本发明涉及石英玻璃加工,具体为一种石英管自输送内壁加热除杂装置。
背景技术:
1、石英制品是一种常用的材料,石英制品主要由石英玻璃制成,具有优异的物理特性,例如高温稳定性、机械强度和化学惰性等。被广泛运用于半导体芯片的生产加工领域。石英材料本身具有良好的电绝缘性,它可以承载芯片并保护其免受外界环境的影响,可以防止芯片与外部环境之间的电互联。此外,石英制品能够提供高温稳定性和保护作用,从而确保芯片盛放的环境足够干净整洁。在半导体湿法洗净领域中,由于石英玻璃在外观上有着洁净度有较高的优点,因此被用于制作的石英水槽产品,在芯片加工领域中,用高纯石英制作的石英小舟,具有耐腐蚀、耐高温、耐热震等性能,同时热膨胀系数特别小。在高温加工中,不会向外释放杂质微粒,能够确保石英小舟所承载的加工物体的纯度和良品率。
2、现有技术中,石英制品在加工过程中往往需要通过加热来去除石英制品表面的一些细微杂质从而提高石英制品的表面整洁度,而一些较大的石英管制品的内表面杂质去除难以实现,由于其体型较大,夹取固定较难,通常是人工通过火加工对石英管的表面进行加热,这种方法费时费力,并且在加工过程中可能对石英管造成损伤,加工工人需要时刻保持加热装置的稳定性,加工过程中可能出现加热头碰撞石英管从而对石英管内壁造成损伤,损坏加工工件,采用火焰加热时对加热区域的控制不够集中,无法准确对石英管进行全面覆盖式的加热,无法保证加热后石英管壁面上的杂质去除的均匀性。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题:针对现有技术的不足,本发明提供了一种石英管自输送内壁加热除杂装置,能够实现快速对较大石英管的内壁加热去杂,保证整个石英管内壁去除杂质的均匀性,解决了石英制品中大型石英管的加热去杂困难,加热方式单一,去除杂质的区域不够均匀的问题。
2、(二)技术方案:为实现上述能够实现快速对较大石英管的内壁加热去杂,保证整个石英管内壁去除杂质的均匀性的目的,本发明提供如下技术方案:一种石英管自输送内壁加热除杂装置,包括包括支撑台,进料托槽,激光加热组件,其特征在于:所述支撑台上设置有中心点水平直线排列的两个以上的传输滚轮,所述传输滚轮轴线与所述传输滚轮中心连线相交,不同的所述传输滚轮通过动力组件带动同步旋转;
3、所述传输滚轮中心连线的另一测设计有轴线与其平行的支撑圆柱轴;前后排列的所述传输滚轮与支撑圆柱轴上放置有待加工的石英管;所述传输滚轮通过旋转带动石英管旋转向前运动;
4、水平放置的所述石英管内壁最低放置有固定的受热组件,所述受热组件下部的受热面滑动贴附在所述石英管的内壁上,所述石英管下方设计有发射面正对受热组件下部受热面的激光加热组件。
5、优选的,所述支撑台上设置有传输滚轮与支撑圆柱轴,所述传输滚轮中心设置有传动轴,位于所述支撑台一侧的传输滚轮通过传动轴与动力组件相连,所述传输滚轮左右两端通过传动轴设置有传动齿轮,每两个传输滚轮之间通过传动齿轮啮合传动,所述传动齿轮外端面的传动轴部分与传输滚轮支撑板相连,所述传输滚轮支撑板下端设置有向两侧延申的安装脚座,所述安装脚上设置有安装孔,
6、优选的,所述陶瓷限位件包括连接腔,所述连接腔为扇形,上表面与石英管内壁表面弧形面相对应,左右两斜面上设置有杂质吸收孔,扇形面一侧与支撑杆相连,所述连接腔下端设置有滑块,所述滑块下端面左右两端延申有滑动卡接块,所述陶瓷吸热块通过滑槽与滑块配合安装在陶瓷限位件上。
7、优选的,所述动力组件包括电机,所述电机端部转轴设置有同步轮,设置在支撑台一侧的传输滚轮上的传动轴端部设置有同步轮,两个同步轮之间通过同步带相连。
8、优选的,所述传输滚轮中心设置有传动轴,位于所述支撑台一侧的传输滚轮通过传动轴与动力组件相连,所述传输滚轮左右两端通过传动轴设置有传动齿轮,每两个传输滚轮之间通过传动齿轮啮合,每个传动齿轮之间通过过渡齿轮进传动,所述传动齿轮外端面的传动轴部分与传输滚轮支撑板相连,所述传输滚轮支撑板下端设置有向两侧延申的安装脚座,所述安装脚上设置有安装孔。
