本发明涉及氢硅烷的制造；特别地涉及氢氯硅烷，特别地单-和二氯氢硅烷，特别地选自me2si(h)cl、mesi(h)cl2和mesi(h)2cl的甲基氯氢单硅烷的制造。更具体地，本发明涉及从有机氯硅烷开始的制造氢氯硅烷的工艺。
背景技术：
：有机氢硅烷为有机硅合成化学中非常有用的起始材料，并因此构成工业上有价值的一类化合物。这样的兼具氯-和氢取代基的有机硅烷因它们的双官能性质(这意味着它们具有反应性不同的官能团)而在合成中构成引人注目的起始材料。氯取代基是比氢基团好的离去基团并且容许，例如，在温和条件下在保留si-h键的情况下其它单体型或低聚物型硅氧烷单元的受控加成，从而使所述氯氢硅烷在限定的低聚硅氧烷合成和聚硅氧烷合成中可用作封闭剂和偶联剂。这样的化合物通常例如在电子、汽车、建筑及更多领域中得到宽范围的应用，例如用于制造胶粘剂、密封剂、模塑物、复合物和树脂。氢氯硅烷中存在的si-h部分可用于合成后的改性和官能化，例如通过硅氢化反应而用于将有机残基引入至聚有机硅氧烷或者用于交联，这在多种种类的含有聚有机硅氧烷的组合物中是合意的。官能化的聚硅氧烷的如下合成也是可行的：其始于经由si-h键的转变，然后使si-cl键水解或醇解，并且任选地缩合，以形成聚硅氧烷。us2008/0200710a1公开通过使1,2-四甲基二氯二硅烷和氯化氢在a)钯、b)叔胺、和c)叔膦的催化剂混合物的存在下反应而制备二甲基氯硅烷的方法。在这样的工艺中获得的氢硅烷的百分数是比较低的并且该工艺需要昂贵的金属催化剂。us5856548a涉及如下的制备二甲基单氯硅烷(ch3)2si(h)cl的工艺：在惰性液体有机载体中建立包括二甲基二氯硅烷(ch3)2sicl2、氢化镁和氯化铝的反应混合物，和在所述液体有机载体中不断研磨的同时使所述反应混合物中的所述二甲基二氯硅烷部分氢化。该工艺仅是一种氢化过程，其与us2008/0200710a1的工艺(其为用hcl进行催化切断)没有任何共同之处。us5856548的工艺诟病于使用高腐蚀性氯化铝的劣势，据推测氯化铝还催化氯氢甲基硅烷不期望地歧化为氯甲基硅烷和氢甲基硅烷(致使期望的氯氢甲基硅烷的产率降低)，并且还促进副产物的形成。us2008/0200710a1或us5856548中描述的工艺均未记载再分配(重分布，redistribution)催化剂的使用。在us2008/0200710a1中，胺和膦仅起到使钯催化剂稳定化的作用。虽然对于这样的具有si-h和si-cl键两者的双官能硅烷存在高的需求，但是尚未公开用于合成这样的基础材料(buildingblock)的实用的、经济上合理的且可持续的工业工艺。特别是对于选自me2si(h)cl、mesi(h)cl2和mesi(h)2cl(特别地mesihcl2和me2sihcl)的甲基氯氢单硅烷，对这样的生产工艺存在强烈需要。含有si-h和si-cl键两者的氯硅烷的许多生产程序基于充当起始材料的有机氢硅烷。由有机硅卤化物、特别是有机硅氯化物制备有机硅氢化物和含有si-h和si-cl键两者的有机硅化合物也是本领域中已知的。所要解决的问题本发明所要解决的技术问题是提供用于特别是由氯硅烷生产特别是单-和二氯氢有机硅烷的工艺。具体地，本发明的目的是提供在反应产率、产物纯度、转化的选择性、反应程序的便利性、整理(work-up)程序的便利性、试剂的易操作性和工艺的成本效率方面相对于常规方法具有改善的性能的新工艺。根据本发明，该问题是如下解决的。发明详述在一种实施方式中，本发明涉及生产氢氯单硅烷的工艺，其优选地从至少一种氯取代的硅烷开始，特别是通过连接至硅原子的取代基的再分配而进行。本发明涉及用于制造通式(i)的单硅烷的工艺：rxsihyclz(i)，其中r为有机基团，x＝1-3、优选地1-2，y＝1-3、优选地1-2，z＝0-3、优选地1-2，且x y z＝4，所述工艺包括：a)使硅烷底物在一种或多种化合物(c)的存在下经历的步骤，所述硅烷底物包括一种或多种选自如下的硅烷：a)通式(ii)的单硅烷rasihbclc(ii)其中r如上定义，a＝1-3，b＝0-3，c＝0-3，且a b c＝4，和b)经验通式(iii)的二硅烷resi2hfclg(iii)其中r如上定义，e＝1-5，f＝0-5，g＝0-5，且e f g＝6，c)经验通式(iv)的碳二硅烷rm(sich2si)hnclo(iv)其中r如上定义，m＝1-5，n＝0-5，o＝0-5，且m n o＝6所述一种或多种化合物(c)选自：-膦(磷烷，phosphane)r13p，其中r1为氢或有机基团并且能为相同的或不同的；优选为r3p，其中r如上定义并且能为相同的或不同的；例如pph3，和-胺r13n，其中r1为氢或有机基团并且能为相同的或不同的；优选为叔胺r3n，其中r如上定义并且能为相同的或不同的；例如n-bu3n或nph3，和b)任选地，从反应混合物中分离所得的通式(i)的单硅烷的步骤，条件是：(i)式(ii)、(iii)或(iv)的至少一种硅烷在硅原子处具有至少一个氯取代基，以及以下条件(ii)和(iii)的至少一项，优选一项：(ii)式(ii)、(iii)或(iv)的硅烷的至少一种在硅原子处具有至少一个氢取代基，(iii)步骤a)在一种或多种氢给体(氢物种给体，hydridedonor)的存在下实施。在本申请中将理解，如果在本说明书中的实施例中或者任何其它地方描述的话，本文中叙述的任何数值范围包含在该范围内的所有子范围以及这样的范围或子范围的各端点的任意组合。在本申请中，在本文中还将理解，本文中本发明的任何组分在它们通过任何具体的属(genus)或在说明书的实施例部分中详述的物种(species)描述时，可在一个实施方式中用于限定说明书中其它地方关于该组分描述的范围的任何端点的替代的相应定义，并且可因此在一个非限制性实施方式中用于代替其它地方描述的这样的范围端点。在本申请中将进一步理解，在说明书中被明确地或者隐含地公开或者在权利要求中被叙述为属于在结构、组成和/或功能上相关的化合物、材料或物质的集合的任何化合物、材料或物质包含该集合的单独代表以及其所有组合。虽然本申请含有许多细节，但是这些细节不应被解释为对本发明的范围的限制，而是仅作为其优选实施方式的示例。本领域技术人员可展望在如由附于其的权利要求所限定的本发明的精神和范围内的许多其它可能变型。在一种优选实施方式中，根据本发明的工艺在不供应氯化氢的情况下和/或在不存在金属催化剂、优选地在不存在氯化铝催化剂或钯催化剂下实施。“不存在”意指，没有功能的(或起作用的)量的氯化氢和/或金属催化剂。也就是说，“不存在”应包括非功能的或不起作用的量的各化合物例如杂质的存在。在本发明工艺的一种实施方式中，优选地形成一种通式(i)的化合物或不止一种通式(i)的化合物的混合物。优选地，取代基r表示经由碳原子结合至硅原子的有机基团，并且该有机基团可为相同的或不同的。优选地，所述有机基为任选取代的、更优选地未取代的基团，所述基团选自：烷基、芳基、烯基、炔基、烷芳基、芳烷基、芳烯基、芳炔基、环烷基、环烯基、环炔基、环芳烷基、环芳烯基、和环芳炔基，甚至更优选地烷基、环烷基、烯基和芳基，甚至进一步优选地甲基、乙烯基和苯基，和最优选地r为甲基(本文中缩写为me)。r1为氢或有机基团，其中有机基团为如以上在r的定义中所定义的。根据本发明，有机基团为在其碳原子处具有自由价为一的任意有机取代基，而不管官能类型为何。优选地，在本发明工艺中形成的通式(i)的单硅烷包括选自如下的化合物：rsih2cl、r2sihcl、rsihcl2，更优选地选自r2sihcl和rsihcl2，其中r如上定义，优选为甲基、乙烯基和苯基，最优选为甲基。进一步优选地，在本发明工艺中形成的通式(i)的单硅烷选自：mesih2cl、me2sihcl、mesihcl2，更优选地选自me2sihcl和mesihcl2。通式(iii)的二硅烷resi2hfclg(ii)也可由如下结构式描绘：其中取代基r'独立地选自如上定义的有机基团(r)、氢(h)和氯(cl)，其中有机基团数e＝1-5，氢原子数f＝0-5且氯原子数g＝0-5，并且e f g的总和＝6。通式(iv)的碳二硅烷rm(sich2si)hnclo(iv)也可由如下结构式描绘：其中取代基r”独立地选自如上定义的有机基团(r)、氢(h)和氯(cl)，并且其中有机基团数m＝1-5，氢原子数n＝0-5，氯原子数o＝0-5，并且m n o＝6。根据本发明，所述硅烷底物可为包括一种或多种通式(ii)、(iii)和(iv)的硅烷的任意混合物。本文中，所述硅烷底物优选地包括大于约50重量％的通式(ii)、(iii)和(iv)的硅烷及其它硅烷，更优选地大于约75重量％的通式(ii)、(iii)和(iv)的硅烷及其它硅烷，和甚至更优选地大于约90重量％的通式(ii)、(iii)和(iv)的硅烷及其它硅烷，基于所述硅烷底物的总重量。本文中的“其它硅烷”包括例如不落在通式(ii)、(iii)或(iv)中的单-、二-、低聚和聚硅烷以及碳硅烷；其中这些其它硅烷可被有机基-、氯-和氢取代基所取代。优选地，所述硅烷底物中通式(ii)、(iii)和(iv)的硅烷的量大于约50重量％、更优选地大于约70重量％、甚至更优选地大于约90重量％、和最优选地大于约95重量％。优选地，除了通式(ii)、(iii)和(iv)的硅烷外的硅烷底物由不被式(ii)、(iii)和(iv)所涵盖的其它硅烷组成。