自动清理刻蚀结晶的装置的制作方法

专利2026-07-01  12


本技术涉及太阳电池,具体而言,本技术涉及一种自动清理刻蚀结晶的装置。


背景技术:

1、目前在太阳电池的背抛光(即刻蚀工序)技术中,基本采用的是酸抛(硝酸+氢氟酸混合溶液)和碱(氢氧化钠或者氢氧化钾)抛光这两种方式。

2、在酸抛技术的生产线中,酸抛的稳定性对于电池效率及a级率都有着至关重要的影响,影响a级品率的主要因素有滚轮印、麻点、皮带印等问题,造成这些不良问题的主要原因为:硅片携带刻蚀槽中的刻蚀液进入到了后续的水槽、烘干槽、下料皮带上,导致后续工艺被酸污染,从而影响电池的a级品率。硅片携带酸的主要原因是:酸溶液与硅片反应生成的结晶会部分附着在刻蚀槽与水洗槽之间的挡板上,如果挡板上的结晶不能够被及时清理掉,会越聚越多,很容易在硅片行进过程中剐蹭硅片,导致堵片带液,导致后续槽子、轮滚、皮带等被污染,从而导致批量不良,需要长时间进行夹片磨滚轮等,导致长时间宕机,严重影响电池片良率以及产量。另外,在生产过程中,堆积起来的结晶由于机台的振动、抽风的影响,难免有小部分会掉落下来,落在行进中的硅片上或转动的轮滚上,会造成卡堵片或者滚轮被污染,导致电池片有麻点、滚轮印等问题。

3、目前的解决方法是定时停机清理,但是停机清理一般需要20~30分钟的时间,清理完成后再复机生产。由于较长时间停机,会导致刻蚀槽中的药液活性下降,复机生产前期的片子减重及反射率都可能会受到影响,需要手动补加化学品药液,一方面增加了化学品的使用成本,另一方面由于复机前期片子的减重及反射率稳定性较差,从而影响电池效率。而且定时停机清理的频次太高,大概3天/次,严重影响产量。


技术实现思路

1、本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此,本实用新型的目的在于提出一种自动清理刻蚀结晶的装置。本实用新型解决了结晶在正常生产过程中的自动清理,确保结晶会被及时的清理掉,不会堆积起来,从而保证生产的稳定性,提高了电池片的a级品率及电池效率。

2、为了实现上述目的,本实用新型提出了一种自动清理刻蚀结晶的装置。根据本实用新型的实施例,所述自动清理刻蚀结晶的装置包括:

3、刻蚀槽;

4、溢流槽,所述溢流槽与所述刻蚀槽通过第一挡板间隔;

5、结晶废液槽,所述结晶废液槽与所述溢流槽通过第二挡板间隔,且所述第二挡板沿着所述装置的高度方向朝上延伸,所述第二挡板上设有通槽,以使硅片能从所述通槽中通过;

6、冲洗单元,所述冲洗单元包括供水管路、冲洗管路和喷嘴,所述供水管路与所述冲洗管路相连通,所述冲洗管路设置在所述通槽上方的所述第二挡板上,所述喷嘴设置在所述冲洗管路上;

7、水洗槽,所述水洗槽与所述结晶废液槽通过第三挡板间隔。

8、根据本实用新型上述实施例的自动清理刻蚀结晶的装置,有效地控制了第二挡板上聚集反应生成的结晶物,避免了结晶在第二挡板上的堆积,确保了硅片在行进路程上的顺畅,保证了机台的运行稳定性,大幅度改善了电池片由于带液污染导致的不良、宕机、产量损失等等。在整个电池片(例如单晶perc)的生产中,刻蚀工序起到非常重要的关键性作用,这其中还包括有需要清理结晶导致的产量损失以及刻蚀液稳定性波动,该装置一次性将这些影响、损失全部消除,确保了产线的稳定生产,大幅度提升了电池a级品率。同时,采用该装置进行冲洗结晶的过程中,电池片可正常生产,不需要停机清理结晶,有效保证了电池片在正常生产过程中的结晶副产物的及时清理,保证了刻蚀机台稳定运行状态的同时也大大节省了原来需要停机清理结晶的时间,进而保证了电池a级品率的同时还提升了产量。

9、另外,根据本实用新型上述实施例的自动清理刻蚀结晶的装置还可以具有如下附加的技术特征:

