一种TFT-LCD显示屏光刻胶剥离方法与流程

专利2026-06-21  19


本发明涉及显示屏生产,具体地涉及一种tft-lcd显示屏光刻胶剥离方法。


背景技术:

1、tft-lcd显示屏主要由彩色滤光片(cf)基板和薄膜晶体管(tft)阵列基板间隔一定距离对组且密封周边形成,这种由两块基板对盒形成的结构也称为液晶盒,盒内填充液晶材料。

2、在制造彩色滤光片(cf)基板和薄膜晶体管(tft)阵列基板的过程中都会使用到光刻胶,通常在基板上均匀涂布一层光刻胶,使用掩模板对基板进行曝光,将已曝光的基板采用显影液对其进行显影处理,经过显影工序去除未感光部分的光刻胶,对没有覆盖光刻胶的区域进行刻蚀处理,最后使用剥离液剥离基板上剩余的光刻胶。

3、通常,剥离液通过喷淋的方式喷在基板上。彩色滤光片(cf)基板和薄膜晶体管(tft)阵列基板在不同制造工序,光刻胶的使用量不同;如图1所示,薄膜晶体管阵列基板的有源层制造工序,经过光刻胶涂覆、曝光、显影、蚀刻后,剩余的光刻胶留在有源层上;如图2所示,薄膜晶体管阵列基板的画素电极制造工序,剩余的光刻胶留在画素电极上。在剥离液的喷淋使用量是固定时,对于较少的光刻胶,如图1所示,会导致光刻胶剥离干净后继续喷淋剥离液,导致剥离液使用浪费;对于较多的光刻胶,如图2所示,会出现光刻胶残留、剥离不干净的状况,这就要返工再次喷淋剥离液,在大量基板需要返工的情况,效率十分低下。所以针对基板上光刻胶的剩余量不同,需要剥离液的喷淋使用量不同;在剥离液喷淋的速率不变的情况下,剥离液喷淋使用量与喷淋时间成正比。

4、因此,如何得到光刻胶剥离液的喷淋时间,在符合光刻胶剥离干净的条件下,节约剥离液,提高效率,是目前本领域亟待解决的一个技术问题。


技术实现思路

1、本发明要解决的技术问题,在于提供一种tft-lcd显示屏光刻胶剥离方法,得到光刻胶剥离液的喷淋时间,在符合光刻胶剥离干净的条件下,节约剥离液,提高效率。

2、本发明是这样实现的:一种tft-lcd显示屏光刻胶剥离方法,包括以下步骤:

3、s1、设定初始单次喷淋时间、调整喷淋时间与基板喷淋编号;

4、s2、将涂覆有光刻胶的显示屏基板放置在运输装置的入口;

5、s3、所述运输装置使所述显示屏基板移动到剥离液喷淋装置;

6、s4、所述剥离液喷淋装置的喷头朝着所述显示屏基板喷淋光刻胶剥离液,经过所述初始单次喷淋时间,所述剥离液喷淋装置的喷头停止喷淋;

7、s5、所述显示屏基板移动到清洗装置,所述清洗装置的喷头朝着所述显示屏基板喷洒清洗液,将位于所述显示屏基板上的光刻胶和剥离液的反应液清洗去除;

8、s6、所述显示屏基板移动到监测装置;

9、s7、监测所述显示屏基板的光刻胶是否剥离干净;

10、当剥离干净时,所述显示屏基板移动到干燥装置,转到s8;

11、当没有剥离干净时,所述显示屏基板退回到剥离液喷淋装置,所述剥离液喷淋装置的喷头工作时间从所述初始单次喷淋时间切换为所述调整喷淋时间,并累计属于调整喷淋时间的喷淋次数,转到s3;

12、s8、所述干燥装置的喷头朝着所述显示屏基板喷射热气,对所述显示屏基板进行干燥;

13、s9、所述显示屏基板到达所述运输装置的出口;

14、s10、将所述调整喷淋时间与所述喷淋次数的乘积,再加上所述初始单次喷淋时间,作为目标喷淋时间,再将所述目标喷淋时间与所述基板喷淋编号绑定,所述剥离液喷淋装置的喷头工作时间切换为所述目标喷淋时间。

15、进一步地,当新增基板喷淋编号时,所述剥离液喷淋装置的喷头工作时间切换回所述初始单次喷淋时间。

16、进一步地,所述s1具体是,在工业计算机设定初始单次喷淋时间与基板喷淋编号,所述工业计算机控制所述运输装置、剥离液喷淋装置、清洗装置、监测装置、干燥装置的运行状态。

17、进一步地,所述监测装置是工业相机,所述工业计算机预先保存已去除光刻胶的显示屏基板图像作为基准图像;

18、在所述s7之中,监测所述显示屏基板的光刻胶是否剥离干净,具体是:所述工业相机拍摄所述显示屏基板,再将拍摄图像发给所述工业计算机,所述工业计算机将所述拍摄图像与所述基准图像进行比较;

19、当所述拍摄图像与所述基准图像一致时,得出所述显示屏基板的光刻胶剥离干净;

20、当所述拍摄图像与所述基准图像不一致时,得出所述显示屏基板的光刻胶没有剥离干净。

21、进一步地,所述工业计算机保存有显示屏基板描述信息,所述显示屏基板描述信息包括显示屏基板的尺寸、类型和光刻胶制程工序,所述显示屏基板描述信息与所述基板喷淋编号绑定。

