本技术涉及一种气体喷头，特别是涉及一种适用原子层沉积的气体喷头。
背景技术：
1、沉积设备的气体喷头为沉积薄膜必备的制造工具，气体喷头输送前驱物以形成薄膜。现有的气体喷头主要为金属所制，例如铝合金，大多为一体成形或是以盘面形式，并通过螺丝固定。
2、面对不同薄膜工艺的需求，气体的喷头亦有所不同，例如喷孔的形状、大小等制造条件，因此，当设备因应工艺需要而更换气体喷头时，需将整组的气体喷头组件进行拆换。然而，当所使用的气体喷头为一体成形的，如遇到工艺需要更换或调整时，必须将整组气体喷头组件进行更换，如此必定延长工艺的时间。而当气体喷头是使用螺丝锁固定的时，于电浆形成时，容易会有微电弧(micro arcing)产生，使得薄膜受到损害，薄膜可能产生裂缝，造成薄膜品质不良等问题。此外，也容易有粉尘产生，使工艺发生异常。
3、因此，如何通过气体喷头的结构设计的改良来提升沉积薄膜工艺的效率，进而克服上述的缺陷已成为该项事业所想要解决的重要课题之一。
技术实现思路
1、本实用新型所要解决的技术问题在于针对现有技术的不足提供一种气体喷头，借由气体喷头的结构设计来降低传统以螺丝固定气体喷头所产生微电弧及螺丝孔具有残留气体等问题的发生，使得相关工艺更稳定。此外，对于不同工艺需求，沉积设备可快速该换气体喷头，缩短沉积设备的待机及维护时间，提高生产的效率。
2、为了解决上述的技术问题，本实用新型所采用的其中一技术方案是提供一种气体喷头，所述气体喷头包括：一进气部；一内腔，具有一进气口及相对的一出气口，所述内腔经由进气口连通所述进气部，所述内腔的一壁面对应于所述出气口设有一结合结构；以及一喷洒体，包括多个喷孔，所述喷洒体的外部对应所述结合结构设有一连接结构，经由所述结合结构与所述连接结构相结合，所述喷洒体封盖所述出气口。
3、所述结合结构具有第一螺纹，所述连接结构具有第二螺纹，所述结合结构与所述连接结构以螺纹锁接的方式结合。
4、所述气体喷头还包括一o型环，所述o型环位于所述内腔及所述喷洒体之间。
5、所述喷洒体具有一板材，所述板材的外径为280mm-350mm。
6、所述喷洒体包括一板材，所述多个喷孔贯通所述板材，每个所述喷孔的喷出方向与所述板材所在的平面具有一夹角。
7、为了解决上述的技术问题，本实用新型所采用的另外一技术方案是提供一种沉积设备，所述沉积设备包括：一进气管路；一反应腔室；以及根据前文所述的气体喷头，其中所述进气部连通所述进气管路，所述内腔及所述喷洒体位于所述反应腔室内。
8、所述结合结构与所述连接结构是以螺纹锁接的方式锁合。
9、所述喷洒体具有一板材，所述板材的外径为280mm-350mm。
10、所述喷洒体具有一板材，所述多个喷孔贯通所述板材，每个所述喷孔的喷出方向与所述板材所在的平面具有一夹角。
11、为了解决上述的技术问题，本实用新型所采用的又一技术方案是提供一种气体喷头，所述气体喷头包括：一板材；多个喷孔，贯通所述板材，每个所述喷孔的喷出方向与所述板材所在的平面具有一夹角；以及一连接结构，设置在所述板材的外部，用以与一内腔的一结合结构结合。
12、本实用新型的其中一有益效果在于本实用新型所提供的气体喷头及沉积设备能通过“内腔的壁面对应于出气口设有结合结构”以及“喷洒体的外部对应结合结构设有连接结构，经由结合结构与连接结构相结合，喷洒体封盖出气口”的技术方案，以提升更换、拆换气体喷头的效率。减少一般以螺丝固定气体喷头所产生微电弧(micro arcing)及螺丝孔具有残留气体等问题的发生。
13、进一步地，通过上开技术特征及喷孔的设计，对于不同工艺需求，沉积设备可快速该换气体喷头，缩短沉积设备待机及维护时间，提高生产的效率。
14、进一步地，通过“气体喷头包括板材、多个喷孔及连接结构”以及“多个喷孔贯通板材，每一喷孔的喷出方向与板材所在的平面具有夹角。连接结构设置在板材的外部，用以与内腔的结合结构结合”的技术方案，设计多个不同喷孔尺寸、数量及分布位置的气体喷头，对于不同工艺需求，可快速更换气体喷头，缩短沉积设备待机及维护时间，提升工艺的效率。
15、为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，然而所提供的附图仅用于提供参考与说明，并非用来对本实用新型加以限制。
1.一种气体喷头，其特征在于，所述气体喷头包括：
2.根据权利要求1所述的气体喷头，其特征在于，所述结合结构具有第一螺纹，所述连接结构具有第二螺纹，所述结合结构与所述连接结构以螺纹锁接的方式结合。
3.根据权利要求1所述的气体喷头，其特征在于，所述气体喷头还包括一o型环，所述o型环位于所述内腔及所述喷洒体之间。
4.根据权利要求1所述的气体喷头，其特征在于，所述喷洒体具有一板材，所述板材的外径为280mm-350mm。
5.根据权利要求1所述的气体喷头，其特征在于，所述喷洒体包括一板材，所述多个喷孔贯通所述板材，每个所述喷孔的喷出方向与所述板材所在的平面具有一夹角。
6.一种沉积设备，其特征在于，所述沉积设备包括：
7.根据权利要求6所述的沉积设备，其特征在于，所述结合结构与所述连接结构是以螺纹锁接的方式锁合。
8.根据权利要求6所述的沉积设备，其特征在于，所述喷洒体具有一板材，所述板材的外径为280mm-350mm。
9.根据权利要求6所述的沉积设备，其特征在于，所述喷洒体具有一板材，所述多个喷孔贯通所述板材，每个所述喷孔的喷出方向与所述板材所在的平面具有一夹角。
10.一种气体喷头，其特征在于，所述气体喷头包括：