10、在本实用新型的一些实施例中,所述水洗槽包括第一水洗槽和第二水洗槽,所述第一水洗槽与所述结晶废液槽通过所述第三挡板间隔,所述第二水洗槽与所述第一水洗槽通过第四挡板间隔。

11、在本实用新型的一些实施例中,所述通槽上方的所述第二挡板的两侧均设有所述冲洗管路,每侧的所述冲洗管路上均设有多个喷嘴。

12、在本实用新型的一些实施例中,所述供水管路通过双通接头连通所述第二挡板两侧的所述冲洗管路。

13、在本实用新型的一些实施例中,所述喷嘴所在方向与所述第二挡板之间的夹角α为30°≤α≤60°。

14、在本实用新型的一些实施例中,所述结晶废液槽的底部或者下部设有排废液口。

15、在本实用新型的一些实施例中,所述通槽下方的所述第二挡板上设有通孔,用于贯通所述溢流槽与所述结晶废液槽。

16、在本实用新型的一些实施例中,所述溢流槽的底部设有台阶,沿着远离所述结晶废液槽的方向,所述台阶的高度依次递增,且所述通孔设置在所述第二挡板的底部。

17、在本实用新型的一些实施例中,所述喷嘴与所述冲洗管路之间设置有阀门;所述装置还包括,plc控制单元,所述plc控制单元与所述阀门相连。

18、在本实用新型的一些实施例中,所述溢流槽的上方、所述第一水洗槽的上方和所述第二水洗槽的上方各自独立地设置有喷淋装置。

19、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。



技术特征:

1.一种自动清理刻蚀结晶的装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的自动清理刻蚀结晶的装置,其特征在于,所述水洗槽包括第一水洗槽和第二水洗槽,所述第一水洗槽与所述结晶废液槽通过所述第三挡板间隔,所述第二水洗槽与所述第一水洗槽通过第四挡板间隔。

3.根据权利要求1所述的自动清理刻蚀结晶的装置,其特征在于,所述通槽上方的所述第二挡板的两侧均设有所述冲洗管路,每侧的所述冲洗管路上均设有多个喷嘴。

4.根据权利要求3所述的自动清理刻蚀结晶的装置,其特征在于,所述供水管路通过双通接头连通所述第二挡板两侧的所述冲洗管路。

5.根据权利要求3所述的自动清理刻蚀结晶的装置,其特征在于,所述喷嘴所在方向与所述第二挡板之间的夹角α为30°≤α≤60°。

6.根据权利要求1所述的自动清理刻蚀结晶的装置,其特征在于,所述结晶废液槽的底部或者下部设有排废液口。

7.根据权利要求1所述的自动清理刻蚀结晶的装置,其特征在于,所述通槽下方的所述第二挡板上设有通孔,用于贯通所述溢流槽与所述结晶废液槽。

8.根据权利要求7所述的自动清理刻蚀结晶的装置,其特征在于,所述溢流槽的底部设有台阶,沿着远离所述结晶废液槽的方向,所述台阶的高度依次递增,且所述通孔设置在所述第二挡板的底部。

9.根据权利要求1所述的自动清理刻蚀结晶的装置,其特征在于,所述喷嘴与所述冲洗管路之间设置有阀门;

10.根据权利要求2所述的自动清理刻蚀结晶的装置,其特征在于,所述溢流槽的上方、所述第一水洗槽的上方和所述第二水洗槽的上方各自独立地设置有喷淋装置。


技术总结
本技术公开了自动清理刻蚀结晶的装置,包括:刻蚀槽;溢流槽,溢流槽与刻蚀槽通过第一挡板间隔;结晶废液槽,结晶废液槽与溢流槽通过第二挡板间隔,且第二挡板沿着装置的高度方向朝上延伸,第二挡板上设有通槽,以使硅片能从通槽中通过;冲洗单元,冲洗单元包括供水管路、冲洗管路和喷嘴,供水管路与冲洗管路相连通,冲洗管路设置在通槽上方的第二挡板上,喷嘴设置在冲洗管路上;水洗槽,水洗槽与结晶废液槽通过第三挡板间隔。本技术解决了结晶在正常生产过程中的自动清理,确保结晶会被及时的清理掉,不会堆积起来,从而保证生产的稳定性,提高了电池片的A级品率及电池效率。

技术研发人员:王锦乐,刘开,王士贵,张玉前,寇继成,徐光,刘耀扬
受保护的技术使用者:通威太阳能(成都)有限公司
技术研发日:20231007
技术公布日:2024/7/25
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