9、优选的,所述陶瓷吸热块分为上下两段,上段部分为滑槽,与所述陶瓷限位件相连,下段部分为扇形加热块,所述扇形加热块的扇形圆弧面与石英管内壁相互贴合。
10、优选的,所述杂质吸收组件包括安装底板,所述安装底板上设置有杂质吸收罐与支撑梁,所述所述杂质吸收罐与支撑杆内腔相连,所述杂质吸收罐内设置有吸尘器。
11、优选的,所述传输滚轮与石英管接触的表面设置有玻璃贴附棉。
12、优选的,所述支撑圆柱轴通过两端面设置有支撑圆柱轴安装板,所述支撑圆柱轴安装板下端设置有向两侧延申的安装脚座,所述安装脚座上设置有通孔。
13、优选的,所述传输滚轮与支撑圆柱轴两者顶端高度相同,共同组成物料进给槽,所述进给槽用来安放石英管,所述进料托槽包括安装底板,所述安装底板上设置有托槽支撑板,所述托槽支撑板数量为两块,支撑板上端面设置有弧形托起结构,所述弧形托起结构上设置有半圆槽。
14、(三)有益效果:与现有技术相比,本发明提供了一种石英管自输送内壁加热除杂装置,具备以下有益效果:
15、1、该石英管加热去杂装置,通过通过激光加热的方式,可以高效地对陶瓷组件进行加热和除杂,此外,激光加热的能量控制精确,可以避免对材料造成过度加热或不足加热,从而节省能源并提高效率,而且由于石英管内壁和陶瓷件之间的贴合,使得热传导效果增强,进一步提高了加工效率。整个加工过程,包括石英管的传输、陶瓷件的放置、激光加热、杂质吸附和石英管的退回等步骤,都实现了自动化,减少了人工干预,提高了生产效率和质量。通过电机控制石英管在进给槽上的旋转运动以及进给运动,配合受热组件,可以精确地控制加工过程,确保石英管壁所有区域都能得到一致的加工效果。由于整个加工过程都是在严格控制的环境下进行的,避免了人为错误和污染,使得产品的质量得到了保证。使用激光加热的方式,避免了传统加工方式产生的废料和污染,更加环保。每个加工步骤都是可重复的,只要输入相同的参数,就可以得到相同的结果,这使得生产过程更加稳定和可靠。操作简便,容易上手,使得生产设备的维护和升级变得更加简单。
16、2、该石英管加热去杂装置通过将传输滚轮斜向摆放在支撑台上,并且让穿齿轮相互啮合,使得每两个传输滚轮之间通过传动齿轮进行传动。从而实现一台电机带动支撑台上的所有传输滚轮进行同步转动,提高了整个系统的稳定性和效率。斜向摆放的传输滚轮在转动过程中与石英管壁接触,产生的摩擦力被分解成轴向与圆周方向的摩擦力。这使得石英管能够在进给槽内实现进给运动的同时实现自转,这样能够满足石英管内壁在石英管运动过程中所有部位都能与陶瓷受热块进行贴附,实现对石英管壁的加热除杂。通过进料托槽,用于在加工前将石英管从物料托举槽放入传输槽上,并在加工过后推出的石英管由于温度较高,放置在物料托举槽内进行冷却。
17、3、该石英管加热去杂装置,通过在支撑台两侧设置护板支撑板,将石英管护板设置在石英管正上方,这种方式可以有效地防止石英管在竖直方向上的位移,从而避免其脱离进给槽。提高了设备的稳定性和可靠性,使得石英管在加热除杂过程中不会出现意外情况,确保了生产过程的顺利进行。石英管护板采用圆弧形设计,与石英管的形状完美配合,提供了准确的定位和支撑。确保了石英管在加热除杂过程中的稳定性,使得杂质能够完全去除,同时避免了因为石英管位移而引起的加工问题。圆弧形设计使得石英管护板能够与进给槽相配合,实现了石英管的旋转前进运动,进一步提高了加工效率。陶瓷限位件利用连接腔、杂质吸收孔和支撑杆的配合,将杂质从石英管内壁分离出来,并实现了高效的吸收,使得杂质能够完全从石英管内壁去除,提高了除杂效果和产品质量。
1.一种石英管自输送内壁加热除杂装置,包括包括支撑台(1),进料托槽(2),激光加热组件(3),其特征在于:所述支撑台(1)上设置有中心点水平直线排列的两个以上的传输滚轮(11),所述传输滚轮(11)轴线与所述传输滚轮(11)中心连线相交,不同的所述传输滚轮(11)通过动力组件(13)带动同步旋转;