根据本发明，术语“经历反应”指的是以任何方式将所述硅烷底物、和选自膦r13p和/或胺r13n的一种或多种化合物(c)组合以进行所述硅烷底物的导致形成通式(i)的产物的反应(优选地在开放或封闭的反应容器中进行)，其中所述反应可以连续或间歇方式进行。本文中，通式(i)的产物特别地通过由选自膦r13p和胺r13n的一种或多种化合物(c)催化的再分配反应而形成。根据本发明，术语“再分配反应”描述所述硅烷底物中包括的一种或多种硅烷化合物的与硅原子结合的氢、氯取代基和/或有机基(优选地氢和氯取代基)通过这些取代基的交换而再分配。该交换可特别地通过29sinmr、通过gc和/或gc/ms监测。优选地，通过在硅原子处仅带有氯取代基的硅烷和在硅原子处仅带有氢取代基的硅烷(在反应条件下)的再分配反应，获得通式(i)的在硅原子处带有氢和氯取代基两者的硅烷。本发明的上下文中的硅烷的再分配反应特别地包含两种不同的甲基硅烷(一种仅具有氯作为另外的取代基，和一种仅具有氢作为另外的取代基)的其中形成一种特定的氯氢甲基硅烷的归中(反歧化，comproportionation)，例如：所述归中与其中氯氢甲基硅烷反应以形成两种不同的甲基硅烷(一种仅具有氯作为另外的取代基，和一种仅具有氢作为另外的取代基)的不期望的歧化相反：据推测，后者例如通过某些金属催化剂例如alcl3等促进。因此，在本发明中，优选地排除金属催化剂例如alcl3、或过渡金属催化剂例如钯催化剂的使用。更优选地，在本发明的工艺中排除任何金属催化剂的实质性存在。实质性存在意指，金属催化剂以功能的或起作用的量、而非例如作为杂质存在。在一种实施方式中，优选地，所述工艺的经历反应的硅烷底物中包括的单硅烷由其中a为1或2的通式(ii)表示。更优选地，所述单硅烷由其中b＝0且a＝1或2的通式(ii)表示。甚至更优选地，所述单硅烷由其中a＝1或2，b＝0且r为甲基、乙烯基或苯基的通式(ii)表示。在另一种实施方式中，单硅烷由其中c＝0且a＝1或2的通式(ii)表示。甚至更优选地，单硅烷由其中a＝1或2、c＝0且r为甲基、乙烯基或苯基的通式(ii)表示。最优选地，由通式(ii)表示的单硅烷为mesicl3、me2sicl2、mesih3和me2sih2。用于生产通式(i)的硅烷的优选的经验通式(iii)的二硅烷(具有si-si部分)为r2si2cl4、r3si2cl3和r4si2cl2、或r2si2h4、r3si2h3和r4si2h2，其中r如上定义。更优选地，r选自烷基、芳基和烯基基团，甚至更优选地选自苯基、乙烯基和甲基基团。在整个申请中，术语“经验式”的含义旨在意指，该式不表示结构式，而是仅对分子中存在的化学基团或原子进行概括。例如经验式r2si2cl4可包括如下结构式：用于得到经验通式(i)的硅烷的反应的特别优选的通式(iii)的二硅烷为me2si2cl4、me3si2cl3、me4si2cl2和me2si2h4、me3si2h3、me4si2h2。用于得到通式(i)的硅烷的反应的优选的通式(iv)的碳二硅烷(具有si-ch2-si部分)为rcl2si-ch2-sicl2r、r2clsi-ch2-sicl2r、r2clsi-ch2-siclr2、r3si-ch2-sicl2r和r3si-ch2-siclr2，其中r如上定义。更优选地，r选自烷基、芳基和烯基基团，甚至更优选地苯基、乙烯基和甲基基团。用于得到通式(i)的硅烷的反应的还优选的通式(iv)的碳二硅烷为rh2si-ch2-sih2r、r2hsi-ch2-sih2r、r2hsi-ch2-sihr2、r3si-ch2-sih2r和r3si-ch2-sihr2，其中r如上定义。更优选地，r选自烷基、芳基和烯基基团，甚至更优选地苯基、乙烯基和甲基基团。得到通式(i)的化合物的特别优选的通式(iii)的碳二硅烷为mecl2si-ch2-sicl2me、me2clsi-ch2-sicl2me、me2clsi-ch2-siclme2和meh2si-ch2-sih2me、me2hsi-ch2-sih2me、me2hsi-ch2-sihme2。还优选地，通式(iii)和(iv)的二硅烷和碳二硅烷由直接工艺残留物(directprocessresidue)组成，或由直接工艺残留物中存在的前体通过部分或完全氢化而得到。根据本发明，术语“直接工艺残留物(dpr)”是指罗霍夫-缪勒直接工艺(rochow-müllerdirectprocess)的残留物。用于制备烷基卤代硅烷和芳基卤代硅烷的主要工业方法是通过罗霍夫-缪勒直接工艺(也称为直接合成或直接反应)，其中使经铜活化的硅与相应的有机卤化物(特别地甲基氯)在气体-固体或淤浆-相反应器中反应。将气态产物和未反应的有机卤化物与细颗粒一起不断地从所述反应器除去。从反应器离开的热流出物包括如下的混合物：铜、金属卤化物、硅、硅化物、碳、气态有机卤化物、有机卤代硅烷、有机卤代二硅烷、碳硅烷和烃。典型地，将该混合物首先在旋风分离器和过滤器中进行气-固分离。然后，使气态混合物和超细固体在沉降器或淤浆槽中凝结，使有机卤化物、有机卤代硅烷、烃以及一部分有机卤代二硅烷和碳硅烷从中蒸发并送至分级蒸馏以收取有机卤代硅烷单体。将沉降器中积聚的固体与较不挥发的含硅化合物一并周期性地清除并送至废弃物处置或二次处理。还将留在蒸馏后的残留物中的有机卤代二硅烷和碳硅烷进料到氢氯化反应。蒸馏后的残留物中或从反应器清除的淤浆中的有机卤代二硅烷、有机卤代聚硅烷和碳硅烷、相关的硅氧烷和烃的沸点高于有机卤代硅烷单体。它们统称为直接工艺残留物(dpr)。术语较高沸腾物、高沸点残留物和二硅烷级分也可与dpr互换地使用。按照本发明，dpr的氢化是指其中dpr中硅烷的氯取代基与氢取代基交换的任何反应。所得产物称为“氢化的dpr”。根据本发明，dpr可为部分或完全氢化的，其中术语完全氢化意指，在硅原子处的所有氯取代基被氢取代基所交换。氢化通过如下的氢给体实施：其选自金属氢化物，优选地复合金属氢化物例如lialh4、n-bu3snh、nabh4、(i-bu2alh)2或双(2-甲氧基乙氧基)氢化铝钠(其例如以商品名称或在市场上购买)，或二元金属氢化物，特别地氢化钠、氢化锂或其组合，最优选地氢化锂。根据本发明，氢给体为能够为式(ii)、(iii)和(iv)的硅烷中的si-cl/si-h交换提供氢阴离子的任何化合物。优选地，根据通式(ii)、(iii)和(iv)的底物包括一种或多种、优选地一种或两种由通式(ii)、(iii)和(iv)之一表示的具体化合物，其总量为大于75wt.％，基于所述硅烷底物的总重量。更优选地，使由通式(ii)、(iii)和(iv)表示的化合物的混合物经受步骤a)中的反应条件。优选地，通式(i)的产物通过使通式(ii)、(iii)或(iv)的不带有氢取代基的一种或多种硅烷经历与通式(ii)、(iii)或(iv)的不带有氯取代基的一种或多种硅烷的反应而形成。优选地，对于me2sihcl的生产，在步骤a)中的再分配反应中，通式(ii)的单硅烷选自me2sicl2和me2sih2。优选地，对于me2sihcl的生产，在步骤a)中的再分配反应中，通式(iii)的二硅烷选自mecl2si-siclme2、me2clsi-siclme2、me3si-siclme2、meh2si-sihme2、me2hsi-sihme2、me3si-sihme2，更优选地mecl2si-siclme2、me2clsi-siclme2、meh2si-sihme2、me2hsi-sihme2，最优选地me2clsi-siclme2和me2hsi-sihme2。优选地，对于me2sihcl的生产，在步骤a)中的再分配反应中，通式(iv)的碳二硅烷选自me2clsi-ch2-sicl2me、me2clsi-ch2-siclme2、me2hsi-ch2-sih2me、me2hsi-ch2-sihme2，更优选地me2clsi-ch2-siclme2和me2hsi-ch2-sihme2。优选地，对于mesihcl2的生产，在步骤a)中的再分配反应中，通式(ii)的单硅烷选自mesicl3、mesih3和mesih2cl，更优选地mesicl3和mesih3。优选地，对于mesihcl2的生产，在步骤a)中的再分配反应中，通式(iii)的二硅烷选自mecl2si-sicl2me、mecl2si-siclme2、meh2si-sih2me、meh2si-sihme2，更优选地mecl2si-sicl2me和meh2si-sih2me。优选地，对于mesihcl2的生产，在步骤a)中的再分配反应中，通式(iv)的碳二硅烷选自mecl2si-ch2-sicl2me、mecl2si-ch2-siclme2、meh2si-ch2-sih2me、meh2si-ch2-sihme2，更优选地mecl2si-ch2-sicl2me和meh2si-ch2-sih2me。在选自三有机基膦pr3的优选的化合物(c)中，r为有机基团并且能为相同的或不同的，更优选地r为烷基、环烷基或芳基基团，最优选地有机膦为pph3或n-bu3p。在选自三有机基胺nr3的优选的化合物(c)中，r为有机基团并且能为相同的或不同的，更优选地r为烷基、环烷基或芳基基团，最优选地有机胺为nph3或n-bu3n。