本公开涉及真空镀膜,具体而言,涉及一种蒸发舟及蒸发源系统。
背景技术:
1、采用送丝加料的电阻加热式舟型蒸发源是一种广泛使用的镀铝蒸发源,蒸发舟通过直流或交流电加热,通过辐射和传导热使送丝机构送来的铝丝加热熔化,进而给蒸发源上方的基材镀上一层铝膜。
2、这种蒸发源容易产生溅铝现象,且随着镀膜厚度的增加表现尤为明显。严重的溅铝会导致铝膜表面产生飞溅点和穿孔,影响产品外观和性能,妨碍产品的产量提升和客户的使用效果。
3、因此,蒸镀材料飞溅问题成为蒸发镀膜过程中亟需解决的问题。
技术实现思路
1、本公开的目的在于针对相关技术中的技术问题,提供一种蒸发舟。具体方案如下:
2、本公开实施例提供一种蒸发舟,包括:
3、蒸发舟本体,所述蒸发舟本体构造为长方体结构,具有顶面和底面;
4、容置槽,沿所述蒸发舟本体的顶面向所述蒸发舟本体的底面方向形成,配置为容置待蒸发物;
5、其中,所述容置槽具有平行于所述蒸发舟本体各棱的长度、宽度和深度,所述长度与宽度的比为2.5~4,深度为1~2mm。
6、在一些实施中,所述蒸发舟本体具有沿长度方向设置的第一端部和第二端部,所述第一端部具有第一电极,所述第二端部具有第二电极,所述第一电极与电源的正极或负极连接,所述第二电极与电源的负极或正极连接。
7、在一些实施中,还包括:
8、第一挡板,设置于所述第一电极的远离所述第一端部的一侧;
9、第二挡板,设置于所述第二电极的远离所述第二端部的一侧;
10、其中,所述第一挡板和第二挡板配置为防止所述待蒸发物飞溅。
11、在一些实施中,还包括:
12、通孔,设置于所述第一挡板或所述第二挡板,配置为供所述待蒸发物通过。
13、在一些实施中,所述通孔设置于所述第一挡板或第二挡板靠近所述蒸发舟本体的一端。
14、在一些实施中,所述通孔具有预设尺寸,所述预设尺寸配置为能够使所述待蒸发物在传输方向的10~20度范围内可调。
15、在一些实施中,还包括:
16、盖板,设置于所述蒸发舟本体上方,配置为防止所述待蒸发物飞溅。
17、在一些实施中,所述盖板在成膜过程中开度可调,其可调节范围为0开度、1/4开度、1/2开度、3/4开度和全开度。
18、在一些实施中,还包括:
19、第一冷却装置,设置于所述第一电极;
20、第二冷却装置,设置于所述第二电极;
21、其中,所述第一冷却装置和第二冷却装置通过三级水进行冷却。
22、本公开还提供一种蒸发源系统,包括如上任意一项所述的蒸发舟。
23、本公开实施例的上述方案与相关技术相比,至少具有以下有益效果:
24、本公开蒸发舟设置为具有长宽比为2.5~4,深度为1~2mm的短舟,由于减小了蒸发舟的长宽比,使得待蒸发物能够快速的均匀的分布于容置槽内,从而减少了待蒸发物的飞溅,提高产品良率。
1.一种蒸发舟,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的蒸发舟,其特征在于,所述蒸发舟本体具有沿长度方向设置的第一端部和第二端部,所述第一端部具有第一电极,所述第二端部具有第二电极,所述第一电极与电源的正极或负极连接,所述第二电极与电源的负极或正极连接。
3.根据权利要求2所述的蒸发舟,其特征在于,还包括:
4.根据权利要求3所述的蒸发舟,其特征在于,还包括:
5.根据权利要求4所述的蒸发舟,其特征在于,所述通孔设置于所述第一挡板或第二挡板靠近所述蒸发舟本体的一端。
6.根据权利要求4所述的蒸发舟,其特征在于,所述通孔具有预设尺寸,所述预设尺寸配置为能够使所述待蒸发物在传输方向的10~20度范围内可调。
7.根据权利要求1所述的蒸发舟,其特征在于,还包括:
8.根据权利要求7所述的蒸发舟,其特征在于,
9.根据权利要求2所述的蒸发舟,其特征在于,还包括:
10.一种蒸发源系统,其特征在于,包括权利要求1-9任意一项所述的蒸发舟。
