本实用新型涉及硅片相关技术领域,具体为一种硅片清洗架。
背景技术:
通常,当硅棒切割成硅片后,需要将整刀的多块硅片从多线切割机上取下来,之后转移到水池进行清洗,然后又再次转移到脱胶池脱胶。这样,在清洗和脱胶的过程中,容易发生硅片互相碰撞、多片倾倒在一起、多片掉落的现象,导致硅片损伤报废。目前市场上得技术产品中,大多数为集中式清洗装置,很难达到同一批次的硅片产品全部洗干净,在后续的生产环节中潮湿的硅片又会影响生产操作,浪费操作人员的宝贵时间,为此,本实用新型提出一种硅片清洗架用于解决上述问题。
技术实现要素:
本实用新型的目的在于提供一种硅片清洗架,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种硅片清洗架,包括减震架,顶板和移动板,所述顶板上方左右有两侧安装有水箱,所述水箱左侧设置有水管,所述水管通过固定器与顶板固定连接,且水管的底部设置有喷头,所述顶板下方左右两侧安装有垫板b,所述垫板b下方焊接有承重杆,所述承重杆设置有滑槽a,且承重杆底部通过螺栓与固定架固定连接,所述固定架通过固定板与滑槽b固定连接,所述滑槽b与移动板滑动连接,所述移动板上下两侧均匀设置有卡扣a,所述卡扣a与连接杆相焊接,所述连接杆与夹板通过铆钉固定连接,所述夹板与夹块相焊接,所述顶板左右两侧均安装有支架,所述支架与减压垫固定连接,所述减压垫与支柱镶嵌连接,所述支柱底部均设置有防滑垫,所述减震架下方左右两侧均焊接有支撑块,所述减震架下方焊接有底板,所述减震架右侧安装有控制器,所述减震架上方左右两侧安装有功能箱。
优选的,所述功能箱还包括风扇、转轴、垫板a、螺母、旋转轴、卡套a、传动杆、安装板、卡扣b、电机、固定槽、卡套b、焊接板和安装块,所述功能箱左侧底部安装有固定槽,所述固定槽上方通过转轴与卡套b固定连接,所述卡套b与电机相焊接,所述电机通过转轴与焊接板和安装块固定连接,所述安装块通过卡扣b与安装板固定连接,所述安装块上方通过传动杆与卡套a固定连接,所述卡套a焊接在旋转轴下方,旋转轴通过转轴与风扇转动连接,所述旋转轴通过安装块与垫板a固定连接,所述垫板a通过螺母与功能箱固定连接。
优选的,所述转轴设置有三组,所述传动杆的长度为30厘米,所述安装块设置有两组,且均与功能箱为可拆卸安装。
优选的,所述功能箱还包括干燥剂、滤网、防水板和散热板,所述干燥剂与右侧滤网相胶合,所述滤网与散热板相焊接,所述散热板与右侧防水板相胶合。
优选的,所述滤网的孔径大小为5毫米,所述干燥剂由硅胶组成,所述散热板由硅片组成。
优选的,所述滑槽a的行程为20厘米,所述滑槽b的行程为30厘米,且移动板和固定架均为不锈钢材料。
优选的,所述卡扣a设置有18组且关于移动板上下对称,所述固定板设置有四组,且关于移动板左右对称。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1.该实用新型支柱底部的防滑垫有效保证了装置在使用过程中不会因为意外倒塌对操作人员造成伤害,确保了装置的安全性,同时减震架的设置保证了仪器在操作时的稳定,不会因仪器的震动造成零件的损伤。
2.该使用新型顶板左右各设置了一个水箱,确保硅片在清洗时候不会因单个水箱缺水造成清洗不干净,同时喷头会喷出水雾,使悬挂的硅片在自然重力下达到自清洁,节约了能源,提高设备使用效率。
3.该实用新型的功能箱内设置了风扇,风扇可以在硅片的晾干过程中加速水分的蒸发,帮助硅片更快达到清洁目的,在功能箱外侧,有散热板与防水板,保证了风扇不会在工作中因水短路,也保证其使用寿命。
4.该实用新型的的夹块与夹板设置了17组,使每次清洗的硅片数量有量的提升,同时也保证了硅片的清洁达到标准值,悬挂式的夹紧方法有利于硅片的自清洁,不会损伤硅片的质量。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型功能箱内部剖视图;
图3为本实用新型移动板结构示意图。
