本实用新型涉及一种自清洗设备，尤其涉及一种硅片清洗过程中刷子的自清洗机构。
背景技术：
在硅片清洗工艺中，刷子是配合清洗液对硅片进行清洗的重要部件，由于对硅片清洗的精度要求高，从而对刷子的清洁度也有很高的要求，因此刷子需要定期清洗以保证其清洁度。
目前在对刷子进行清洗时，采用如附图3所示的装置进行清洗，清洗的方式为：首先通过喷嘴3将清洗液喷射到清洗台面1上，然后利用压紧机构4将毛刷20压在清洗台面1上，再通过驱动机构21来驱动刷子20在清洗台面1上进行自旋转清洗。
但是在长时间的使用后发现，这样清洗方式存在着一些缺点：
①通过压紧机构将刷子压在清洗台面上，再让刷子通过驱动机构进行自旋转，这样会加速刷子的磨损，导致其使用寿命降低。
②当刷子不进行旋转的时候，由于清洗台面呈水平状，清洗液就会滞留在清洗台面上，这样清洗后的清洗液可能会再次附着在刷子上，对刷子造成二次污染。
技术实现要素：
本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种操作便捷，刷子的清洁效果好，且刷子使用寿命长的刷子的自清洗机构。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种刷子的自清洗机构，包括清洗台面、刷子、喷嘴和压紧机构，还包括液位板和固定座；所述清洗台面与水平面之间呈垂直/倾斜设置；在所述清洗台面的侧端设有液位板；所述清洗台面的一侧设有固定座；所述固定座上设有多个刷子，且上述刷子指向清洗台面上设有液位板的一端；在所述固定座的中心处设有指向液位板一端的喷嘴；所述固定座的一端固设有压紧机构；当所述压紧机构将固定座往清洗台面反复按压时，液位板引导喷嘴喷出的清洗液向固定座的上方进行冲洗。
进一步的，所述清洗台面与水平面之间的角度为0-90°。
进一步的，所述刷子的数量为四个，且上述四个刷子以固定座的中心为基准点进行圆形阵列分布。
进一步的，所述液位板的材质为pvdf/iyife/石英玻璃。
进一步的，所述压紧机构为气缸或滑动导轨。
由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
①喷嘴喷出的液体由于液位板的引导，直接从上方进行冲洗，然后利用压紧机构让固定座往清洗台面处反复按压，将刷子清洗干净，避免了使用旋转机构，降低了刷子的损耗，提升了刷子的使用寿命。
②清洗台面与水平面之间为垂直或倾斜设置，这样清洗液的替换性高，清洗液不会滞留在清洗台面上，从而避免清洗后的清洗液再次附着在刷子对刷子造成二次污染。
附图说明
下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：
附图1为本实用新型的结构示意图；
附图2为固定座、刷子和喷嘴相连的结构示意图；
附图3为现有技术中刷子的自清洗机构的结构示意图；
其中：清洗台面1、刷子2、喷嘴3、压紧机构4、液位板5、固定座6、清洗液流向10、毛刷20、驱动机构21。
具体实施方式
下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
请参阅附图1-2，本实用新型所述的一种刷子的自清洗机构，包括清洗台面1、刷子2、喷嘴3、压紧机构4、液位板5和固定座6；所述清洗台面1与水平面之间呈垂直/倾斜设置；在所述清洗台面1的侧端设有液位板5；所述清洗台面1的一侧设有固定座6；所述固定座6上设有多个刷子2，且上述刷子2指向清洗台面1上设有液位板5的一端；在所述固定座6的中心处设有指向液位板5一端的喷嘴3；所述固定座6的一端固设有压紧机构4；当所述压紧机构4将固定座6往清洗台面1反复按压时，液位板5引导喷嘴3喷出的清洗液向固定座6的上方进行冲洗。
作为进一步的优选实施例，所述清洗台面1与水平面之间的角度为0-90°，只要能让清洗液沿着清洗台面1流下来即可。
作为进一步的优选实施例，所述刷子2的数量为四个，且上述四个刷子2以固定座6的中心为基准点进行圆形阵列分布，喷嘴3位于四个刷子2的中心处。
其中，四个刷子2分别位于固定座6的上、下、左、右四个方向，而液位板5位于最下方刷子2的上方，这样当固定座6往清洗台面1反复按压时，液位板5就会防止喷嘴3喷出的清洗液往下冲洗，引导清洗液往固定座6的上方冲洗。
作为进一步的优选实施例，所述液位板5的材质为pvdf、iyife、石英玻璃，使用上述材料，可以避免对刷子2造成二次污染。
作为进一步的优选实施例，压紧机构4为气缸或滑动导轨，当然也可以采用其它机构，只要能驱动固定座6往清洗台面1反复按压即可。
具体的，当通过本清洗设备对刷子2进行清洗时，首先清洗台面1与水平面之间为垂直或倾斜设置，这样当洗净液从喷嘴3喷出来后，直接接触到清洗台面1，然后清洗液沿着清洗台面1向下流，这样清洗液的替换性高，清洗液不会滞留在清洗台面1上，从而避免清洗后的清洗液再次附着在刷子2上，对刷子2造成二次污染；其次，在对刷子2清洗的过程中，喷嘴3喷出的清洗液由于液位板5的引导，直接从上方进行冲洗，清洗液的流通方向如附图标记10所示，这样可以对上部的刷子2进行冲洗，然后利用压紧机构4让固定座6往清洗台面1处反复按压，将刷子2清洗干净，这样就没有用到旋转机构，提升了刷子2的使用寿命。
以上仅是本实用新型的具体应用范例，对本实用新型的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案，均落在本实用新型权利保护范围之内。
1.一种刷子的自清洗机构，包括清洗台面、刷子、喷嘴和压紧机构，其特征在于：还包括液位板和固定座；所述清洗台面与水平面之间呈垂直/倾斜设置；在所述清洗台面的侧端设有液位板；所述清洗台面的一侧设有固定座；所述固定座上设有多个刷子，且上述刷子指向清洗台面上设有液位板的一端；在所述固定座的中心处设有指向液位板一端的喷嘴；所述固定座的一端固设有压紧机构；当所述压紧机构将固定座往清洗台面反复按压时，液位板引导喷嘴喷出的清洗液向固定座的上方进行冲洗。
2.根据权利要求1所述的刷子的自清洗机构，其特征在于：所述清洗台面与水平面之间的角度为0-90°。
3.根据权利要求1所述的刷子的自清洗机构，其特征在于：所述刷子的数量为四个，且上述四个刷子以固定座的中心为基准点进行圆形阵列分布。
4.根据权利要求1所述的刷子的自清洗机构，其特征在于：所述液位板的材质为pvdf或iyife或石英玻璃。
5.根据权利要求1所述的刷子的自清洗机构，其特征在于：所述压紧机构为气缸或滑动导轨。
技术总结