22、进一步地,所述剥离液喷淋装置包括喷淋管、液泵、储液罐、液位传感器与指示器,所述喷淋管的入口与所述液泵的出口连接,所述液泵的入口与所述储液罐的出口连接,所述液位传感器安装在所述储液罐的内部,所述工业计算机与所述液泵、液位传感器、指示器电连接,所述储液罐用于储存光刻胶剥离液;

23、当所述液位传感器检测到所述储液罐里的光刻胶剥离液不足时,所述液泵停止工作,所述工业计算机停止计算所述初始单次喷淋时间,所述指示器发出补液指示信号。

24、进一步地,所述s7具体为:

25、监测所述显示屏基板的光刻胶是否剥离干净;

26、当剥离干净时,所述显示屏基板移动到干燥装置,将所述初始单次喷淋时间复制为参考时间,再根据所述调节喷淋时间,减少所述初始单次喷淋时间,转到s8;

27、当没有剥离干净时,所述显示屏基板退回到剥离液喷淋装置,所述剥离液喷淋装置的喷头工作时间从所述初始单次喷淋时间切换为所述调整喷淋时间,并累计属于调整喷淋时间的喷淋次数,转到s3;

28、所述s10具体为:

29、当所述参考时间不为空值时,将所述参考时间作为目标喷淋时间;

30、当所述参考时间为空值时,将所述调整喷淋时间与所述喷淋次数的乘积,再加上所述初始单次喷淋时间,作为目标喷淋时间;

31、最后将所述目标喷淋时间与所述基板喷淋编号绑定,所述剥离液喷淋装置的喷头工作时间切换为所述目标喷淋时间。

32、与背景技术相比,本发明的优点在于:同一生产工序的多个显示屏基板进入光刻胶剥离阶段,归属于相同的基板喷淋编号,选择相同的光刻胶剥离液的喷淋时间,剥离液喷淋的速率不变,由其中一个显示屏基板经过剥离液喷淋装置和监测装置的配合,得出目标喷淋时间,之后同一批次的显示屏基板都按照目标喷淋时间经过剥离液喷淋装置。不同批次的显示屏基板归属于不同的编号,当新增基板喷淋编号时,就要重新计算目标喷淋时间,根据实际的基板上光刻胶的剩余量,自动选择相应地剥离液的喷淋使用量,在符合光刻胶剥离干净的条件下,节约剥离液,提高效率。



技术特征:

1.一种tft-lcd显示屏光刻胶剥离方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种tft-lcd显示屏光刻胶剥离方法,其特征在于,当新增基板喷淋编号时,所述剥离液喷淋装置的喷头工作时间切换回所述初始单次喷淋时间。

3.根据权利要求1所述的一种tft-lcd显示屏光刻胶剥离方法,其特征在于,所述s1具体是,在工业计算机设定初始单次喷淋时间与基板喷淋编号,所述工业计算机控制所述运输装置、剥离液喷淋装置、清洗装置、监测装置、干燥装置的运行状态。

4.根据权利要求3所述的一种tft-lcd显示屏光刻胶剥离方法,其特征在于,所述监测装置是工业相机,所述工业计算机预先保存已去除光刻胶的显示屏基板图像作为基准图像;

5.根据权利要求3所述的一种tft-lcd显示屏光刻胶剥离方法,其特征在于,所述工业计算机保存有显示屏基板描述信息,所述显示屏基板描述信息包括显示屏基板的尺寸、类型和光刻胶制程工序,所述显示屏基板描述信息与所述基板喷淋编号绑定。

6.根据权利要求3所述的一种tft-lcd显示屏光刻胶剥离方法,其特征在于,所述剥离液喷淋装置包括喷淋管、液泵、储液罐、液位传感器与指示器,所述喷淋管的入口与所述液泵的出口连接,所述液泵的入口与所述储液罐的出口连接,所述液位传感器安装在所述储液罐的内部,所述工业计算机与所述液泵、液位传感器、指示器电连接,所述储液罐用于储存光刻胶剥离液;

7.根据权利要求1所述的一种tft-lcd显示屏光刻胶剥离方法,其特征在于,所述s7具体为:


技术总结
本发明涉及显示屏生产技术领域,提供一种TFT‑LCD显示屏光刻胶剥离方法,包括以下步骤:S1、设定初始单次喷淋时间、调整喷淋时间与基板喷淋编号;S2、将涂覆有光刻胶的显示屏基板放置在运输装置的入口;S3、显示屏基板移动到剥离液喷淋装置;S4、剥离液喷淋装置的喷头朝着显示屏基板喷淋光刻胶剥离液;S5、显示屏基板移动到清洗装置;S6、显示屏基板移动到监测装置;S7、监测光刻胶是否剥离干净;S8、对显示屏基板进行干燥;S9、显示屏基板到达运输装置的出口;S10、得到目标喷淋时间。本发明的优点在于:自动选择相应地剥离液的喷淋使用量,在符合光刻胶剥离干净的条件下,节约剥离液,提高效率。

技术研发人员:林秋玉,史郭涛,崔文涛
受保护的技术使用者:福建钰融科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/7/25
转载请注明原文地址: https://bbs.8miu.com/read-441391.html

最新回复(0)