本技术涉及半导体转运，具体是一种便于转运工件的机械手。
背景技术：
1、翘曲度是实测平面在空间中的弯曲程度，以翘曲量来表示，比如绝对平面的翘曲度为0，计算翘曲平面在高度方向最远的两点距离为最大翘曲变形量。晶圆是半导体的薄片，晶圆翘曲度影响着晶圆直接键合质量，翘曲度越小，表面越平整，克服弹性变形所做的工就越小，晶圆也就越容易键合。
2、在将晶圆进行翘曲度测量时，通常通过人工手动将晶圆拿取后放置于翘曲度测量设备的测量点位上，通过翘曲度测量设备对晶圆进行顶升旋转一周，使翘曲度测量设备对晶圆的边缘位置处进行数据测量，工人手动拿取劳动强度大。基于此，为了便于将晶圆转运至翘曲度测量设备上进行测量。因此，提出一种便于转运工件的机械手。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于：为了解决手动拿取晶圆劳动强度大的问题，提供一种便于转运工件的机械手。
2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于转运工件的机械手，包括底部安装有气动吸盘的转动臂，所述转动臂的底端远离所述气动吸盘的一端安装转动轴，所述转动轴的外壁安装有驱动所述转动轴进行升降转动的传动组件，所述传动组件包括升降机构和转动机构；
3、所述升降机构包括限位轴、限位筒和限位槽，所述升降机构用于带动所述转动轴转动时进行升降；
4、所述限位轴固定于所述转动轴的外壁；
5、所述限位筒固定于固定架的外壁，所述限位槽成型于所述限位筒的外壁，用于对所述限位轴进行限位；
6、所述转动机构包括传动筒、直齿轮、齿条杆，所述转动机构用于驱动所述转动轴进行转动；
7、所述传动筒套接于所述转动轴的外壁，用于带动所述转动轴转动；
8、所述直齿轮固定于所述传动筒的外壁，所述齿条杆啮合于所述直齿轮的外壁，用于驱动所述直齿轮带动所述传动筒转动。
9、作为本实用新型再进一步的方案：所述固定架上转动安装有输送带，且所述固定架上安装有驱动所述输送带运行的动力组件，所述固定架的一侧安装有用于对晶圆进行检测的翘曲度测试设备，所述固定架的外壁固定安装有电动推杆，所述电动推杆的输出端与所述齿条杆固定连接。
10、作为本实用新型再进一步的方案：所述转动机构还包括有传动块和传动槽，所述传动块成型于所述传动筒的内壁，所述传动槽开设于所述转动轴的外壁，并位于所述限位轴的下方。
11、作为本实用新型再进一步的方案：所述传动筒通过转动座、轴承进行转动安装，所述限位筒的内部底端成型有与所述转动轴的外壁相匹配的圆槽，所述传动筒的内壁与所述转动轴的外壁相匹配，所述传动块的外壁与所述传动槽的内壁相匹配。
12、作为本实用新型再进一步的方案：所述限位槽呈“v”型结构，所述限位轴的外壁与所述限位槽的内壁相匹配。
13、作为本实用新型再进一步的方案：所述固定架的外壁固定有供所述齿条杆限位滑动的托架。
14、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过设置传动组件，实现气动吸盘吸附输送带上的晶圆，此时输送带停止运转，然后由转动臂反向转动，使气动吸盘带动晶圆移动至翘曲度测试设备的测试位置处。气动吸盘释放晶圆后，转动臂再次反向转动，移动至翘曲度测试设备的一侧，使翘曲度测试设备对晶圆进行检测。检测完成后，气动吸盘将晶圆转运至输送带上，气动吸盘释放晶圆后，输送带继续运输晶圆，使下一个待检测晶圆位于气动吸盘的底端，气动吸盘吸附晶圆后，再将晶圆移动至翘曲度测试设备的测试位置处。如此往复循环，实现对晶圆进行转运检测，无需人工手动搬运，方便快捷。
1.一种便于转运工件的机械手，包括底部安装有气动吸盘（2）的转动臂（1），其特征在于，所述转动臂（1）的底端远离所述气动吸盘（2）的一端安装转动轴（6），所述转动轴（6）的外壁安装有驱动所述转动轴（6）进行升降转动的传动组件，所述传动组件包括升降机构（7）和转动机构（8）；
2.根据权利要求1所述的一种便于转运工件的机械手，其特征在于，所述固定架（5）上转动安装有输送带（4），且所述固定架（5）上安装有驱动所述输送带（4）运行的动力组件，所述固定架（5）的一侧安装有用于对晶圆进行检测的翘曲度测试设备（3），所述固定架（5）的外壁固定安装有电动推杆（9），所述电动推杆（9）的输出端与所述齿条杆（805）固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种便于转运工件的机械手，其特征在于，所述转动机构（8）还包括有传动块（802）和传动槽（803），所述传动块（802）成型于所述传动筒（801）的内壁，所述传动槽（803）开设于所述转动轴（6）的外壁，并位于所述限位轴（701）的下方。
4.根据权利要求3所述的一种便于转运工件的机械手，其特征在于，所述传动筒（801）通过转动座、轴承进行转动安装，所述限位筒（702）的内部底端成型有与所述转动轴（6）的外壁相匹配的圆槽，所述传动筒（801）的内壁与所述转动轴（6）的外壁相匹配，所述传动块（802）的外壁与所述传动槽（803）的内壁相匹配。
5.根据权利要求1所述的一种便于转运工件的机械手，其特征在于，所述限位槽（703）呈“v”型结构，所述限位轴（701）的外壁与所述限位槽（703）的内壁相匹配。
6.根据权利要求1所述的一种便于转运工件的机械手，其特征在于，所述固定架（5）的外壁固定有供所述齿条杆（805）限位滑动的托架。
