一种无尘室真空泵油脂更换治具的制作方法

专利2026-07-16  31


本技术涉及真空泵,尤其涉及一种无尘室真空泵油脂更换治具。


背景技术:

1、在平板显示、半导体工厂内物理气相沉积、化学气相沉积、离子注入等设备生产过程中,需要采用真空泵提供高质量的真空环境。

2、在真空泵的使用过程中,由于设备腔内气氛复杂,裂解以及材料加工的过程中,会产生大量的碳粉、焦油、金属微粒以及其他有机物杂质,这些杂质会随着气体进入真空泵中,污染泵内的润滑油。这些被污染的润滑油,粘度急剧下降,无法维持工艺所需的真空度要求;同时亦会对泵内的叶轮、齿轮等转子活动部件造成磨损,减少设备的使用寿命,需要及时进行更换,平板显示、半导体厂的真空泵,一般放置在无尘车间内,现有的油脂更换技术大多都只是通过给真空泵连接油管进行更换,缺乏在油脂更换时对真空泵进行固定,若是不对真空泵进行稳固固定,难以保证在油脂更换过程在真空泵不会产生晃荡而油脂污染无尘室,为此提出一种无尘室真空泵油脂更换治具来解决上述问题。


技术实现思路

1、为了弥补以上不足,本实用新型提供了一种无尘室真空泵油脂更换治具,旨在改善了现有技术中更换油脂时真空泵不固定会产生晃动而污染无尘室的问题。

2、为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种无尘室真空泵油脂更换治具,包括支撑座,所述支撑座的左侧底部固定连接有安装板,所述安装板的顶部固定连接有电机一,所述电机一的输出端固定连接有双向螺纹杆,所述双向螺纹杆的外周螺纹连接有两个活动块,两个所述活动块的顶部均固定连接有固定板,两个所述固定板之间滑动连接有泵体,所述泵体前侧底部固定连接有排油管,所述支撑座的底部设有升降组件。

3、进一步地,所述升降组件包括多个伸缩杆,多个所述伸缩杆均匀分布的固定连接在所述支撑座的底部,多个所述伸缩杆底部固定连接有一个底座,所述底座内部前后两侧转动连接有齿轮,所述底座内部前后两次滑动连接有两个齿条,两个所述齿轮分别与两个所述齿条相啮合,所述底座内设有驱动组件。

4、进一步地,所述驱动组件包括电机二,所述电机二固定连接在所述底座内部后侧,所述电机二输出端固定连接有主动带轮,所述底座内部前侧转动连接有固定杆,所述固定杆外周固定连接有从动带轮,所述主动带轮与所述从动带轮外周套设有皮带。

5、进一步地,所述支撑座的内部开设有滑槽,两个所述活动块具体滑动连接在所述滑槽的内部。

6、进一步地,所述主动带轮与所述从动带轮均与两个所述齿轮固定连接。

7、进一步地,所述齿条的外周滑动连接有限位板,所述限位板固定连接在所述底座的内底部。

8、进一步地,所述齿条的底部固定连接有限位块。

9、进一步地,所述底座的底部固定连接有多个均匀分布的支撑脚。

10、本实用新型具有如下有益效果:

11、1、本实用新型中,通过安装板、电机一、双向螺纹杆、活动块、固定板之间的相互配合,通过电机一驱动双向螺纹杆转动,当双向螺纹杆转动时,两个活动块相向移动,从而两个固定板固定泵体,防止在更换油脂过程中真空泵晃动污染无尘室。

12、2、本实用新型中,通过驱动组件与升降组件之间的相互配合,利用电机二驱动主动带轮转动,通过皮带传递运动从动带轮同时转动,当主动带轮与从动带轮时,两个齿轮同速转动,从而齿条上升顶升支撑座达到升降的效果。



技术特征:

1.一种无尘室真空泵油脂更换治具,包括支撑座(1),其特征在于:所述支撑座(1)的左侧底部固定连接有安装板(2),所述安装板(2)的顶部固定连接有电机一(3),所述电机一(3)的输出端固定连接有双向螺纹杆(4),所述双向螺纹杆(4)的外周螺纹连接有两个活动块(6),两个所述活动块(6)的顶部均固定连接有固定板(7),两个所述固定板(7)之间滑动连接有泵体(8),所述泵体(8)前侧底部固定连接有排油管(9),所述支撑座(1)的底部设有升降组件。

2.根据权利要求1所述的一种无尘室真空泵油脂更换治具,其特征在于:所述升降组件包括多个伸缩杆(11),多个所述伸缩杆(11)均匀分布的固定连接在所述支撑座(1)的底部,多个所述伸缩杆(11)底部固定连接有一个底座(10),所述底座(10)内部前后两侧转动连接有齿轮(18),所述底座(10)内部前后两次滑动连接有两个齿条(19),两个所述齿轮(18)分别与两个所述齿条(19)相啮合,所述底座(10)内设有驱动组件。

3.根据权利要求2所述的一种无尘室真空泵油脂更换治具,其特征在于:所述驱动组件包括电机二(13),所述电机二(13)固定连接在所述底座(10)内部后侧,所述电机二(13)输出端固定连接有主动带轮(14),所述底座(10)内部前侧转动连接有固定杆(17),所述固定杆(17)外周固定连接有从动带轮(16),所述主动带轮(14)与所述从动带轮(16)外周套设有皮带(15)。

4.根据权利要求1所述的一种无尘室真空泵油脂更换治具,其特征在于:所述支撑座(1)的内部开设有滑槽(5),两个所述活动块(6)具体滑动连接在所述滑槽(5)的内部。

5.根据权利要求3所述的一种无尘室真空泵油脂更换治具,其特征在于:所述主动带轮(14)与所述从动带轮(16)均与两个所述齿轮(18)固定连接。

6.根据权利要求2所述的一种无尘室真空泵油脂更换治具,其特征在于:所述齿条(19)的外周滑动连接有限位板(20),所述限位板(20)固定连接在所述底座(10)的内底部。

7.根据权利要求2所述的一种无尘室真空泵油脂更换治具,其特征在于:所述齿条(19)的底部固定连接有限位块(21)。

8.根据权利要求2所述的一种无尘室真空泵油脂更换治具,其特征在于:所述底座(10)的底部固定连接有多个均匀分布的支撑脚(12)。


技术总结
本技术涉及真空泵技术领域,公开了一种无尘室真空泵油脂更换治具,包括支撑座,所述支撑座的左侧底部固定连接有安装板,所述安装板的顶部固定连接有电机一,所述电机一的输出端固定连接有双向螺纹杆,所述双向螺纹杆的外周螺纹连接有两个活动块,两个所述活动块的顶部均固定连接有固定板,两个所述固定板之间滑动连接有泵体,所述泵体前侧底部固定连接有排油管,所述升降组件包括多个伸缩杆,多个所述伸缩杆均匀分布的固定连接在所述支撑座的底部。本技术中,通过安装板、电机一、双向螺纹杆、活动块、固定板之间的相互配合,通过电机一驱动双向螺纹杆转动,当双向螺纹杆转动时,两个活动块相向移动,从而两个固定板固定泵体。

技术研发人员:张桂华,薛聪,黄伟,刘畅,伊小念
受保护的技术使用者:深圳市云在上半导体材料有限公司
技术研发日:20231226
技术公布日:2024/7/25
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