分离所得通式(i)的氯氢单硅烷的任选步骤b)指的是为了提高产物混合物中的一种或多种根据通式(i)的甲基单硅烷的含量而应用的、或者导致单一的具有式(i)的化合物从根据本发明的工艺的步骤a)中获得的产物混合物分离的任何技术手段。进一步优选地，反应步骤a)在由耐受由氯化物引起的腐蚀的材料例如玻璃或哈司特镍合金c制成的合适尺寸的反应器中进行。提供剧烈搅动的手段以将所述化合物(c)和所述金属氢化物分散或溶解在所述反应混合物中。在本发明的一种优选实施方式中，步骤a)在有机溶剂或其混合物，优选地高沸点醚化合物，更优选地1,4-二氧六环、二甘醇二甲醚或四甘醇二甲醚，最优选地二甘醇二甲醚中进行。根据本发明，术语“有机溶剂”指的是如下的任何有机化合物或其混合物：其在室温下为液态并且其适合作为用于在其中进行步骤a)的再分配反应的介质。因此，所述有机溶剂优选地在反应条件下对于根据本发明的化合物(c)是惰性的。此外，通式(ii)、(iii)和(iv)的起始材料和通式(i)的产物优选地分别是在所述有机溶剂中可溶的或者与所述有机溶剂完全混溶的。优选地，所述有机溶剂选自任选取代的、优选地未取代的线型或环状的脂族烃、芳族烃或醚化合物，而不限于其。本文中，术语“醚化合物”应意指任何含有醚基团–o–、特别是具有式r3–o–r2的有机化合物，其中r3和r2独立地选自如上定义的有机基团r。特别地，有机基团r选自任选取代的、优选地未取代的烷基、芳基、烯基、炔基、烷芳基、芳烷基、芳烯基、芳炔基、环烷基、环烯基、环炔基、环芳烷基、环芳烯基、和环芳炔基，优选地选自烷基、烯基和芳基。优选地，r3和r2为取代或未取代的线型或支化的烷基或芳基，其可进一步具有杂原子例如氧、氮或硫。在环状醚化合物的情况下，r3和r2可一起构成任选取代的亚烷基或亚芳基，其可进一步具有杂原子例如氧、氮或硫，如例如在二氧六环类特别是1,4-二氧六环中那样。相对于在醚基团–o–处的取代基，所述醚化合物可为对称的或不对称的。根据本发明的术语“醚化合物”还包括如下的线型醚化合物：其中可包含多于一个醚基团，从而形成二-、三-、低聚-或聚醚化合物，其中r3和r2在它们为所述化合物的末端基团时构成有机基团，并且在它们为内部基团时构成亚烷基或亚芳基。本文中，末端基团定义为与作为醚基团的部分的一个氧原子连接的任何基团，而内部基团定义为与作为醚基团的构成成分的两个氧原子连接的任何基团。这样的化合物的优选实例为二甲氧基乙烷、乙二醇二醚类(甘醇二甲醚类)特别地二甘醇二甲醚或四甘醇二甲醚，而不限于其。根据本发明，术语“高沸点醚化合物”定义为在约1.01325巴(标准大气压)下的沸点优选为至少约70℃、更优选为至少约85℃、甚至更优选为至少约100℃、和最优选为至少约120℃的的根据以上定义的醚化合物。在本发明中应用高沸点醚是有利的，因为其便于从含有所述溶剂和残留的起始材料的反应混合物分离期望的通式(i)的产物。通式(i)的产物通常具有比以上定义的高沸点醚低的沸点。例如，在大气压下，所选择的代表性的通式(i)的产物的沸点为35℃(me2sihcl)和41℃(mesihcl2)，而代表性的较高沸点醚化合物二甘醇二甲醚在标准大气压下具有162℃的沸点。应用较高沸点醚化合物作为溶剂容许较高的反应温度并且容许通过蒸馏从反应混合物更高效分离期望的产物。在根据本发明工艺的另一种优选实施方式中，步骤a)在一种或多种氢给体、优选地一种或多种金属氢化物、更优选地选自碱金属氢化物和碱土金属氢化物的一种或多种金属氢化物、和最优选地氢化锂的存在下进行。根据本发明，术语“氢给体”指的是在导致通式(i)的产物的通式(ii)、(iii)和(iv)的硅烷底物的任意者的反应中能够供给至少一个氢阴离子的任意化合物。根据本发明，术语“金属氢化物”指的是含有至少一个金属原子或金属离子的任意氢给体，其包括复合金属氢化物、有机金属试剂和二元金属氢化物。根据本发明，术语“复合金属氢化物”指的是其中阴离子包含氢阴离子的金属盐，例如lialh4或nabh4。典型地，复合金属氢化物包含多于一种类型的金属或类金属。按照本发明，术语“类金属”包括元素硼、硅、锗、砷、锑、碲、碳、铝、硒、钋和砹。术语“有机金属氢化物试剂”指的是如下化合物：其包含在碳和金属原子之间的键、并且能够供给在导致通式(i)的产物的通式(ii)、(iii)或(iv)的底物的反应中使用的至少一个氢阴离子。根据本发明的二元金属氢化物为完全由一种具体金属的离子和氢离子组成的金属氢化物。优选地，根据本发明的金属氢化物选自二元金属氢化物，更优选地选自碱金属氢化物和碱土金属氢化物，甚至更优选地选自氢化锂、氢化钠、氢化钾、氢化镁、氢化钙，甚至更优选地选自氢化锂和氢化钠，最优选地所述金属氢化物为氢化锂。在根据本发明的另一种优选实施方式中，在通式(ii)、(iii)或(iv)的一个或多个和通式(i)中，r为烷基或环烷基基团、优选地甲基基团。优选地，在通式(ii)、(iii)或(iv)的硅烷的一种或多种和通式(i)中，r为烷基或环烷基基团，更优选地具有1-约20个碳原子的烷基或环烷基基团，甚至更优选地具有1-约10个碳原子的、甚至进一步优选地1-约6个碳原子的烷基或环烷基基团，和最优选地r为甲基基团。在根据本发明工艺的一种优选实施方式中，步骤a)中全部式(ii)、(iii)或(iv)的硅烷在一个、多个或全部硅原子处具有至少一个氯取代基。优选地，步骤a)中全部式(ii)、(iii)或(iv)的硅烷在一个、多个或全部硅原子处具有至少一个氯取代基，更优选地步骤a)中全部式(ii)、(iii)或(iv)的硅烷在一个、多个或全部硅原子处具有比氢取代基多的氯取代基。在根据本发明工艺的一种进一步优选的实施方式中，在步骤a)中全部式(ii)、(iii)或(iv)的硅烷在一个、多个或全部硅原子处不具有氢取代基。优选地，在步骤a)中全部通式(ii)、(iii)或(iv)的硅烷在一个、多个或全部硅原子处不具有氢取代基，更优选地在步骤a)中全部通式(ii)、(iii)或(iv)的硅烷在一个、多个或全部硅原子处不具有氢取代基且具有1或2个取代基r，其中r为有机基团，优选地如上定义的那些。在根据本发明工艺的另一种优选实施方式中，所述硅烷底物包括基于所述硅烷底物的总重量大于约90重量％的一种或多种在一个、多个或全部硅原子处具有至少一个氯取代基的具有式(ii)、(iii)或(iv)的特定硅烷。在该实施方式中，优选地，在步骤a)中加入金属氢化物。优选地，所述硅烷底物包括大于约90重量％的一种或两种在一个、多个或全部硅原子处具有至少一个氯取代基的具有式(ii)、(iii)或(iv)的特定硅烷，更优选地所述硅烷底物包括大于约90重量％的一种或多种在一个、多个或全部硅原子处具有比氢取代基多的氯取代基的具有式(ii)、(iii)或(iv)的特定硅烷，其中各百分数基于所述硅烷底物的总重量。在该实施方式中，优选地，在步骤a)中加入金属氢化物。在根据本发明工艺的另一种进一步优选的实施方式中，所述硅烷底物包括大于约90重量％的通式(ii)、(iii)或(iv)的在一个、多个或全部硅原子处不带有氢取代基的一种或两种特定硅烷，基于所述硅烷底物的总重量。在该实施方式中，优选地，在步骤a)中加入金属氢化物。优选地，所述底物包括大于约90重量％的式(ii)、(iii)或(iv)的在一个、多个或全部硅原子处不带有氢取代基一种或两种特定硅烷、更优选地式(ii)、(iii)或(iv)的在一个、多个或全部硅原子处不带有氢取代基且带有1或2个取代基r的特定硅烷，其中r为有机基团、优选地如上定义，其中该重量百分数基于所述硅烷底物的总重量。在该实施方式中，优选地，在步骤a)中加入金属氢化物。在根据本发明工艺的一种优选实施方式中，在步骤a)中的通式(ii)、(iii)或(iv)的在一个、多个或全部硅原子处带有一个或多个氢取代基的所述硅烷底物在步骤a)之前通过氢化反应制备。本文中，在步骤a)中的在一个、多个或全部硅原子处带有一个或多个氢取代基的全部通式(ii)、(iii)或(iv)的硅烷底物可在步骤a)之前通过氢化步骤制备，或在步骤a)中的通式(ii)、(iii)或(iv)的在一个、多个或全部硅原子处带有一个或多个氢取代基的所述硅烷底物的仅一部分可在步骤a)之前通过氢化反应制备。根据本发明，术语“氢化”指的是在硅原子处的一个或多个氯取代基被相同数量的氢取代基所交换。优选地，导致经氢化的通式(ii)、(iii)和(iv)的底物的步骤a)之前的氢化反应是用选自如下的氢给体进行的：金属氢化物、优选地复合金属氢化物和有机金属氢化物试剂例如lialh4、n-bu3snh、nabh4、i-bu2alh或双(2-甲氧基乙氧基)氢化铝钠。在根据本发明工艺的一种同样优选的实施方式中，在步骤a)中的金属氢化物相对于所述硅烷底物化合物的量在约0.05摩尔％至约395.95摩尔％、优选地约20摩尔％至约200摩尔％、更优选地约50摩尔％至约150摩尔％、和最优选地约80摩尔％至约100摩尔％的范围中。本文中，以％计的摩尔比被定义为[n(步骤a中加入到反应混合物的金属氢化物))/n(通式(ii)、(iii)和/或(iv)的硅烷底物化合物)]x100。为了测定该摩尔比，选自通式(ii)的单硅烷、通式(iii)的二硅烷和通式(iv)的碳二硅烷的化合物被考虑，而不管是否将它们接纳为包括其它化合物、特别地分别不落在通式(ii)、(iii)或(iv)下的二硅烷和碳二硅烷的混合物的一部分。