一种电子及半导体精密制程水质自动控制系统的制作方法

专利2026-06-13  1


本申请涉及水质调节,具体而言,涉及一种电子及半导体精密制程水质自动控制系统。


背景技术:

1、电子及半导体精密制程特殊水质控制系统,因为该系统中存在多种材质:铜、碳钢、不锈钢、锌,而不同材质对于水质要求具有差异,铜管道具有抗腐蚀性能、耐高温性和良好的导热性,铜对水质要求较高,特别是对酸性和碱性水质更为敏感。硬水(含有较多的钙和镁)可能导致铜管腐蚀并释放出有害物质。因此,对于铜管道,水质应该是中性的,且不含过多的溶解性固体或腐蚀性物质;碳钢管道具有较高的强度和耐用性,对于碳钢管道,主要要求水质不含过多的腐蚀性物质或颗粒物,以防止管道腐蚀和堵塞,水质的ph值应处于中性范围,避免过高或过低的ph值;不锈钢管道具有优异的耐腐蚀性能和抗氧化性能,不锈钢管道对水质的要求相对较低,但仍然需要注意水质中是否存在过多的氯、硫化物等可能对不锈钢产生腐蚀的物质;锌管道具有一定的抗腐蚀性能和较低的成本,水质对于锌管道的要求较为基本,不过应注意避免过高的ph值和过多的溶解性固体,以免对管道造成腐蚀或堵塞。

2、鉴于上述原因,目前常规的水质调节系统无法适配电子及及半导体精密制程特殊水质控制,其对于水质控制的精确度要求较高,因此本领域技术人员需要对现有的水质调节系统进行改进,以符合上述要求。


技术实现思路

1、本申请的主要目的在于提供一种电子及半导体精密制程水质自动控制系统,对于水质进行精准调节以适配系统种不同材质管道对于水质的要求。

2、为了实现上述目的,第一方面,本申请提供了一种电子及半导体精密制程水质自动控制系统,包括水处理组件、水质调节组件以及控制组件;

3、所述水处理组件包括水质调节箱、与所述水质调节箱相连通的出水管道、进水管道、补水管道以及排水管道、设置于所述出水管道或者所述进水管道上的水泵、连通所述排水管道与所述进水管道的连接管道;

4、所述水质调节组件包括设置于所述进水管道上的ph检测仪、电导率检测仪、氯离子检测器、生物灭菌剂添加装置、缓蚀剂添加装置、设置于所述水质调节箱内的水压检测仪,所述进水管道上设置有检测支管,所述ph检测仪设置于所述检测支管上,所述检测支管上还设置有压力表;

5、所述控制组件包括设置于所述进水管道上的第一电磁阀、设置于所述连接管道上的第二电磁阀、设置于所述补水管道上的第三电磁阀、设置于所述排水管道上的第四电磁阀、设置于所述检测支管上的压力调节阀;

6、还包括控制器,所述控制器被配置为:氯离子检测器检测氯离子含量超过预设值时,控制所述第一电磁阀、所述第四电磁阀关闭,控制所述第二电磁阀、所述第三电磁阀开启,并控制所述排水管道的排水量以及所述补水管道的补水量使得所述水压检测仪的检测值处于预设范围内;ph检测仪的检测值低于预设值时,控制所述生物灭菌剂添加装置向所述进水管道内添加生物灭菌剂,ph检测仪的检测值高于预设值时,控制所述第二电磁阀关闭,控制所述第一电磁阀、所述第三电磁阀、第四电磁阀开启,并控制所述排水管道的排水量以及所述补水管道的补水量使得所述水压检测仪的检测值处于预设范围内;电导率检测仪的检测值高于预设值时,控制所述缓蚀剂添加装置向所述进水管道内添加缓蚀剂;根据所述压力标的检测值,调节所述压力调节阀使得所述检测支管内的水压处于预设范围之内。

7、进一步改进的是,所述补水管道上设置有用于检测补水量的补水流量计。

8、进一步改进的是,ph检测仪的检测值高于预设值时,所述控制器还配置为根据所述补水流量计检测值,按照缓蚀剂与补充水量的预设比值,控制所述缓蚀剂添加装置向所述进水管道内添加缓蚀剂。

