本发明涉及半导体精铣,尤其涉及一种镶嵌式金刚石刀具。
背景技术:
1、对于半导体产品中的盘类结构,常需要进行精铣切削。示例性地,半导体中晶圆是硅高度提纯的单晶硅制成的柱体,切割成片后成为cp盘,进而通过cp盘作为载体协助晶圆冷却,同时可传输到下部工序进行加工。在作业过程中,cp盘的平面度和光洁度的要求极高,通常未焊接时盖板壁约1-1.2mm厚。在具体作业时,通常是将两层盘体通过扩散焊进行连接,但是焊接后的产品材质会变软,如附图1所示,现有技术中常使用含有金刚石结构的金刚石刀具对其进行精铣以保证产品的平面度和光洁度。但是此类焊接的产品通常中间为空心结构,而现有技术中的金刚石刀具属于单刃切削,由此阻力小,刀尖更锋利,产品加工后类似镜面,且镜面的光洁度可达ra0.8。然而现有技术中的金刚石刀具的作业直径最大仅有20mm,不仅会在加工后产生较多接刀纹路影响产品的平面度和光洁度,而且加工时效长,大大增加了工厂成本。故如何提高半导体结构的精铣面积,减少接刀纹路,保证其平面度和光洁度是本领域人员需要解决的问题。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种镶嵌式金刚石刀具,以提高半导体结构的精铣面积,减少接刀纹路,保证其平面度和光洁度。
2、为达此目的,本发明采用以下技术方案:
3、镶嵌式金刚石刀具,用于精铣半导体产品,其中,该镶嵌式金刚石刀具包括:
4、刀柄,该刀柄上设置有第一容置槽,该第一容置槽的轴线与该刀柄的轴线平行且间隔设置;
5、刀体,该刀体上嵌设有金刚石,且该刀体能够插装于该第一容置槽中;
6、固定件,该固定件穿设该刀柄后能够抵压于该刀体外侧,该固定件用于锁定该刀体于该刀柄中。
7、作为可选地,其中该刀柄上还设置有安装孔,该安装孔连通于该第一容置槽,该固定件能够穿设该安装孔。
8、作为可选地,其中该安装孔的轴线与该第一容置槽的轴线相互垂直设置。
9、作为可选地,其中该刀柄包括刀柄杆部和刀柄头部,该刀柄杆部能够连接于铣床,该第一容置槽设置于该刀柄头部上。
10、作为可选地,其中该刀体上设置有第二容置槽,该金刚石嵌设于该第二容置槽中。
11、作为可选地,其中该刀体包括刀头和刀杆,该金刚石嵌设于该刀头上,该刀杆能够插装于该第一容置槽中。
12、作为可选地,其中该刀杆上设置有安装面,该固定件能够穿设该刀柄抵压于该安装面上。
13、作为可选地,其中该安装面设置为宽度为0.3mm的平面。
14、作为可选地,其中该固定件设置为高强度内六角凹端螺钉。
15、作为可选地,其中该刀柄上设置有螺孔,该固定件螺接于该刀柄。
16、本发明的有益效果:
17、本发明中刀体能够插装于第一容置槽中,且在第一容置槽与刀柄的偏心设置下,使得刀体也能够与刀柄偏心连接,以此通过刀柄和刀体的装夹方式可有效扩大刀体上金刚石的作业范围,以增大精铣面积,减少接刀纹路,并且装夹方式简单易操作。进一步地,固定件能够穿设刀柄后抵压于刀体外侧,以此锁定刀体于刀柄上,保证镶嵌式金刚石刀具整体的安装稳定性,使得二者在作业过程中不会发生脱落。由此在镶嵌式金刚石刀具的作业下能够有效扩大铣削面积,提高作业效率,并可大幅度减少接刀纹路,保证最终产品的平面度和光洁度,并在作业过程中不会发生振刀现象而影响加工后的效果。
1.镶嵌式金刚石刀具,用于精铣半导体产品,其特征在于,所述镶嵌式金刚石刀具包括:
2.根据权利要求1所述的镶嵌式金刚石刀具,其特征在于,所述刀柄(10)上还设置有安装孔(122),所述安装孔(122)连通于所述第一容置槽(121),所述固定件(30)能够穿设所述安装孔(122)。
3.根据权利要求2所述的镶嵌式金刚石刀具,其特征在于,所述安装孔(122)的轴线与所述第一容置槽(121)的轴线相互垂直设置。
4.根据权利要求1所述的镶嵌式金刚石刀具,其特征在于,所述刀柄(10)包括刀柄杆部(11)和刀柄头部(12),所述刀柄杆部(11)能够连接于铣床,所述第一容置槽(121)设置于所述刀柄头部(12)上。
5.根据权利要求1所述的镶嵌式金刚石刀具,其特征在于,所述刀体(20)上设置有第二容置槽(201),所述金刚石嵌设于所述第二容置槽(201)中。
6.根据权利要求1所述的镶嵌式金刚石刀具,其特征在于,所述刀体(20)包括刀头(21)和刀杆(22),所述金刚石嵌设于所述刀头(21)上,所述刀杆(22)能够插装于所述第一容置槽(121)中。
7.根据权利要求6所述的镶嵌式金刚石刀具,其特征在于,所述刀杆(22)上设置有安装面(202),所述固定件(30)能够穿设所述刀柄(10)抵压于所述安装面(202)上。
8.根据权利要求7所述的镶嵌式金刚石刀具,其特征在于,所述安装面(202)设置为宽度为0.3mm的平面。
9.根据权利要求1-8任一所述的镶嵌式金刚石刀具,其特征在于,所述固定件(30)设置为高强度内六角凹端螺钉。
10.根据权利要求1-8任一所述的镶嵌式金刚石刀具,其特征在于,所述刀柄(10)上设置有螺孔,所述固定件(30)螺接于所述刀柄(10)。