在根据本发明工艺的一种进一步优选的实施方式中，在步骤a)中的一种或多种化合物(c)相对于在步骤a)中的所述硅烷底物化合物的量在约0.0001摩尔％至约600摩尔％、更优选地约0.01摩尔％至约20摩尔％、甚至更优选地约0.05摩尔％至约2摩尔％、和最优选地约0.05摩尔％至约1摩尔％的范围中。本文中，以％计的摩尔比被定义为[n(步骤a)中的一种或多种化合物(c))/n(步骤a)中的通式(ii)、(iii)和(iv)的硅烷底物化合物)]x100。为了测定该摩尔比，落在化合物(c)的定义下的所有化合物被考虑，并且经受反应步骤a)的作为通式(ii)的单硅烷、通式(iii)的二硅烷和通式(iv)的碳二硅烷的所有化合物被考虑，而不管是否将它们接纳为包括其它化合物、特别地不在通式(ii)、(iii)或(iv)下的二硅烷和碳二硅烷的混合物的一部分。在根据本发明工艺的另一种优选实施方式中，在步骤a)中，硅烷底物对有机溶剂的重量比在约0.01-约100的范围中，优选地在约0.1-约10、更优选地约0.5至约4、最优选地约0.5至约1的范围中。本文中，该重量比被定义为m(步骤a)中通式(ii)、(iii)和(iv)的硅烷底物化合物)/m(步骤a)中的有机溶剂)。为了测定该比率，经受反应步骤a)的作为通式(ii)的单硅烷、通式(iii)的二硅烷和通式(iv)的碳二硅烷的所有化合物被考虑，而不管是否将它们接纳为包括其它化合物、特别地不落在通式(ii)、(iii)或(iv)下的二硅烷和碳二硅烷的混合物的一部分。在根据本发明工艺的一种优选实施方式中，步骤a)在约0℃至约300℃、优选地约20℃至约200℃、更优选地约80℃至约200℃的温度下进行。根据本发明，在步骤a)中的反应温度为反应混合物的温度，即在所述反应在其中进行的反应容器内部测量的温度。在根据本发明工艺的又一种优选实施方式中，步骤a)在约0.1巴至约30巴、优选地约1巴至约20巴、最优选地约1巴至约10巴的压力下进行。所述压力范围指的是，在当进行反应步骤a)时使用的反应容器内部测量的压力。在根据本发明工艺的另一种优选实施方式中，式(i)的甲基单硅烷选自me2sihcl、mesihcl2和mesih2cl。在根据本发明工艺的一种进一步优选的实施方式中，式(i)的甲基单硅烷选自me2sihcl和mesihcl2。优选地，式(i)的甲基单硅烷为me2sihcl并且其通过使me2sicl2经受反应步骤a)而产生，更优选地式(i)的甲基单硅烷为me2sihcl并且其通过使me2sicl2和通式(ii)、(iii)或(iv)的不带有氯取代基的一种或多种硅烷经受反应步骤a)而产生，甚至更优选地式(i)的甲基单硅烷为me2sihcl并且其通过使me2sicl2和选自如下经验式的一种或多种硅烷经受反应步骤a)而产生：me2sih2、mesih3、me2si2h4、me3si2h3、me4si2h2、me2(sich2si)h4(例如hme2(sich2si)h3或h2me(sich2si)meh2)、me3(sich2si)h3和me4(sich2si)h2，最优选地式(i)的甲基单硅烷为me2sihcl并且其通过使me2sicl2和me2sih2经受反应步骤a)而产生。进一步优选地，式(i)的甲基单硅烷为me2sihcl并且其通过使me2sih2和通式(ii)、(iii)或(iv)的不带有氢取代基的一种或多种硅烷经受反应步骤a)而产生，甚至更优选地式(i)的甲基单硅烷为me2sihcl并且其通过使me2sih2和选自如下经验式的一种或多种硅烷经受反应步骤a)而产生：其组成为me2sicl2、mesicl3、me2si2cl4、me3si2cl3、me4si2cl2、me2(sich2si)cl4、me3(sich2si)cl3和me4(sich2si)cl2，最优选地式(i)的甲基单硅烷为me2sihcl并且其通过使me2sih2和me2sicl2经受反应步骤a)而产生。还优选地，式(i)的甲基单硅烷为mesihcl2、并且其通过使mesicl3和通式(ii)、(iii)或(iv)的不带有氯取代基的一种或多种硅烷经受反应步骤a)而产生，甚至更优选地式(i)的甲基单硅烷为mesihcl2并且其通过使mesicl3和选自经验式me2sih2、mesih3、me2si2h4、me3si2h3、me4si2h2、me2(sich2si)h4、me3(sich2si)h3和me4(sich2si)h2的硅烷的一种或多种硅烷经受反应步骤a)而产生，最优选地式(i)的甲基单硅烷为mesihcl2并且其通过使mesicl3和mesih3经受反应步骤a)而产生。进一步优选地，式(i)的甲基单硅烷为mesihcl2并且其通过使mesih3和通式(ii)、(iii)或(iv)的不带有氢取代基的一种或多种硅烷经受反应步骤a)而产生，甚至更优选地式(i)的甲基单硅烷为mesihcl2并且其通过使mesih3和选自如下经验式的硅烷的一种或多种硅烷经受反应步骤a)而产生：me2sicl2、mesicl3、me2si2cl4、me3si2cl3、me4si2cl2、me2(sich2si)cl4、me3(sich2si)cl3和me4(sich2si)cl2，最优选地式(i)的甲基单硅烷为mesihcl2并且其通过使mesih3和mesicl3经受反应步骤a)而产生。在根据本发明工艺的一种进一步优选的实施方式中，通式(ii)或(iii)的硅烷选自经验式me2sicl2、mesicl3、me2si2cl4和me4si2cl2的硅烷。优选地，选择me2sicl2作为在步骤a)中用于生产me2sihcl的起始材料，更优选地选择me2sicl2作为在步骤a)中在选自如下经验式的硅烷的一种或多种硅烷的存在下生产me2sihcl的起始材料：mesih3、me2sih2、me4si2h2andme4(sich2si)h2，最优选地选择me2sicl2作为在步骤a)中在me2sih2存在下生产me2sihcl的起始材料。还优选地，选择mesicl3作为在步骤a)中用于生产mesihcl2的起始材料，更优选地选择mesicl3作为在步骤a)中在选自经验式mesih3、me2sih2、me2si2h4和me2(sich2si)h4的硅烷的一种或多种硅烷的存在下生产mesihcl2的起始材料，最优选地选择mesicl3作为在步骤a)中在mesih3的存在下生产mesihcl2的起始材料。进一步优选地，选择经验式me2si2cl4的硅烷作为步骤a)中用于生产mesihcl2的起始材料，更优选地选择me2si2cl4作为在步骤a)中在选自经验式me2sih2、mesih3、me2si2h4或me2(sich2si)h4的硅烷的一种或多种硅烷的存在下生产mesihcl2的起始材料，最优选地选择me2si2cl4作为用于生产mesih3的起始材料。还优选地，选择经验式me4si2cl2的硅烷作为步骤a)中用于生产me2sihcl的起始材料，更优选地选择me4si2cl2作为在步骤a)中在选自如下经验式的硅烷的一种或多种硅烷的存在下生产me2sihcl的起始材料：me2sih2、mesih3、me4si2h2或me4(sich2si)h2，最优选地选择me4si2cl2作为在步骤a)中在me2sih2的存在下生产me2sihcl的起始材料。在根据本发明的通式(iii)的二硅烷的反应中，该二硅烷在与通式(ii)的单硅烷的再分配反应中可充当氢给体或氢受体，并且它们在步骤a)的反应条件下可切断成通式(ii)和(i)的单硅烷。在根据本发明工艺的一种优选实施方式中，通式(ii)的硅烷选自me2sicl2和mesicl3。优选地，在步骤a)中应用me2sicl2以生产me2sihcl，更优选地在步骤a)中在选自mesih3、me2sih2、me4si2h2或me4(sich2si)h2的经验式的一种或多种硅烷的存在下应用me2sicl2以生产me2sihcl，最优选地在步骤a)中在me2sih2的存在下应用me2sicl2以生产me2sihcl。还优选地，在步骤a)中应用mesicl3以生产mesihcl2，更优选地在步骤a)中在选自mesih3、me2sih2、me2si2h4或me2(sich2si)h4的经验式的一种或多种硅烷的存在下应用mesicl3以生产mesihcl2，最优选地在步骤a)中在mesih3存在下应用me2sicl2以生产me2sihcl。在根据本发明工艺的一种进一步优选的实施方式中，步骤a)在另外的至少一种式r14pcl的化合物的存在下进行，其中r1如上定义。优选地，在式r14pcl中，r1为氢、或者可相同或不同的有机基团(如上定义)，更优选地r1为芳族基团或脂族烃基团，甚至更优选地r1为烷基或环烷基基团，甚至进一步优选地，r1为正烷基基团，且最优选地通式r14pcl的化合物为n-bu4pcl。在本发明中，式r14pcl的化合物可作为用于步骤a)中的再分配反应的另外催化剂且作为用于通式(iii)或(iv)的硅烷的切断的试剂起作用。在根据本发明工艺的另一种优选实施方式中，式r14pcl的一种或多种化合物由式r13p和r1cl的化合物原位形成，其中r1为h或有机基团。根据本发明，原位形成的r14pcl中的r1为h或有机基团(如上定义)并且能为相同的或不同的，并且优选地r1cl为hcl或氯烷烃，更优选地r1与r13p中相同、并且r1cl为具有至多约20个碳原子的1-氯烷烃，甚至更优选地r1与r13p中相同、并且r1cl为具有至多约10个碳原子的1-氯烷烃，和最优选地r1与r13p中相同、并且r1cl为1-氯丁烷。