据平晶表面的干涉图像判断待测工件100的孔洞侧壁的平面度。这样即可对孔洞的内表面进行检测，保证检测的完整性。
例如对滑阀、节制阀进行检测时，其检测面共有3个：滑阀底面、滑阀背面、节制阀面，可以直接采用第一光源10通过第一偏光片30和反光镜40等部件进行检测即可，其中第一光源10选用ld二极管激光器，波长为635nm。但是当检测主阀体的滑阀座面时，由于空间限制，第一光源10无法直射滑阀座面，因而采用平晶进行检测。检测时将1级精度的专用长方形平面平晶的工作面放置在滑阀座面上，采用低压钠光灯作为第二光源从一侧照射，其光谱为两条波长非常接近的黄光：588.996nm和589.593nm，另一侧肉眼观察干涉条纹，以此判断平面度。
按照工件的技术要求，平面度要求为不大于4μm。上述选定的光源波长为635nm和589nm，相邻两个条纹高度上相差半个波长，即317nm和295nm。根据等厚干涉的原理按照几类典型的干涉图像作为判定标准，分出优质品、合格品、不合格品几个等级，不要求得到准确数值，便于现场操作。如滑阀底面的判断标准如下：
干涉条纹为均匀分布的直条纹或略带波浪条纹，则说明平面度≤2μm，待测工件100为优质品；
干涉条纹为同心圆条纹，且圈数<6圈，则说明平面度≤2μm，待测工件100为优质品；
干涉条纹为同心圆条纹，且圈数6-12圈，则说明平面度2-4μm，待测工件100为合格品；
干涉条纹为多组同心圆条纹，且圈数均<6圈，则说明平面度≤2μm，待测工件100为优质品；
干涉条纹为多组同心圆条纹，且有至少1组圈数6-12圈，则说明平面度2-4μm，待测工件100为合格品；
干涉条纹为条纹杂乱且不连续，则说明待测工件100为不合格品；
干涉条纹为条纹不清晰且有倒边，则说明待测工件100为不合格品；
未显示有干涉条纹，则说明待测工件100为不合格品。
需要说明的是，上述实施例中的多个指的是至少两个。
从以上的描述中，可以看出，本发明上述的实施例实现了如下技术效果：
1、解决了现有技术中无法对制动阀滑阀副的平面度进行有效检测的问题；
2、一次检测就能够对待测工件的整个表面全部进行检测，避免局部取点测量造成的检测误差，检测更加全面，保证待测工件整个表面的平面度均能够满足要求；
3、利用光的等厚干涉的作为基本原理，通过两个光束的干涉产生的干涉条纹来判断表面的平面度，使得检测结果更加准确可靠；
4、装置结构简单，造价低，易于维护操作，检测方法操作方便，易于现场执行；
5、利用平晶对空间受限的孔洞内表面进行检测，检测适用范围广，全面性高。
显然，上述所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。
需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、工作、器件、组件和/或它们的组合。
需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施方式能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
1.一种制动阀滑阀副平面度的检测装置，其特征在于，包括：
第一光源(10)；
干涉采集器(20)；
第一偏光片(30)，所述第一偏光片(30)位于所述第一光源(10)和待测工件(100)之间，且所述第一光源(10)发出的光束在经过所述第一偏光片(30)时分成反射的参考光束(11)和透射的检测光束(12)，所述检测光束(12)穿过所述第一偏光片(30)后照射在所述待测工件(100)上，并被所述待测工件(100)反射后逆向照射在所述第一偏光片(30)背离所述第一光源(10)的一侧，且在所述第一偏光片(30)的反射下射入所述干涉采集器(20)；
反光镜(40)，所述反光镜(40)位于所述第一偏光片(30)远离所述干涉采集器(20)的一侧，所述参考光束(11)反射到所述反光镜(40)上，并在所述反光镜(40)的至少一次反射下逆向穿过所述第一偏光片(30)照射到所述干涉采集器(20)上，所述检测光束(12)和所述参考光束(11)在所述干涉采集器(20)上形成干涉图像；
显示设备(50)，所述显示设备(50)与所述干涉采集器(20)连接，并将所述干涉图像显示出来。