图中:水箱1、水管2、支架3、承重杆4、功能箱5、干燥剂51、风扇52、转轴53、垫板a54、螺母55、旋转轴56、卡套a57、传动杆58、安装板59、卡扣b510、电机511、固定槽512、卡套b513、焊接板514、安装块515、滤网516、防水板517、散热板518、支柱6、防滑垫7、支撑块8、减震架9、底板10、防锈层11、控制器12、减压垫13、滑槽a14、垫板b15、喷头16、顶板17、固定器18、夹块19、连接杆20、固定板21、螺栓22、移动板23、固定架24、滑槽b25、卡扣a26、夹板27。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1至3,本实用新型提供一种技术方案:一种硅片清洗架,包括减震架9,顶板17和移动板23,顶板17上方左右有两侧安装有水箱1,水箱1左侧设置有水管2,水管2通过固定器18与顶板17固定连接,且水管2的底部设置有喷头16,顶板17下方左右两侧安装有垫板b15,垫板b15下方焊接有承重杆4,承重杆4设置有滑槽a14,且承重杆4底部通过螺栓22与固定架24固定连接,固定架24通过固定板21与滑槽b25固定连接,滑槽b25与移动板23滑动连接,移动板23上下两侧均匀设置有卡扣a26,卡扣a26与连接杆20相焊接,连接杆20与夹板27通过铆钉固定连接,夹板27与夹块19相焊接,顶板17左右两侧均安装有支架3,支架3与减压垫13固定连接,减压垫13与支柱6镶嵌连接,支柱6底部均设置有防滑垫7,减震架9下方左右两侧均焊接有支撑块8,减震架9下方焊接有底板10,减震架9右侧安装有控制器12,减震架9上方左右两侧安装有功能箱5,电机511为y280m-2型电机,控制器12为ky12s型号控制器,且电机511与控制器12电性连接,该实用新型支柱6底部的防滑垫7有效保证了装置在使用过程中不会因为意外倒塌对操作人员造成伤害,确保了装置的安全性,同时减震架9的设置保证了仪器在操作时的稳定,不会因仪器的震动造成零件的损伤。
进一步地,功能箱5还包括风扇52、转轴53、垫板a54、螺母55、旋转轴56、卡套a57、传动杆58、安装板59、卡扣b510、电机511、固定槽512、卡套b513、焊接板514和安装块515,功能箱5左侧底部安装有固定槽512,固定槽512上方通过转轴53与卡套b513固定连接,卡套b513与电机511相焊接,电机511通过转轴53与焊接板514和安装块515固定连接,安装块515通过卡扣b510与安装板59固定连接,安装块515上方通过传动杆58与卡套a57固定连接,卡套a57焊接在旋转轴56下方,旋转轴56通过转轴53与风扇52转动连接,旋转轴56通过安装块515与垫板a54固定连接,垫板a54通过螺母55与功能箱5固定连接。
进一步地,转轴53设置有三组,传动杆58的长度为30厘米,安装块515设置有两组,且均与功能箱5为可拆卸安装。
进一步地,功能箱5还包括干燥剂51、滤网516、防水板517和散热板518,干燥剂51与右侧滤网516相胶合,滤网516与散热板518相焊接,散热板518与右侧防水板517相胶合,该使用新型顶板17左右各设置了一个水箱1,确保硅片在清洗时候不会因单个水箱缺水造成清洗不干净,同时喷头16会喷出水雾,使悬挂的硅片在自然重力下达到自清洁,节约了能源,提高设备使用效率。
进一步地,滤网516的孔径大小为5毫米,干燥剂51由硅胶组成,散热板518由硅片组成,该实用新型的功能箱5内设置了风扇52,风扇52可以在硅片的晾干过程中加速水分的蒸发,帮助硅片更快达到清洁目的,在功能箱5外侧,有散热板518与防水板517,保证了风扇52不会在工作中因水短路,也保证其使用寿命。
进一步地,滑槽a14的行程为20厘米,滑槽b25的行程为30厘米,且移动板23和固定架24均为不锈钢材料。
进一步地,卡扣a26设置有18组且关于移动板23上下对称,固定板21设置有四组,且关于移动板23左右对称,该实用新型的的夹块19与夹板27设置了17组,使每次清洗的硅片数量有量的提升,同时也保证了硅片的清洁达到标准值,悬挂式的夹紧方法有利于硅片的自清洁,不会损伤硅片的质量。
工作原理:
实际操作时,操作人员首先需要把装置移动到指定位置,然后对各个部位零件进行检查,先对装置的滑槽a14进行检查,确定其行程为20厘米,使滑槽b25的行程为30厘米,再对功能箱5进行检查,使干燥剂51与右侧滤网516相胶合,把滤网516与散热板518相焊接,把散热板518与右侧防水板517相胶合,在该使用新型顶板17左右各设置了一个水箱1,确保硅片在清洗时候不会因单个水箱缺水造成清洗不干净,同时喷头16会喷出水雾,使悬挂的硅片在自然重力下达到自清洁,节约了能源,提高设备使用效率,再确定滤网516的孔径大小为5毫米,观察干燥剂是否由硅胶组成,在该实用新型的功能箱5内设置了风扇52,风扇52可以在硅片的晾干过程中加速水分的蒸发,帮助硅片更快达到清洁目的,在功能箱5外侧,有散热板518与防水板517,保证了风扇52不会在工作中因水短路,也保证其使用寿命。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