根据本发明的术语“原位形成”意指，化合物r14pcl由r13p和r1cl通过将这些化合物在进行反应步骤a)的反应容器中组合、或通过在步骤a)之前将这些化合物在单独的反应容器中组合并将该混合物加入到反应步骤a)而不进一步整理形成。在根据本发明工艺的另一种优选实施方式中，步骤a)在氢化锂的存在下进行。优选地，步骤a)在氢化锂的存在下进行，其中通式(ii)、(iii)或(iv)的硅烷底物在一个、多个或全部硅原子处不带有任何氢取代基，更优选地步骤a)在氢化锂的存在下进行，其中所述硅烷底物选自如下经验式的硅烷：me2sicl2、mesicl3、me2si2cl4、me3si2cl3、me4si2cl2、me2(sich2si)cl4、me3(sich2si)cl3和me4(sich2si)cl2，最优选地步骤a)在氢化锂的存在下进行，其中经受所述反应的硅烷底物选自me2sicl2和mesicl3。在根据本发明工艺的一种进一步优选的实施方式中，在步骤a)中，me2sihcl通过me2sicl2与me2sih2的反应而产生。优选地，其中的me2sicl2对me2sih2的摩尔比在约99至约1、更优选地约5至约1、甚至更优选地约3至约1的范围中，并且最优选地该比率在约2至约1的范围中并且反应温度在约80℃至约200℃的范围中。在根据本发明工艺的一种优选实施方式中，在步骤a)中，me2sihcl通过me2sicl2与me2sih2在高沸点醚化合物中反应而产生。优选地，其中的me2sicl2对me2sih2的摩尔比在约99至约1、更优选地约5至约1、甚至更优选地约3至约1的范围中，甚至进一步优选地，该摩尔比为约2至约1并且反应温度在约80℃至约200℃的范围中，并且最优选地该摩尔比在约2至约1的范围中、反应温度在约120℃至约200℃的范围中、并且高沸点醚化合物选自二甘醇二甲醚、四甘醇二甲醚或1,4-二氧六环。在根据本发明工艺的一种优选实施方式中，在步骤a)中，mesihcl2通过mesicl3与mesih3的反应而产生。优选地，其中的mesicl3对mesih3的摩尔比在约99至约1、更优选地约10至约1、甚至更优选地约5至约1的范围中，并且最优选地该比率在约3至约1的范围中并且反应温度在约80℃至约200℃的范围中。在根据本发明工艺的一种优选实施方式中，mesihcl2通过mesicl3与mesih3在高沸点醚化合物中反应而产生。优选地，其中的mesicl3对mesih3的摩尔比在约99至约1、更优选地约10至约1、甚至更优选地约5至约1的范围中，甚至进一步优选地该摩尔比为约3至约1并且反应温度在约80℃至约200℃的范围中，并且最优选地该摩尔比在约3至约1的范围中、反应温度在约120℃至约200℃的范围中、并且高沸点醚化合物选自二甘醇二甲醚、四甘醇二甲醚或1,4-二氧六环。在根据本发明工艺的一种优选实施方式中，在步骤a)中，me2sihcl通过me2sicl2在氢化锂的存在下在高沸点醚化合物中反应而产生。优选地，为了生产me2sihcl，在步骤a)中，使在高沸点醚化合物(优选地二甘醇二甲醚)中的包括基于硅烷底物的总量至少90重量％的me2sicl2、或me2sicl2和其它硅烷的混合物的硅烷底物与氢化锂一起经受步骤a)。在根据本发明工艺的一种进一步优选的实施方式中，在步骤a)中，me2sihcl通过me2sicl2在氢化锂的存在下在作为溶剂的二甘醇二甲醚中反应而产生。在根据本发明工艺的另一种优选实施方式中，在步骤a)中，mesihcl2通过mesicl3在氢化锂的存在下在高沸点醚化合物中反应而产生。优选地，为了生产mesihcl2，使包括基于硅烷底物的总量至少90重量％的mesicl3、或mesicl3与其它硅烷的混合物的硅烷底物在氢化锂的存在下在高沸点醚化合物、优选地二甘醇二甲醚中经受步骤a)。本发明的工艺可以连续或间歇方式进行，优选地其以连续方式进行。其中，步骤a)和/或b)可以连续或间歇方式进行，优选地步骤a)和b)两者均以连续方式进行。在根据本发明的工艺的一种优选实施方式中，分离所得的式(i)的单硅烷的步骤b)通过蒸馏和/或冷凝而进行。根据本发明的术语“蒸馏”涉及任何通过选择性蒸发和冷凝从液体混合物分离组分或物质的过程。其中，蒸馏可导致混合物的构成成分的实际上完全的分离，从而导致几乎纯的化合物的离析，或者其可为使所述混合物的所选择的构成成分在馏出物中的浓度当与经历蒸馏的混合物相比时提高的部分分离。优选地，可构成分离步骤b)的蒸馏过程可为简单蒸馏、分馏、真空蒸馏、短程蒸馏或者技术人员已知的任何其它种类的蒸馏。还优选地，根据本发明的式(i)的单硅烷的分离步骤b)可包括一个或多个间歇蒸馏步骤，或者可包括连续蒸馏过程。进一步优选地，术语“冷凝”可包括通过如下从反应混合物分离或富集一种或多种通式(i)的化合物：从反应容器挥发和在经制冷的容器中冷凝为液体和/或固体，随后可通过蒸馏、或者通过溶解在醚溶剂中而将其从所述容器回收。作为冷凝的替代性优选方式，可将所述单硅烷吸收在包含于经制冷的容器中的醚溶剂中。根据本发明，术语经制冷应用于冷却到在环境温度以下、优选地在约10℃以下、更优选地在约0℃以下、和最优选地在约-10℃以下的温度的任意物体。在根据本发明的工艺的一种优选实施方式中，所述工艺可在惰性条件下进行。根据本发明，术语“在惰性条件下进行”意指，所述工艺部分地或完全地在排除周围空气、特别是水分和氧气下进行。为了从反应混合物和反应产物排除环境空气，可使用密闭反应容器，减压和/或惰性气体、特别是氮气或氩气，或者这样的手段的组合。本发明的优选实施方式在下文中，说明本发明的优选实施方式。1.用于制造通式(i)的单硅烷的工艺：rxsihyclz(i)，其中r为有机基团，x＝1-3、优选地1-2，y＝1-3、优选地1-2，z＝0-3、优选地1-2，和x y z＝4，所述工艺包括：a)使硅烷底物在一种或多种化合物(c)的存在下经历反应的步骤，所述硅烷底物包括一种或多种选自如下的硅烷：a)通式(ii)的单硅烷rasihbclc(ii)其中r如上定义，a＝1-3,b＝0-3,c＝0-3，且a b c＝4，和b)通式(iii)的二硅烷resi2hfclg(iii)其中r如上定义，e＝1-5,f＝0-5,g＝0-5，且e f g＝6，c)通式(iv)的碳二硅烷rm(sich2si)hnclo(iv)其中r如上定义，m＝1-5,n＝0-5,o＝0-5，且m n o＝6所述一种或多种化合物(c)选自：-膦r13p，其中r1为氢或有机基团并且能为相同的或不同的；优选地r3p，其中r如上定义并且能为相同的或不同的；例如pph3，和-胺r13n，其中r1为氢或有机基团并且能为相同的或不同的；优选地r3n，其中r如上定义并且能为相同的或不同的；例如n-bu3n或nph3，以及b)任选地，分离所得的通式(i)的单硅烷的步骤，条件是(i)式(ii)、(iii)或(iv)的至少一种硅烷在硅原子处具有至少一个氯取代基，以及以下条件(ii)和(iii)的至少一项：(ii)式(ii)、(iii)或(iv)的硅烷的至少一种在硅原子处具有至少一个氢取代基，(iii)步骤a)在一种或多种氢给体的存在下进行。2.根据实施方式1所述的工艺，其在不供应氯化氢的情况下和/或在不存在金属催化剂、优选地在不存在氯化铝或钯催化剂下进行。3.根据实施方式1或2所述的工艺，其中步骤a)在有机溶剂，优选地高沸点醚化合物，更优选地1,4-二氧六环、二甘醇二甲醚或四甘醇二甲醚，最优选地二甘醇二甲醚中进行。4.根据实施方式1-3任一项所述的工艺，其中步骤a)在一种或多种氢给体，优选地一种或多种金属氢化物，更优选地选自碱金属氢化物和碱土金属氢化物的一种或多种金属氢化物，和最优选地氢化锂的存在下进行。5.根据前述实施方式的任一项所述的工艺，其中在通式(ii)、(iii)或(iv)的一个或多个和通式(i)中，r为烷基或环烷基基团、优选地甲基基团。6.根据前述实施方式的任一项所述的工艺，其中步骤a)中全部式(ii)、(iii)或(iv)的硅烷在一个、多个或全部硅原子处具有至少一个氯取代基。7.根据前述实施方式的任一项所述的工艺，其中步骤a)中全部式(ii)、(iii)或(iv)的硅烷在一个、多个或全部硅原子处不具有氢取代基。8.根据前述实施方式的任一项所述的工艺，其中所述硅烷底物包括大于约90重量％的式(ii)、(iii)或(iv)的在硅原子处具有至少一个氯取代基的一种或两种特定硅烷，其中该重量百分数基于所述硅烷底物的总重量。9.根据前述实施方式的任一项所述的工艺，其中所述硅烷底物包括大于约90重量％的通式(ii)、(iii)或(iv)的在硅原子处不具有氢取代基的一种或两种特定硅烷，其中该重量百分数基于所述硅烷底物的总重量。10.根据前述实施方式的任一项所述的工艺，其中步骤a)中的在硅原子处具有一个或多个氢取代基的通式(ii)、(iii)或(iv)的硅烷底物通过在步骤a)之前的氢化反应而制备。11.根据前述实施方式的任一项所述的工艺，其中在步骤a)中金属氢化物相对于硅烷底物化合物的量在约0.05摩尔％至约395.95摩尔％、优选地约20摩尔％至约200摩尔％、更优选地约50摩尔％至约150摩尔％、和最优选地约80摩尔％至约100摩尔％的范围中。