2.根据权利要求1所述的一种石英管自输送内壁加热除杂装置,其特征在于:所述激光加热组件(3)包括护板(31),所述护板(31)通过左右两端的护板支撑板(311)设置在石英管(6)正上方,与支撑圆柱轴(12)较近的一侧护板支撑板(311)上连接有激光发射管(32),所述激光发射管(32)端部设置有激光发射头(312)所述激光发射头(312)部位的石英管(6)内腔通过支撑杆(43)设置有受热组件(4),所述受热组件(4)包括陶瓷限位件(41),所述陶瓷限位件(41)上设置有陶瓷吸热块(42),所述陶瓷限位件(41)与支撑杆(43)相连,所述支撑杆(43)设置有中空内腔,所述陶瓷限位件(41)通过支撑杆(43)与杂质吸收组件(5)相连。
3.根据权利要求1所述的一种石英管自输送内壁加热除杂装置,其特征在于:所述陶瓷限位件(41)包括连接腔(411),所述连接腔(411)为扇形,上表面与石英管(6)内壁表面弧形面弧度接近,左右两斜面上设置有杂质吸收孔(412),扇形面一侧与支撑杆(43)相连,所述连接腔(411)下端设置有滑块(413),所述滑块(413)下端面左右两端延申有滑动卡接块,所述陶瓷吸热块(42)上设置有滑槽(421),通过滑槽(421)与滑块(413)配合安装在陶瓷限位件(41)上。
4.根据权利要求1所述的一种石英管自输送内壁加热除杂装置,其特征在于:所述传输滚轮(11)中心设置有传动轴(111),位于所述支撑台(1)一侧的传输滚轮(11)通过传动轴(111)与动力组件(13)相连,所述传输滚轮(11)左右两端通过传动轴(111)设置有传动齿轮(112),每两个传输滚轮(11)之间通过传动齿轮(112)啮合,每个传动齿轮(112)之间通过过渡齿轮进行传动,所述传动齿轮(112)外端面的传动轴(111)部分与传输滚轮支撑板(113)相连,所述传输滚轮支撑板(113)下端设置有向两侧延申的安装脚座,所述安装脚上设置有安装孔。
5.根据权利要求1所述的一种石英管自输送内壁加热除杂装置,其特征在于:所述动力组件(13)包括电机(131),所述电机(131)端部转轴设置有同步轮(132),设置在支撑台(1)一侧的传输滚轮(11)上的传动轴(111)端部设置有同步轮(132),两个同步轮(132)之间通过同步带(133)相连。
6.根据权利要求1所述的一种石英管自输送内壁加热除杂装置,其特征在于:所述陶瓷吸热块(42)分为上下两段,上段部分为滑槽(421),与所述陶瓷限位件(41)相连,下段部分为扇形加热块(422),所述扇形加热块(422)的扇形圆弧面与石英管(6)内壁相互贴合。
7.根据权利要求1所述的一种石英管自输送内壁加热除杂装置,其特征在于:所述杂质吸收组件(5)包括后安装板(51),所述后安装板(51)上设置有杂质吸收罐(52)与支撑梁(53),所述所述杂质吸收罐(52)与支撑杆(43)相连,所述杂质吸收罐(52)内设置有吸尘器。
8.根据权利要求1所述的一种石英管自输送内壁加热除杂装置,其特征在于:所述传输滚轮(11)与石英管(6)接触的表面设置有玻璃贴附棉(114)。
9.根据权利要求1所述的一种石英管自输送内壁加热除杂装置,其特征在于:所述支撑圆柱轴(12)通过两端面设置有支撑圆柱轴安装板(121),所述支撑圆柱轴安装板(121)下端设置有向两侧延申的安装脚座,所述安装脚座上设置有通孔。
10.根据权利要求1所述的一种石英管自输送内壁加热除杂装置,其特征在于:所述传输滚轮(11)与支撑圆柱轴(12)两者顶端高度相同,共同组成物料进给槽,用于石英管(6)进料的传输台一侧设置有进料托槽(2),所述进料托槽(2)包括前安装板(24),所述前安装板(24)上设置有托槽支撑板(23),所述托槽支撑板(23)数量为两块,托槽支撑板(23)上端面设置有弧形托起结构(21),所述弧形托起结构(21)上设置有半圆槽(22)。