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第一光源(10)发出的光束的波长为500至760nm，且所述第一光源(10)采用激光光源。
3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述第一光源(10)发出的光束的波长为635nm。
4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括调整平台(60)，所述调整平台(60)位于所述第一偏光片(30)远离所述第一光源(10)的一侧，所述待测工件(100)放置在所述调整平台(60)上，且所述调整平台(60)的工作表面的倾斜程度能够调节。
5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：
第二偏光片(70)，所述第二偏光片(70)设置在所述第一偏光片(30)远离所述反光镜(40)的一侧，并且经由所述第一偏光片(30)反射的检测光束(12)以及经由所述反光镜(40)反射的参考光束(11)均照射在所述第二偏光片(70)上，并分成反射光束和透射光束，所述反射光束或所述透射光束射入所述干涉采集器(20)中并形成所述干涉图像；
调整采集器(80)，所述调整采集器(80)设置在所述第一偏光片(30)远离所述反光镜(40)的一侧并与所述显示设备(50)连接，所述透射光束或所述反射光束射入所述调整采集器(80)中并形成光斑，且由所述检测光束(12)形成的光斑和由所述参考光束(11)形成的光斑之间的相对位置随所述调整平台(60)的工作表面的倾斜程度改变。
6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括透镜(90)，所述透镜(90)位于所述第一光源(10)和所述第一偏光片(30)之间，所述第一光源(10)发出的光束穿过所述透镜(90)后照射在所述第一偏光片(30)上。
7.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：
第二光源；
平晶，所述平晶能够伸入所述待测工件(100)的孔洞之中，所述第二光源发出的光束经由所述平晶表面照射在所述待测工件(100)上并形成干涉图像。
8.一种制动阀滑阀副平面度的检测方法，其特征在于，包括：
打开第一光源(10)，第一光源(10)发出的光束在经过第一偏光片(30)时分成反射的参考光束(11)和透射的检测光束(12)，所述检测光束(12)穿过所述第一偏光片(30)后照射在待测工件(100)上，并被所述待测工件(100)反射后逆向照射在所述第一偏光片(30)背离所述第一光源(10)的一侧，且在所述第一偏光片(30)的反射下射入干涉采集器(20)，所述参考光束(11)反射到反光镜(40)上，并在所述反光镜(40)的至少一次反射下逆向穿过所述第一偏光片(30)照射到所述干涉采集器(20)上，所述检测光束(12)和所述参考光束(11)在所述干涉采集器(20)上形成干涉图像，显示设备(50)显示出来所述干涉图像；
根据所述显示设备(50)显示的干涉图像判断所述待测工件(100)的表面的平面度是否满足要求，当所述干涉图像的各干涉条纹之间均相互平行，则所述待测工件(100)的平面度满足要求，当所述干涉图像中未有干涉条纹或者各干涉条纹之间不平行，则所述待测工件(100)的平面度不满足要求。
9.根据权利要求8所述的检测方法，其特征在于，所述检测方法还包括在打开第一光源(10)后且在判断所述待测工件(100)的表面的平面度之前的调平操作，所述调平操作包括经由所述第一偏光片(30)反射的检测光束(12)以及经由所述反光镜(40)反射的参考光束(11)均照射在第二偏光片(70)上，并分成反射光束和透射光束，所述透射光束或所述反射光束射入调整采集器(80)中并形成光斑，调整调整平台(60)的工作表面，使得由所述检测光束(12)形成的光斑和由所述参考光束(11)形成的光斑之间重合。
10.根据权利要求8所述的检测方法，其特征在于，所述检测方法还包括将平晶伸入至所述待测工件(100)的孔洞之中，打开第二光源，所述第二光源发出的光束经由所述平晶表面照射在所述待测工件(100)上并形成干涉图像，根据所述平晶表面的干涉图像判断所述待测工件(100)的孔洞侧壁的平面度。
技术总结