12.根据前述实施方式的任一项所述的工艺，其中在步骤a)中一种或多种化合物(c)相对于硅烷底物化合物的量在约0.0001摩尔％至约600摩尔％、更优选地约0.01摩尔％至约20摩尔％、甚至更优选地约0.05摩尔％至约2摩尔％、和最优选地约0.05摩尔％至约1摩尔％的范围中。13.根据前述实施方式3至13任一项所述的工艺，其中在步骤a)中，硅烷底物对有机溶剂的重量比在约0.01-约100的范围中，优选地在约0.1-约10、更优选地约0.5至约4、最优选地约0.5至约1的范围中。14.根据前述实施方式的任一项所述的工艺，其中步骤a)在约0℃至约300℃、优选地约20℃至约200℃、更优选地约80℃至约200℃的温度下进行。15.根据前述实施方式的任一项所述的工艺，其中步骤a)在约0.1巴至约30巴、优选地约1巴至约20巴、最优选地约1巴至约10巴的压力下进行。16.根据前述实施方式的任一项所述的工艺，其中式(i)的甲基单硅烷选自me2sihcl、mesihcl2和mesih2cl。17.根据前述实施方式的任一项所述的工艺，其中式(i)的甲基单硅烷选自me2sihcl和mesihcl2。18.根据前述实施方式的任一项所述的工艺，其中通式(ii)或(iii)的硅烷选自如下经验式的硅烷：me2sicl2、mesicl3、me2si2cl4和me4si2cl2。19.根据前述实施方式的工艺，其中通式(ii)的硅烷选自me2sicl2和mesicl3。20.根据任一前述实施方式的工艺，其中步骤a)在式r14pcl的至少一个化合物(c)的存在下进行，其中r1如上定义。21.根据前述实施方式20的工艺，其中式r14pcl的一种或多种化合物由式r13p和r1cl的化合物原位形成，其中r1为h或有机基团。22.根据前述实施方式的任一项所述的工艺，其中步骤a)在至少一种金属氢化物、优选地氢化锂的存在下，优选地在高沸点醚化合物中进行。23.根据前述实施方式的任一项所述的工艺，其中在步骤a)中，me2sihcl通过使me2sicl2和me2sih2反应、优选地在高沸点醚化合物中进行而产生。24.根据前述实施方式1-22任一项所述的工艺，其中在步骤a)中，mesihcl2通过使mesicl3和mesih3反应、优选地在高沸点醚化合物中进行而产生。25.根据实施方式1-22所述的工艺，其中在步骤a)中，me2sihcl通过使me2sicl2和氢化锂在高沸点醚化合物中反应而产生。26.根据实施方式1-22和25任一项所述的工艺，其中在步骤a)中，me2sihcl通过使me2sicl2和氢化锂在作为溶剂的二甘醇二甲醚中反应而产生。27.根据实施方式1-22任一项所述的工艺，其中在步骤a)中，mesihcl2通过使mesicl3和氢化锂在高沸点醚化合物中反应而产生。28.根据实施方式1-22和27任一项所述的工艺，其中在步骤a)中，mesihcl2通过使mesicl3和氢化锂在作为溶剂的二甘醇二甲醚中反应而产生。29.根据前述实施方式的任一项所述的工艺，其中分离所得的式(i)的单硅烷的步骤b)通过蒸馏和/或冷凝进行。30.根据前述实施方式的任一项所述的工艺，其中所述工艺在惰性条件下进行。31.能通过根据前述实施方式的任一项所述的工艺获得的如上定义的通式(i)的单硅烷及其混合物。32.组合物，其包括能通过根据实施方式1-30任一项所述的工艺获得的如上定义的至少一种通式(i)的单硅烷。33.根据前述实施方式的任一项所述的工艺，其中使式(ii)的一种或多种硅烷与选自式(iii)和(iv)的一种或多种硅烷反应。实施例本发明通过以下实施例进行进一步说明，而不限于其。概要在反应之前，将所使用的金属盐以及溶剂根据从文献知晓的程序仔细地干燥。所研究的反应通常首先在密封的nmr管中进行以防止低沸点反应产物例如经氢化的有机单硅烷的蒸发，和以阐明用于所进行反应的反应条件(温度、时间)。随后，将这些条件借鉴地转用到在封闭系统、优选地密封的玻璃安瓿中在制备规模上的切断反应以避免低沸点反应离析物和产物例如有机氯-和有机氢硅烷的蒸发。在反应完成之后，将所述安瓿冷冻，在真空下打开并且将所形成的产物通过组合的冷凝/蒸馏程序离析。将产物通过标准程序、尤其是通过nmr光谱法和gc/ms分析而分析和表征。产物的鉴定将产物通过1h、29si和1h-29si-hsqcnmr波谱法分析。谱图是在装备有prodigybbo500s1探针的brukerav-500波谱仪上记录的。将1h-nmr谱图相对于残留溶剂质子共振(([d6]苯δh＝7.16ppm)校准。另外通过gc-ms分析和主要产物的经验证的鉴定结果支持产物鉴定。gc-ms分析是用与itq900ms质谱仪联用的thermoscientifictracegcultra测量的。固定相(macherey-nagelpermabond硅烷)具有50m的长度与0.32mm的内径。注入1μl的分析物溶液，将其1/25以用氦气载带的1.7ml/分钟的流量转移到所述柱上。将所述柱的温度首先在50℃下保持10分钟。然后将温度以20℃/min的速率升高至250℃并且在该温度下保持另外的40分钟。在离开所述柱之后，将物质用70ev电离并且在34–600m/z(质量/电荷)的范围内测量阳离子碎片。将产物混合物在测量之前用苯稀释。化合物i至xxviii的特征性29si-nmr化学位移和耦合常数j{29si–1h}列于表1中。表1其中vi＝乙烯基，ph＝苯基实施例1：将二甲基二氢单硅烷(1.0mmol)和二甲基二氯单硅烷(1.5mmol)以41：59摩尔比(在表2中作为离析物混合物以摩尔％计)与催化量的再分配催化剂pph3(0.02mmol)在nmr管中在作为溶剂的二甘醇二甲醚(0.35ml)中混合，在-196℃(液氮)下凝固，并真空密封。在将样品温热到室温(r.t.)后，测量29si-和1h-nmr谱图以验证在不同的反应时间和温度后的sih/sicl再分配度，从而控制和通过对混合物内的相关nmr信号的强度进行积分来量化产物形成。产物产率在表2中以摩尔％给出。表2硅烷i和ii在120℃(21h)下开始反应而产生5％量的目标产物iii。通过在140℃下延长反应时间(48h)，iii的摩尔量增至54％。在于160℃下160h之后，通过再分配形成的氯硅烷iii的最大量为58％。实施例2：将二甲基二氢单硅烷(1.0mmol)和二甲基二氯单硅烷(1.3mmol)以44：56的摩尔比(表3中作为离析物混合物以摩尔％计)与催化量的再分配催化剂n-bu3p(0.2mmol)在nmr管中作为溶剂的二甘醇二甲醚(0.35ml)中混合，在-196℃(液氮)下凝固，并真空密封。在将样品温热到室温之后，测量29si-和1h-nmr谱图以验证在不同的反应时间和温度后sih/sicl再分配度，从而控制和通过对混合物内的相关nmr信号的强度进行积分来量化产物形成。产物产率在表3中以摩尔％给出。表3类似于实施例1，再分配反应在120℃(21h)下开始发生而以4％的量产生iii。在以160℃160h之后通过再分配形成的氯硅烷iii的最大量为59％。实施例3：将lih(1.5mmol)、me2sicl2(1.6mmol)、二甘醇二甲醚(0.4ml)和催化量的pph3(0.02mmol)放置在冷却到-196℃(液氮)的nmr管中。在抽真空之后，将nmr管密封并温热到室温。原始材料在加热样品时反应，并通过nmr波谱法监测氯硅烷的还原/再分配反应的反应进程。表4从表4可见，me2sihcliii的形成随反应温度和时间的增加而稳定地增多。在以160℃62h之后通过氢硅烷i与二氯硅烷ii的再分配所形成的氯硅烷iii的最大量为56％。实施例4：该反应在使用n-bu3p(0.02mmol)作为再分配催化剂的情况下类似于实施例3的反应进行。表5类似于实施例3，在以160℃62h之后通过再分配所形成的氯硅烷iii的最大量为54％(表5)。实施例5：类似于实施例3，使mesicl3(1.7mmol)与lih(1.5mmol)在作为溶剂的二甘醇二甲醚(0.4ml)中且在催化量的作为再分配催化剂的pph3(0.02mmol)的存在下反应。表6在以120℃13h之后，mesicl3iv被还原而产生32％的硅烷vii以及通过再分配反应的量为5％和3％的v和vi。将反应温度提高到160℃(22h)产生62％的mesihcl2vi和15％的mesih2clv，同时硅烷vii以仅1％的量存留。通过延长反应时间，氯硅烷iv的量进一步减少而产生23％的mesih2cl(v)。目标产物vi以62％的量存留(表6)。实施例6：该反应在使用n-bu3p(0.02mmol)作为再分配催化剂的情况下类似于实施例5的反应进行。表7如表7中所列出的，在120℃/13h时目标产物vi和v分别以34％和13％的量形成。在以160℃62h之后通过氢硅烷vii与甲基三氯硅烷iv的再分配所形成的氯硅烷vi和v的最大量为66％和15％。实施例7：将mesih3(1.1mmol)、mesicl3(2.1mmol)、二甘醇二甲醚(0.35ml)和催化量的pph3(0.05mmol)放置在冷却到-196℃(液氮)的nmr管中。在抽真空之后，将nmr管密封并温热到室温。原始材料在加热样品时反应，并且通过nmr波谱法监测氯硅烷的还原/再分配反应的反应进程。表8在80℃/6h时，目标产物vi和v分别以4％和11％的量形成。