本发明涉及数据可视化,具体地说是一种芯片堆叠的封装方法及结构。
背景技术:
1、目前2.5d及3d半导体先进封装领域,一般性的芯片堆叠方式主要有倒装焊或者热压焊加底填胶(fc/tcb+underfill),underfill底填需要边上预留点胶平面,对于二次堆叠芯片underfill底填无法进行工艺。非导电胶加热压焊(ncf-tcb),用ncf替代underfill来实现多芯片堆叠间隙,但是ncf膜贴附包裹凸点时易发生气泡;另外热压焊接对于凸点分布不均匀的情况下,易对薄芯片产生开裂异常。热压焊加塑封(tcb-muf),塑封料很难实现填充多芯片堆叠间隙。混合键合技术(hybrid bonding)虽然省去了凸点制作流程,但是该制程对于环境和设备要求及芯片表面平整度要求非常高,成本上大大提升。
技术实现思路
1、本发明为克服现有技术的不足,提供一种芯片堆叠的封装方法及结构。
2、为实现上述目的,设计一种芯片堆叠的封装方法,其特征在于:包括如下步骤:
3、s1,上芯片贴acf膜,并划片;
4、s2,将上芯片与硅转接板堆叠,并封装;
5、所述的步骤s1的具体方法如下:
6、s11,在上芯片的正面贴膜,并将上芯片的背面减薄至30~50um;
7、s12,将上芯片倒膜翻转,并在上芯片正面贴acf膜,acf膜覆盖上芯片表面;
8、s13,撕去acf膜的底膜;
9、s14,划片成单颗芯片;
10、所述的步骤s2的具体方法如下:
11、s21,载片支撑硅转接板;
12、s22,将上芯片倒装热压焊至硅转接板一侧表面;
13、s23,塑封,包裹整个堆叠结构;
14、s24,去除载片;
15、s25,在硅转接板的另一侧表面植金属球;
16、s26,划片,形成单个封装体。
17、所述的上芯片的数量为一个及以上,若干上芯片均位于同一平面。
18、为实现上述目的,设计一种芯片堆叠的封装结构,包括硅转接板一侧焊盘通过acf膜电连接上芯片,硅转接板另一侧焊盘连接金属球。
19、为实现上述目的,设计一种芯片堆叠的封装方法,包括如下步骤:
20、a1,上芯片贴acf膜,并划片;
21、a2,中间芯片贴acf膜,并划片;
22、a3,分别将中间芯片、上芯片堆叠在下芯片上,并封装;
23、所述的步骤a1的具体方法如下:
24、a11,在上芯片的正面贴膜,并将上芯片的背面减薄至30~50um;
25、a12,将上芯片倒膜翻转,并在上芯片正面贴acf膜,acf膜覆盖上芯片表面;
26、a13,撕去acf膜的底膜;
27、a14,划片成单颗芯片;
28、所述的步骤a2的具体方法如下:
29、a21,中间芯片背面进行tsv工艺加工,加工至厚度为30~50um,
30、a22,中间芯片正面贴acf膜;
31、a23,撕去acf膜的底膜;
32、a24,划片成单颗芯片;
33、所述的步骤a3的具体方法如下:
34、a31,载片支撑下芯片;
35、a32,中间芯片倒装热压焊至下芯片一侧表面;
36、a33,上芯片倒装焊至中间芯片上;
37、a34,塑封,包裹整个堆叠结构;
38、a35,在下芯片另一侧表面植金属球;
39、a36,划片,形成单个封装体。
40、所述的中间芯片的数量为一个及以上,若干中间芯片呈垂直堆叠。
41、为实现上述目的,设计一种芯片堆叠的封装结构,从下至上包括堆叠的下芯片、中间芯片、上芯片,下芯片与中间芯片之间、中间芯片与上芯片之间通过acf膜电连接。
42、所述的下芯片一侧表面的焊盘连接金属球。
43、所述的中间芯片的数量为一个及以上,相邻中间芯片之间通过acf膜电连接。
44、本发明同现有技术相比,采用acf膜取代现有的凸点焊接、混合键合方式,省略了凸点制作流程封大大降低封装成本,封装设备简单,无尘环境要求不高,大大降低了设备成本投入。并且acf膜里的金属球是均匀分布,对于超薄芯片的热压压力适配性高,降低芯片开裂异常发生率。非互联区域也有金属球分布,大大提升了该封装体的散热效果。
1.一种芯片堆叠的封装方法,其特征在于:包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种芯片堆叠的封装方法,其特征在于:所述的上芯片(1)的数量为一个及以上,若干上芯片(1)均位于同一平面。
3.一种根据权利要求1或2任一项所述的芯片堆叠的封装结构,其特征在于:包括硅转接板(5)一侧焊盘通过acf膜(4)电连接上芯片(1),硅转接板(5)另一侧焊盘连接金属球(7)。
4.一种3d芯片堆叠的封装方法,其特征在于:包括如下步骤:
5.根据权利要求4所述的一种堆叠的封装方法,其特征在于:所述的中间芯片(2)的数量为一个及以上,若干中间芯片(2)呈垂直堆叠。
6.一种根据权利要求4或5任一项所述的芯片堆叠的封装结构,其特征在于:从下至上包括堆叠的下芯片(3)、中间芯片(2)、上芯片(1),下芯片(3)与中间芯片(2)之间、中间芯片(2)与上芯片(1)之间通过acf膜(4)电连接。
7.根据权利要求6所述的一种芯片堆叠的封装结构,其特征在于:所述的下芯片(3)一侧表面的焊盘连接金属球(7)。
8.根据权利要求6所述的一种芯片堆叠的封装结构,其特征在于:所述的中间芯片的数量为一个及以上,相邻中间芯片(2)之间通过acf膜(4)电连接。