1.一种硅片清洗架,包括减震架(9),顶板(17)和移动板(23),其特征在于:所述顶板(17)上方左右有两侧安装有水箱(1),所述水箱(1)左侧设置有水管(2),所述水管(2)通过固定器(18)与顶板(17)固定连接,且水管(2)的底部设置有喷头(16),所述顶板(17)下方左右两侧安装有垫板b(15),所述垫板b(15)下方焊接有承重杆(4),所述承重杆(4)设置有滑槽a(14),且承重杆(4)底部通过螺栓(22)与固定架(24)固定连接,所述固定架(24)通过固定板(21)与滑槽b(25)固定连接,所述滑槽b(25)与移动板(23)滑动连接,所述移动板(23)上下两侧均匀设置有卡扣a(26),所述卡扣a(26)与连接杆(20)相焊接,所述连接杆(20)与夹板(27)通过铆钉固定连接,所述夹板(27)与夹块(19)相焊接,所述顶板(17)左右两侧均安装有支架(3),所述支架(3)与减压垫(13)固定连接,所述减压垫(13)与支柱(6)镶嵌连接,所述支柱(6)底部均设置有防滑垫(7),所述减震架(9)下方左右两侧均焊接有支撑块(8),所述减震架(9)下方焊接有底板(10),所述减震架(9)右侧安装有控制器(12),所述减震架(9)上方左右两侧安装有功能箱(5)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗架,其特征在于:所述功能箱(5)还包括风扇(52)、转轴(53)、垫板a(54)、螺母(55)、旋转轴(56)、卡套a(57)、传动杆(58)、安装板(59)、卡扣b(510)、电机(511)、固定槽(512)、卡套b(513)、焊接板(514)和安装块(515),所述功能箱(5)左侧底部安装有固定槽(512),所述固定槽(512)上方通过转轴(53)与卡套b(513)固定连接,所述卡套b(513)与电机(511)相焊接,所述电机(511)通过转轴(53)与焊接板(514)和安装块(515)固定连接,所述安装块(515)通过卡扣b(510)与安装板(59)固定连接,所述安装块(515)上方通过传动杆(58)与卡套a(57)固定连接,所述卡套a(57)焊接在旋转轴(56)下方,旋转轴(56)通过转轴(53)与风扇(52)转动连接,所述旋转轴(56)通过安装块(515)与垫板a(54)固定连接,所述垫板a(54)通过螺母(55)与功能箱(5)固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种硅片清洗架,其特征在于:所述转轴(53)设置有三组,所述传动杆(58)的长度为30厘米,所述安装块(515)设置有两组,且均与功能箱(5)为可拆卸安装。
4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗架,其特征在于:所述功能箱(5)还包括干燥剂(51)、滤网(516)、防水板(517)和散热板(518),所述干燥剂(51)与右侧滤网(516)相胶合,所述滤网(516)与散热板(518)相焊接,所述散热板(518)与右侧防水板(517)相胶合。
5.根据权利要求4所述的一种硅片清洗架,其特征在于:所述滤网(516)的孔径大小为5毫米,所述干燥剂(51)由硅胶组成,所述散热板(518)由硅片组成。
6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗架,其特征在于:所述滑槽a(14)的行程为20厘米,所述滑槽b(25)的行程为30厘米,且移动板(23)和固定架(24)均为不锈钢材料。
7.根据权利要求1所述的一种硅片清洗架,其特征在于:所述卡扣a(26)设置有18组且关于移动板(23)上下对称,所述固定板(21)设置有四组,且关于移动板(23)左右对称。
技术总结