通过延长反应时间(62h/160℃)，vi和v的摩尔量增至64％和16％，同时mesih3vii几乎被定量地消耗(表8)。实施例8：该反应在使用mesih3(1.1mmol)、mesicl3(2.1mmol)、二甘醇二甲醚(0.35ml)和催化量的n-bu3p(0.05mmol)的情况下以类似于实施例7的反应的方式进行。表9类似于实施例7，在80℃/6h时目标产物vi和v以10％和15％的量形成，而在160℃下延长的反应时间(62h)使vi和v的摩尔量分别增至65％和6％。关于起始的氢硅烷vii，再分配反应是定量的(表9)。实施例9：该反应在使用me2sih2(1.1mmol)、mesicl3(1.1mmol)、二甘醇二甲醚(0.35ml)和催化量的n-bu3p(0.05mmol)的情况下以类似于实施例7的反应的方式进行。表10如表10中所列出的，在80℃7h时，目标产物me2sihcliii、mesihcl2vi和mesih2clvi分别以16％、9％和3％的量形成。在100℃下延长的反应时间(22h)分别以29％、36％和11％的量产生iii、vi和v，而起始的硅烷i被完全氯化而产生ii和iii。在以160℃40h之后，由于氯化(而形成ii)使iii的量(32％)减少，而由于氢化使vi的量(32％)减少。mesih2clv和mesih3vii分别以22％和5％的量形成。实施例10：该反应在使用mesih3(1.1mmol)、me2sicl2(1.7mmol)、二甘醇二甲醚(0.35ml)和催化量的n-bu3p(0.05mmol)的情况下以类似于实施例3的反应进行。表11如表11中所列出的，在以80℃6h之后检测到仅少量的再分配产物(iii的量为1％，v的量为2％)。在以160℃22h后，目标产物iii、vi和v分别以28％、9％和16％的量形成，同时硅烷vii的起始摩尔量降至12％。在以160℃40h之后形成最大量的iii(30％)，同时vi、v和vii的量没有显著地改变。实施例11：该反应在使用me2sih2(1.1mmol)、phmesicl2(1.1mmol)、二甘醇二甲醚(0.35ml)和催化量的n-bu3p(0.05mmol)的情况下以类似于实施例7的反应进行。表12在以160℃22h之后，起始硅烷i被氯化而产生34％量的iii和7％量的ii，同时phmesicl2viii被氢化而分别以24％的量和9％的量产生ix和x。通过在160℃下延长的反应时间，iii的量(29％)由于氯化而减少，同时使ix(32％)和x(13％)的量由于氢化而增多(表12)。实施例12：该反应在使用me2sih2(1.1mmol)、ph2sicl2(1.1mmol)、二甘醇二甲醚(0.35ml)和催化量的n-bu3p(0.05mmol)的情况下以类似于实施例7的反应进行。表13类似于实施例11，iii的最大量(35％)在160℃/22h时形成；xi通过再分配被氢化而分别以22％和14％的量产生xii和xiii。通过在160℃下延长反应时间，iii的量降至25％，同时xii(36％)和xiii(18％)的量增大(表13)。实施例13：该反应在使用me2sih2(1.1mmol)、vimesicl2(1.1mmol)、二甘醇二甲醚(0.35ml)和催化量的n-bu3p(0.05mmol)的情况下以类似于实施例7的反应的方式进行。表14如表14中所列出的，iii的最大量(40％)在80℃/7h时形成；vimesicl2xiv的氢化分别以20％和7％的摩尔量产生xv和xvi。在100℃/22h时，xiv被进一步还原而以30％和8％产生xv和xvi，同时iii(31％)的量由于氯化而减少；mesih3(vii，4％)通过乙烯基基团的切断而形成。在160℃下延长的反应时间使vii(10％)以及v(5％)和vi(1％)的形成增多，同时iii(27％)、xv(17％)和xvi(4％)的量减少。此外，形成11％的未确认的产物。实施例14：将11.13g(86.2mmol)me2sicl2、3.30g(54.9mmol)me2sih2、0.73g(2.8mmol)pph3、1.5mlc6d6和8ml二甘醇二甲醚放置在连接有nmr管的经冷却的安瓿(-196℃)中；将安瓿抽空并密封。在以160℃160h之后，将0.6ml产物混合物从安瓿倒入到nmr管中，然后将nmr管密封并与安瓿断开。nmr波谱法测量揭示了表15中列出的产物分布。表15编号硅烷mol％mmolgime2sih21115.20.9iime2sicl23042.65.5iiime2sihcl5982.87.8如表15中所列出的，me2sihcl(iii)以59摩尔％的量形成。关于二甲基硅烷的起始量，72％已经转化成目标产物。实施例15：将12.2g(81.7mmol)mesicl3、1.26g(27.2mmol)mesih3、0.35g(1.3mmol)pph3、1.5mlc6d6和8ml二甘醇二甲醚放置在连接有nmr管的经冷却的安瓿(-196℃)中；将安瓿抽空并密封。在以160℃72h之后，将0.6ml产物混合物从安瓿倒入到nmr管中，然后将nmr管密封并与安瓿断开。nmr波谱法测量揭示了表16中列出的产物分布。表16编号硅烷mol％mmolgivmesicl33038.35.7vmesih2cl910.10.81vimesihcl26166.77.7viimesih3痕量--如表16中所列出的，mesihcl2vi和mesih2clv分别以61％和9％的量形成。关于甲基硅烷的起始量，再分配反应是定量的。实施例16：该反应在使用n-bu3n(0.02mmol)作为再分配催化剂的情况下与实施例5的反应类似地进行。表17在以120℃13h之后，mesicl3iv被还原而通过再分配反应分别产生25％的硅烷vii以及量为2％和3％的v和vi。将反应温度提高到160℃(22h)产生量为10％的mesihcl2vi和量为14％的mesih2clv，同时硅烷vii保持在23％的水平。通过延长反应时间，氯硅烷iv的量进一步减少以产生分别为28％和22％量的目标产物vi和v。mesih3vii以9％的水平存留(表17)。实施例17：该反应在使用nph3(0.02mmol)作为再分配催化剂的情况下与实施例5的反应类似地进行。表18如表18中所列出的，甲基硅烷vii以19％的量形成并且v和vi经由vii与iv的再分配以2％和5％的量形成。在160℃/62h时mesihcl2vi的最大量为55％，同时mesih3vii被完全消耗；甲基氯硅烷v达到8％水平。实施例18：该反应在使用me2sih2(1.6mmol)、me2sicl2(1.6mmol)、二甘醇二甲醚(0.35ml)和催化量的nph3(0.04mmol)的情况下以类似于实施例7的反应进行。表19在80℃/7h时，检测不到产物形成。将反应温度提高到200℃(40h)产生19％量的me2sihcliii(表19)。实施例19：将me2hsi-sihme2(0.3mmol)、me2sicl2(0.8mmol)、二甘醇二甲醚(0.4ml)和催化量的pph3(0.05mmol)放置在冷却到-196℃(液氮)的nmr管中。在抽真空之后，将nmr管密封并且温热到室温。原始材料在加热样品时反应，并且通过nmr波谱法监测氯硅烷的还原/再分配反应的反应进程。表20在220℃/15h时，二甲基二氯硅烷被氢化而产生7％量的me2sihcliii和2％量的me2sih2i，同时起始材料氢二硅烷xviii被氯化而产生5％量的部分氯化的二硅烷xix以及1％量的完全氯化的二硅烷xvii(表20)。实施例20：该反应在使用mecl2si-sicl2me(0.6mmol)、mesicl3(0.6mmol)、lih(1.5mmol)、二甘醇二甲醚(0.4ml)和作为再分配催化剂的pph3(0.05mmol)的情况下以类似于实施例19的反应的方式进行。表21在以160℃16h之后，起始的二硅烷mecl2si-sicl2mexxviii被定量地切断并且经由再分配反应分别以50％和8％的量形成目标产物mesihcl2vi和mesih2clv。通过在220℃下延长反应时间(15h)，vi和v的摩尔量进一步增至56％和11％，同时以4％的量形成未确认的产物(表21)。实施例21：将0.6mmol的氯碳二硅烷的复杂混合物(碳二硅烷分布在表22中列出)、me2sicl2(0.8mmol)、lih(1.6mmol)、n-bu3p(0.05mmol)和二甘醇二甲醚(0.3ml)放置在经冷却的nmr管(-196℃)中。在抽真空之后，将nmr管密封并且温热到室温。原始材料在加热样品时反应，并且通过nmr波谱法监测氯硅烷的还原/再分配反应的反应进程。表22编号硅烷离析物(％)xx(cl2mesi)2-ch245xxiclme2si-ch2-simecl231xxii(me2clsi)2-ch214xxiiime3si-ch2-sime2cl10表23在以160℃16h之后，目标产物me2sihcliii以及二甲基硅烷分别以8％和34％的量形成。氯碳二硅烷的氢化和切断产生2％量的甲基硅烷vii。通过在220℃下延长反应时间(15h)，iii的摩尔量增至34％，同时me2sih2的摩尔量i由于与氯硅烷的再分配反应而减少(5％)。