9、进一步改进的是,所述ph检测仪以及所述电导率检测仪均设置有用于显示检测结果的显示屏。

10、进一步改进的是,还包括报警装置,所述控制器与所述报警装置相电连接。

11、进一步改进的是,所述氯离子检测器为水质检测金属挂片。

12、进一步改进的是,所述生物灭菌剂添加装置包括用于存储生物灭菌剂的第一存储罐、与所述第一存储罐相连通的第一脉冲加药泵。

13、进一步改进的是,所述缓蚀剂添加装置包括用于存储缓蚀剂的第二存储罐、与所述第二存储罐相连通的第二脉冲加药泵。

14、进一步改进的是,所述排水管道连接有污水处理装置。

15、进一步改进的是,氯离子检测器检测氯离子含量超过预设值时,所述控制器控制生物灭菌剂添加装置以及缓蚀剂添加装置停止工作。

16、本发明提供的一种电子及半导体精密制程水质自动控制系统,与现有技术相比,其有益效果为:1、检测氯离子超标时,能够进行全系统在线换水,即进水管道直接连通排水管道,整个系统中的超标污水直接不回流至水质调节罐内直接排出,而补水管道连通水质调节箱,补充的新水源替换水质调节箱内的水且同时逐步替换整个系统中的水,由此达到在线换水的目的,而且在整个系统换水时,生物灭菌剂添加装置以及缓蚀剂添加装置停止工作;

17、2、当ph值检测低于设定值时,添加生物灭菌剂控制微生物含量,ph值超过设定值时,采用将系统部分水排出同时补水的方式调节ph值,同时添加与补水量设定的比例的缓蚀剂防止系统结垢;

18、3、当电导率超过设定值时,通过添加缓蚀剂来进行自动控制;

19、4、在进行ph值检测时采用了检测支管,并通过水压检测以及水压调节阀对检测支管的水压进行调节使其保持稳定,由此提高了ph检测仪检测ph值的精准度,避免了水压对其影响。



技术特征:

1.一种电子及半导体精密制程水质自动控制系统,其特征在于:包括水处理组件、水质调节组件以及控制组件;

2.如权利要求1所述的一种电子及半导体精密制程水质自动控制系统,其特征在于:所述补水管道上设置有用于检测补水量的补水流量计。

3.如权利要求2所述的一种电子及半导体精密制程水质自动控制系统,其特征在于:ph检测仪的检测值高于预设值时,所述控制器还配置为根据所述补水流量计检测值,按照缓蚀剂与补充水量的预设比值,控制所述缓蚀剂添加装置向所述进水管道内添加缓蚀剂。

4.如权利要求1所述的一种电子及半导体精密制程水质自动控制系统,其特征在于:所述ph检测仪以及所述电导率检测仪均设置有用于显示检测结果的显示屏。

5.如权利要求1所述的一种电子及半导体精密制程水质自动控制系统,其特征在于:还包括报警装置,所述控制器与所述报警装置相电连接。

6.如权利要求1所述的一种电子及半导体精密制程水质自动控制系统,其特征在于:所述氯离子检测器为水质检测金属挂片。

7.如权利要求1所述的一种电子及半导体精密制程水质自动控制系统,其特征在于:所述生物灭菌剂添加装置包括用于存储生物灭菌剂的第一存储罐、与所述第一存储罐相连通的第一脉冲加药泵。

8.如权利要求1所述的一种电子及半导体精密制程水质自动控制系统,其特征在于:所述缓蚀剂添加装置包括用于存储缓蚀剂的第二存储罐、与所述第二存储罐相连通的第二脉冲加药泵。

9.如权利要求1所述的一种电子及半导体精密制程水质自动控制系统,其特征在于:所述排水管道连接有污水处理装置。

10.如权利要求1所述的一种电子及半导体精密制程水质自动控制系统,其特征在于:氯离子检测器检测氯离子含量超过预设值时,所述控制器控制生物灭菌剂添加装置以及缓蚀剂添加装置停止工作。


技术总结
一种电子及半导体精密制程水质自动控制系统,包括水处理组件、水质调节组件以及控制组件;所述水处理组件包括水质调节箱、与所述水质调节箱相连通的出水管道、进水管道、补水管道以及排水管道、设置于所述出水管道或者所述进水管道上的水泵、连通所述排水管道与所述进水管道的连接管道;所述水质调节组件包括设置于所述进水管道上的PH检测仪、电导率检测仪、氯离子检测器、生物灭菌剂添加装置、缓蚀剂添加装置、设置于所述水质调节箱内的水压检测仪,所述控制组件包括第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第四电磁阀、压力调节阀。

技术研发人员:郭凤朝
受保护的技术使用者:酷仑冷却设备(山西)有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/7/25
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