本技术涉及半导体领域，尤其涉及一种光刻板制造设备的监控装置。
背景技术：
1、光罩工艺制作过程在工艺腔室内部完成，而所述工艺腔室为密闭空间。在工艺过程中，如果设备机械结构出现问题，则常常会引起光罩产品的出现缺陷、片子刮伤、以及摔破片等问题。但是由于工艺腔室内部为密闭空间，在对设备进行维护保养的时候，很难通过人的肉眼发现设备的机械结构问题，因而会陷于光罩缺陷或者损伤已经发生，但是无从排查的窘境。
2、如何快速排查光罩工艺腔室内部的硬件结构问题，对提高光罩质量，降低生产成本有非常大的意义。
技术实现思路
1、本实用新型所要解决的技术问题是提供一种监控装置，能够监测密闭的工艺腔室内部的硬件问题。
2、为了解决上述问题，本实用新型提供了一种光刻板制造设备的监控装置，包括：监控板，所述监控板表面有多个具有不同开口方向的嵌孔，所述监控板的参数与所述光刻板制造设备所使用的光刻板相同；检测元件，所述检测元件嵌入所述嵌孔内，所述检测元件的信号采集方向朝向所述嵌孔的开口。
3、在一些实施例中，所述参数包括形状和尺寸。
4、在一些实施例中，所述监控装置与所述光刻板制造设备所使用的光刻板的形状、尺寸、重量均相同。
5、在一些实施例中，所述检测元件通过无线网络与外部通信。
6、在一些实施例中，所述检测元件上有存储功能。
7、在一些实施例中，所述检测元件能够采集影像和/或声音和/或温度和/或湿度。
8、在一些实施例中，所述嵌孔的形状为圆柱形。
9、在一些实施例中，所述嵌孔的形状与放置在其内的所述检测元件的形状契合。
10、在一些实施例中，所述监控板的上表面、下表面以及侧面均具有所述嵌孔。
11、在一些实施例中，所述监控板至少一个表面上的嵌孔的个数为多个。
12、上述技术方案，提供了一种光刻板制造设备的监控装置。所述光刻板制造设备的监控装置包括：监控板，所述监控板表面有多个具有不同开口方向的嵌孔，所述监控板的参数与所述光刻板制造设备所使用的光刻板相同；检测元件，所述检测元件嵌入嵌孔内，所述检测元件的信号采集方向朝向所述嵌孔的开口。通过将与封闭的工艺腔室内部的光刻板相同尺寸的监控板放入工艺腔室内部，并通过所述监控板表面嵌孔内的检测元件采集信息并将信息传送到所述工艺腔室外部的设备，进而实现对封闭工艺腔室内部制造设备的监控，发现并定位产生缺陷的光刻板的光刻板制造设备的硬件原因。
13、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本实用新型。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。
1.一种光刻板制造设备的监控装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光刻板制造设备的监控装置，其特征在于，所述参数包括形状和尺寸。
3.根据权利要求2所述的光刻板制造设备的监控装置，其特征在于，所述监控装置与所述光刻板制造设备所使用的光刻板的形状、尺寸、重量均相同。
4.根据权利要求2所述的光刻板制造设备的监控装置，其特征在于，所述检测元件通过无线网络与外部通信。
5.根据权利要求2所述的光刻板制造设备的监控装置，其特征在于，所述检测元件上有存储功能。
6.根据权利要求2所述的光刻板制造设备的监控装置，其特征在于，所述检测元件能够采集影像和/或声音和/或温度和/或湿度。
7.根据权利要求2所述的光刻板制造设备的监控装置，其特征在于，所述嵌孔的形状为圆柱形。
8.根据权利要求2所述的光刻板制造设备的监控装置，其特征在于，所述嵌孔的形状与放置在其内的所述检测元件的形状契合。
9.根据权利要求2所述的光刻板制造设备的监控装置，其特征在于，所述监控板的上表面、下表面以及侧面均具有所述嵌孔。
10.根据权利要求9所述的光刻板制造设备的监控装置，其特征在于，所述监控板至少一个表面上的嵌孔的个数为多个。