碳二硅烷进一步被切断(留存13％)而分别以7％、7％和9％的量产生硅烷vi、v和vii(表23).。实施例22：将0.8mmol的氢碳二硅烷的复杂混合物(碳二硅烷分布在表24中列出)、me2sicl2(0.8mmol)、n-bu3p(0.05mmol)和二甘醇二甲醚(0.35ml)放置在经冷却的nmr管(-196℃)中。在抽真空之后，将nmr管密封并且温热到室温。起始材料在加热样品时反应，并且通过nmr波谱法监测氯硅烷的还原/再分配反应的反应进程。表24编号硅烷离析物(％)xxiv(h2mesi)2-ch270xxvhme2si-ch2-simeh223xxvi(me2hsi)2-ch26xxviime3si-ch2-sime2h1表25在以160℃16h之后，目标产物me2sihcliii仅以2％的量形成。将反应温度提高到220℃15h，产生29％量的iii以及20％量的二甲基硅烷。碳二硅烷的摩尔量从51％降至11％，导致分别为10％、3％和24％量的mesihcl2vi、mesih2clv和mesih3vii(表25)。对比例1：在nmr管中在作为溶剂的二甘醇二甲醚(0.4ml)中将二甲基二氢单硅烷(0.318mmol)和二甲基二氯单硅烷(0.281mmol)以53:47摩尔比(在表26中作为离析物混合物以摩尔％计)与催化量的再分配催化剂氯化锂(0.08mmol)混合，在-196℃(液氮)下凝固并且真空密封。在将样品温热到室温之后，测量29si-和1h-nmr谱图以验证在不同的反应时间和温度后sih/sicl再分配度，从而控制和通过对混合物内的相关nmr信号的强度进行积分来量化产物形成。产物产率在表26中以摩尔％给出。me2sihcliii由几乎等摩尔的单硅烷i和ii的混合物以9％产率的量形成，但是仅在高温(160℃)下且在长的反应时间(320h)的情况下才进行。表26编号硅烷离析物(％)2.5h16h64h127h320hime2sih2535252515049iime2sicl2474646454542iiime2sihcl-22459对比例2：在nmr管中在作为溶剂的二甘醇二甲醚(0.4ml)中将甲基硅烷vii(1.2mmol)和甲基三氯硅烷iv(0.9mmol)以58:42摩尔比(在表27中作为离析物混合物以摩尔％计)与催化量的再分配催化剂氯化锂(0.08mmol)混合，在-196℃(液氮)下凝固并且真空密封。在将样品温热到室温之后，测量29si-和1h-nmr谱图以验证在不同的反应时间和温度后sih/sicl再分配度，从而控制和通过对混合物内的相关nmr信号的强度进行积分来量化产物形成。产物产率在表27中以摩尔％给出。目标化合物v和vi在160℃的反应温度下且在长的反应时间(320h)的情况下分别以42％和35％的量获得。表27编号硅烷离析物(％)2.5h16h64h127h320hivmesicl342403423155vmesih2cl-413303842vimesihcl2--4142535viimesih3585649332214对比例3：该反应在使用me2hsi-sihme2(0.3mmol)、me2sicl2(0.8mmol)、二甘醇二甲醚(0.4ml)和作为再分配催化剂的alcl3(0.05mmol)的情况下以类似于实施例19的反应的方式进行。表28在以160℃16h之后，除了15％的部分氯化的二硅烷xix和46％的未确认的副产物外，me2sihcliii和me2sih2i分别以9％和7％形成。通过在220℃延长反应时间(15h)，形成68％的副产物，同时目标产物iii完全被降解。结果显示在表28中。当前第1页1 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技术特征：1.制造通式(i)的单硅烷的工艺：
rxsihyclz(i)，
其中r为有机基团，
x＝1-3、优选地1-2，
y＝1-3、优选地1-2，
z＝0-3、优选地1-2，和
x y z＝4，
所述工艺包括：
a)使硅烷底物在一种或多种化合物(c)的存在下经历反应的步骤，所述硅烷底物包括一种或多种选自如下的硅烷：
a)通式(ii)的单硅烷
rasihbclc(ii)
其中r如上定义，
a＝1-3，
b＝0-3，
c＝0-3，且
a b c＝4，和
b)通式(iii)的二硅烷
resi2hfclg(iii)
其中r如上定义，
e＝1-5，
f＝0-5，
g＝0-5，且
e f g＝6，
c)通式(iv)的碳二硅烷
rm(sich2si)hnclo(iv)
其中r如上定义，
m＝1-5，
n＝0-5，
o＝0-5，且
m n o＝6，
所述一种或多种化合物(c)选自：
-膦r13p，其中r1为氢或有机基团并且能为相同的或不同的；优选为r3p，其中r如上定义并且能为相同的或不同的；例如pph3，和
-胺r13n，其中r1为氢或有机基团并且能为相同的或不同的；优选为r3n，其中r如上定义并且能为相同的或不同的；例如n-bu3n或nph3，和
b)任选地，分离所得的通式(i)的单硅烷的步骤，
条件是：
(i)式(ii)、(iii)或(iv)的至少一种硅烷在硅原子处具有至少一个氯取代基，
以及以下条件(ii)和(iii)的至少一项：
(ii)式(ii)、(iii)或(iv)的硅烷的至少一种在硅原子处具有至少一个氢取代基，
(iii)步骤a)在一种或多种氢给体的存在下实施。
2.根据权利要求1所述的工艺，其在不供应氯化氢的情况下和/或在不存在金属催化剂，优选地不存在氯化铝或钯催化剂下实施。
3.根据权利要求1或2所述的工艺，其中步骤a)在有机溶剂，优选地高沸点醚化合物，更优选地1,4-二氧六环、二甘醇二甲醚或四甘醇二甲醚，最优选地二甘醇二甲醚中实施。
4.根据权利要求1-3任一项所述的工艺，其中步骤a)在一种或多种氢给体，优选地一种或多种金属氢化物，更优选地选自碱金属氢化物和碱土金属氢化物的一种或多种金属氢化物，和最优选地氢化锂的存在下实施。
5.根据前述权利要求任一项所述的工艺，其中在通式(ii)、(iii)或(iv)的一个或多个和通式(i)中，r为烷基或环烷基基团、优选地甲基基团。
6.根据前述权利要求任一项所述的工艺，其中步骤a)中的全部式(ii)、(iii)或(iv)的硅烷在一个、多个或全部硅原子处具有至少一个氯取代基。
7.根据前述权利要求任一项所述的工艺，其中步骤a)中的全部式(ii)、(iii)或(iv)的硅烷在一个、多个或全部硅原子处不具有氢取代基。
8.根据前述权利要求任一项所述的工艺，其中所述硅烷底物包括大于约90重量％的在硅原子处具有至少一个氯取代基的一种或两种、优选地一种特定的式(ii)、(iii)或(iv)的硅烷，其中该重量百分数是基于所述硅烷底物的总重量，或者
其中所述硅烷底物包括大于约90重量％的在硅原子处不具有氢取代基的一种或两种、优选地一种特定的通式(ii)、(iii)或(iv)的硅烷，其中该重量百分数是基于所述硅烷底物的总重量。
9.根据前述权利要求任一项所述的工艺，其中步骤a)在约0℃至约300℃、优选地约20℃至约200℃、更优选地约80℃至约200℃的温度下进行。
10.根据前述权利要求任一项所述的工艺，其中式(i)的甲基单硅烷选自me2sihcl、mesihcl2和mesih2cl，优选地式(i)的甲基单硅烷选自me2sihcl和mesihcl2。
11.根据前述权利要求任一项所述的工艺，其中通式(ii)或(iii)的硅烷选自如下经验式的硅烷：me2sicl2、mesicl3、me2si2cl4和me4si2cl2，优选地通式(ii)的硅烷选自me2sicl2和mesicl3。
12.根据前述权利要求任一项所述的工艺，
其中在步骤a)中，通过me2sicl2与me2sih2的反应而产生me2sihcl，优选地在高沸点醚化合物中进行，或
其中在步骤a)中，通过mesicl3与mesih3的反应而产生mesihcl2，优选地在高沸点醚化合物中进行，或
其中在步骤a)中，通过me2sicl2与氢化锂在高沸点醚化合物中的反应而产生me2sihcl，或
其中在步骤a)中，通过me2sicl2与氢化锂在作为溶剂的二甘醇二甲醚中的反应而产生me2sihcl，或
其中在步骤a)中，通过mesicl3与氢化锂在高沸点醚化合物中的反应而产生mesihcl2，或
其中在步骤a)中，通过mesicl3与氢化锂在作为溶剂的二甘醇二甲醚中的反应而产生mesihcl2。
13.根据前述权利要求任一项所述的工艺，其中分离所得的式(i)的单硅烷的步骤b)通过蒸馏和/或冷凝实施。
14.组合物，其包括能通过根据权利要求1-13任一项所述的工艺获得的如上限定的至少一种通式(i)的单硅烷。
15.根据前述权利要求任一项所述的工艺，其中使式(ii)的一种或多种硅烷与选自式(iii)和(iv)的一种或多种硅烷反应。
技术总结本发明涉及在硅原子处带有氢和氯两种取代基的有机单硅烷的制造工艺，其通过如下进行：使硅烷底物在充当再分配催化剂的膦或胺的存在下经历再分配反应，所述硅烷底物包含选自有机单硅烷、有机二硅烷和有机碳二硅烷的一种或多种硅烷，条件是这些硅烷的至少一种在硅原子处具有至少一个氯取代基。
技术研发人员：N.奥纳;T.桑托斯基;A.G.斯特姆
受保护的技术使用者：莫门蒂夫性能材料股份有限公司
技术研发日：2018.09.20
技术公布日：2020.06.05
