本发明涉及龙门式划片机装置技术领域，尤其是一种y轴导轨水平布置的双龙门结构划片机。
背景技术：
现有砂轮划片机主要分为悬臂式和龙门式两种不同结构形式，加工小尺寸工件比如4～6寸晶片的设备多为悬臂式，其主轴是悬伸于转台之上的；而加工8寸以上大尺寸工件的设备多为龙门式，其y轴通过固定的龙门架跨于x轴之上，避免了主轴悬伸于转台之上的情况，因而比悬臂式具有更高的刚度和结构稳定性。
现有龙门式划片机，y轴导轨布局形式为：两根导轨平行布局在龙门架的侧面，采用侧装悬挂的结构方案，此种形式下由于y轴导轨组件是侧向安装，重心倾向于一侧，结构受力完全是侧向受力，受力不平衡影响结构刚度。且此类划片机多采用单龙门非中心对称结构，散热、震动对系统结构的稳定性影响大；由于划片机很多应用场合需要较高精度，如硅晶圆的切割要求200mm行程内定位精度在2um以内，结构强度，零件变形，震动，热影响等因素都会硬想设备系统的精度，因此由于结构受力不平衡，易发生变形，震动等产生精度不稳定的风险。同时，此类结构对传动零件，紧固零件具有很高的质量要求，增加生产成本。
技术实现要素：
本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种结构合理的y轴导轨水平布置的双龙门结构划片机，从而提高划片机整体结构的受力稳定性。
本发明所采用的技术方案如下：
一种y轴导轨水平布置的双龙门结构划片机，包括基座，基座上沿x轴设有x轴模组，x轴模组上安装有r轴组件，位于x轴模组两侧的基座上设有双龙门架，双龙门架的两横梁顶部沿y轴设有y轴模组，所述y轴模组上安装有z轴模组，所述z轴模组的下部设有伸入双龙门架之间间隔处、位于所述r轴组件上的主轴组件；所述y轴模组的安装结构为：包括分别设于两横梁顶部的两y轴导轨，两y轴导轨上通过滑块组件安装有y轴滑台。
作为上述技术方案的进一步改进：
y轴滑台的顶面上通过z向支架安装所述z轴模组，其结构为：包括沿z轴平行间隔设于所述z向支架侧面的两z向导轨，两z向导轨上通过滑块组件滑动安装有z轴滑台，所述z轴滑台底部沿y轴延伸有横向折弯部，其底面上通过主轴连接座安装有切割主轴。
x轴模组的结构为：包括x向底板，所述x向底板上安装有两平行间隔沿x轴延伸的x向导轨，两x向导轨上通过滑块组件滑动安装有固定r轴组件的x向滑台。
r轴组件的结构为：包括三角水平调节板，所述三角水平调节板与直驱回转电机连接，所述直驱回转电机的输出端安装有真空陶瓷吸盘。
位于两x向导轨之间的x向底板上安装有x向丝杆，其上通过与其旋接的丝杆螺母与所述x向滑台连接，x向丝杆一端与x向电机传动连接。
位于两z向导轨之间的z向支架上安装有z向电机，其输出轴与z向丝杆传动连接，所述z向丝杆上旋接有与所述z轴滑台连接的z向螺母组件。
位于其中一侧横梁的顶部安装y轴丝杆，其一端与y轴电机传动连接，另一端通过轴承支架固定，所述y轴丝杆上旋接有位于所述y轴滑台底部与其连接的y轴螺母。
本发明的有益效果如下：
本发明结构紧凑、合理，操作方便。
由于划片机很多应用场合需要较高精度，如硅晶圆的切割要求200mm行程内定位精度在2um以内，结构强度，零件变形，震动，热影响等因素都会硬想设备系统的精度，本发明的y轴导轨水平安装，所受压力是与重力方向一致的正向压力，没有侧向力和扭矩，是直线导轨受力情况最好的使用工况，整体结构受力稳定，不易发生变形、震动等产生精度不稳定的风险，龙门主体结构为中心对称结构，热变形影响小。同时，本发明由于结构受力稳定，对传动零件，紧固零件降低的质量和刚度要求，减少生产成本。
附图说明
图1为本发明的立体结构示意图。
图2为本发明y轴模组的安装结构示意图。
图3为本发明z轴模组的安装结构示意图。
图4为本发明主轴组件的结构示意图。
图5的本发明x轴模组的示意图。
图6为本发明r轴组的安装示意图。
图7为本发明z轴模组驱动部分的结构示意图。
其中：1、基座；2、x轴模组；3、y轴模组；4、r轴组件；5、主轴组件；6、z轴模组；7、双龙门架；201、x向电机；202、x向导轨；203、x向滑台；204、x向底板；205、x向丝杆；401、真空陶瓷吸盘；402、直驱回转电机；403、三角水平调节板；301、y轴丝杆；302、y轴导轨；303、y轴滑台；304、y轴电机；309、y轴螺母；311、轴承支架；501、主轴连接座；502、切割主轴；601、z轴滑台；602、z向支架；603、z向电机；604、z向导轨；605、z向丝杆；606、z向螺母组件。
具体实施方式
下面结合附图，说明本发明的具体实施方式。
如图1和图2所示，本实施例的y轴导轨水平布置的双龙门结构划片机，包括基座1，基座1上沿x轴设有x轴模组2，x轴模组2上安装有r轴组件4，位于x轴模组2两侧的基座1上设有双龙门架7，双龙门架7的两横梁顶部沿y轴设有y轴模组3，y轴模组3上安装有z轴模组6，z轴模组6的下部设有伸入双龙门架7之间间隔处、位于r轴组件4上的主轴组件5；y轴模组3的安装结构为：包括分别设于两横梁顶部的两y轴导轨302，两y轴导轨302上通过滑块组件安装有y轴滑台303。
如图3和图4所示，y轴滑台303的顶面上通过z向支架602安装z轴模组6，其结构为：包括沿z轴平行间隔设于z向支架602侧面的两z向导轨604，两z向导轨604上通过滑块组件滑动安装有z轴滑台601，z轴滑台601底部沿y轴延伸有横向折弯部，其底面上通过主轴连接座501安装有切割主轴502。
如图5所示，x轴模组2的结构为：包括x向底板204，x向底板204上安装有两平行间隔沿x轴延伸的x向导轨202，两x向导轨202上通过滑块组件滑动安装有固定r轴组件4的x向滑台203。
如图6所示，r轴组件4的结构为：包括三角水平调节板403，三角水平调节板403与直驱回转电机402连接，直驱回转电机402的输出端安装有真空陶瓷吸盘401。
位于两x向导轨202之间的x向底板204上安装有x向丝杆205，其上通过与其旋接的丝杆螺母与x向滑台203连接，x向丝杆205一端与x向电机201传动连接。
如图7所示，位于两z向导轨604之间的z向支架602上安装有z向电机603，其输出轴与z向丝杆605传动连接，z向丝杆605上旋接有与z轴滑台601连接的z向螺母组件606。
如图2所示，位于其中一侧横梁的顶部安装y轴丝杆301，其一端与y轴电机304传动连接，另一端通过轴承支架311固定，y轴丝杆301上旋接有位于y轴滑台303底部与其连接的y轴螺母309。
本划片机采用中心对称支撑的双龙门架7结构，y轴导轨302水平安装在双龙门架7的y轴横梁顶部，y轴丝杆301布局在y轴导轨302的一侧，通过y轴滑台303安装z轴模组6，主轴组件5与z轴模组6连接实现主轴组件5的z轴方向的升降。
x轴模组2与龙门框架7下方中间位置，使y轴模组3移动行程完全覆盖真空陶瓷吸盘401的工作直径，真空陶瓷吸盘401通过直驱回转电机402带动绕r轴(与z轴平行)回转，三角水平调节板403调整r轴组件4的水平度；切割主轴502沿y向水平设置，带动刀片绕切割主轴502旋转。
以上描述是对本发明的解释，不是对发明的限定，本发明所限定的范围参见权利要求，在本发明的保护范围之内，可以作任何形式的修改。
1.一种y轴导轨水平布置的双龙门结构划片机，其特征在于：包括基座(1)，基座(1)上沿x轴设有x轴模组(2)，x轴模组(2)上安装有r轴组件(4)，位于x轴模组(2)两侧的基座(1)上设有双龙门架(7)，双龙门架(7)的两横梁顶部沿y轴设有y轴模组(3)，所述y轴模组(3)上安装有z轴模组(6)，所述z轴模组(6)的下部设有伸入双龙门架(7)之间间隔处、位于所述r轴组件(4)上的主轴组件(5)；
所述y轴模组(3)的安装结构为：包括分别设于两横梁顶部的两y轴导轨(302)，两y轴导轨(302)上通过滑块组件安装有y轴滑台(303)。
2.如权利要求1所述的y轴导轨水平布置的双龙门结构划片机，其特征在于：y轴滑台(303)的顶面上通过z向支架(602)安装所述z轴模组(6)，其结构为：包括沿z轴平行间隔设于所述z向支架(602)侧面的两z向导轨(604)，两z向导轨(604)上通过滑块组件滑动安装有z轴滑台(601)，所述z轴滑台(601)底部沿y轴延伸有横向折弯部，其底面上通过主轴连接座(501)安装有切割主轴(502)。
3.如权利要求2所述的y轴导轨水平布置的双龙门结构划片机，其特征在于：x轴模组(2)的结构为：包括x向底板(204)，所述x向底板(204)上安装有两平行间隔沿x轴延伸的x向导轨(202)，两x向导轨(202)上通过滑块组件滑动安装有固定r轴组件(4)的x向滑台(203)。
4.如权利要求3所述的y轴导轨水平布置的双龙门结构划片机，其特征在于：r轴组件(4)的结构为：包括三角水平调节板(403)，所述三角水平调节板(403)与直驱回转电机(402)连接，所述直驱回转电机(402)的输出端安装有真空陶瓷吸盘(401)。
5.如权利要求3所述的y轴导轨水平布置的双龙门结构划片机，其特征在于：位于两x向导轨(202)之间的x向底板(204)上安装有x向丝杆(205)，其上通过与其旋接的丝杆螺母与所述x向滑台(203)连接，x向丝杆(205)一端与x向电机(201)传动连接。
6.如权利要求2所述的y轴导轨水平布置的双龙门结构划片机，其特征在于：位于两z向导轨(604)之间的z向支架(602)上安装有z向电机(603)，其输出轴与z向丝杆(605)传动连接，所述z向丝杆(605)上旋接有与所述z轴滑台(601)连接的z向螺母组件(606)。
7.如权利要求1所述的y轴导轨水平布置的双龙门结构划片机，其特征在于：位于其中一侧横梁的顶部安装y轴丝杆(301)，其一端与y轴电机(304)传动连接，另一端通过轴承支架(311)固定，所述y轴丝杆(301)上旋接有位于所述y轴滑台(303)底部与其连接的y轴螺母(309)。
技术总结