本技术涉及半导体加工，具体为一种晶圆搬送机免换向检测机构。
背景技术：
1、晶圆是半导体制造过程中所使用的基本材料，它是一种经过加工的半导体硅片，具有特定的电学特性和其他物理特性，这些特性使得晶圆成为了制造各种半导体器件，如集成电路、晶体管、太阳能电池等的关键材料，晶圆通常由高纯度的多晶硅制成，其制造过程需要经过多个复杂的步骤，晶圆通常具有圆形或矩形的形状，其表面非常平滑和干净，这些特性使得晶圆能够被用作半导体制造的基础材料，通过在晶圆表面沉积和刻画不同的材料和结构，可以制造出各种不同的半导体器件，由于电子产品自身的精密性要求，极有必要对单个元件进行100％可靠的检查，及时有效的将不良产品剔除，要保证最终的产品质量，但由于其尺寸的微小程度，人眼在检测中几乎无法发挥作用，机器视觉的参与，让晶圆的质量控制和生产效率得到有效提升，但是在检测过程中，需要通过换向机构在检测过程中对晶圆进行翻面，方便对晶圆的上下表面依次进行检测，但是晶圆翻面所需的空间较大，导致检测机构的占地面积较大，同时晶圆在翻面过程中需要依靠吸盘进行限位，一旦吸盘失效就会使得晶圆掉落造成晶圆损伤，存在较大的安全隐患。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种晶圆搬送机免换向检测机构，以解决上述背景技术中提出的晶圆检测方式不佳的问题。
2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆搬送机免换向检测机构，包括机座、摇杆、升降平台、l臂和a臂，所述机座的一侧外表面安装有摇杆，且摇杆所在的机座外侧表面设置有控制按钮，所述机座的一端安装有滑动的升降平台，且机座的内部设置有l臂和a臂，所述升降平台所在的机座内部安装有升降电机，且升降平台所在的机座内部安装有转动的位移杆，并且位移杆的上端设置有升降块，所述升降电机的输出轴与位移杆的下端之间连接有传动齿带，所述机座的内部固定安装有液压升降杆，且液压升降杆的上端固定设置有安装座，并且安装座朝向机座内部的一端与l臂固定设置，所述l臂的上表面设置有接触橡胶盘，所述机座的内部固定安装有旋转电机，且旋转电机的输出轴上端固定连接有旋转盘，所述机座的内部固定安装有滑轨，且滑轨的外表面安装有滑动的位移臂，并且位移臂的下端固定安装有调节电机，所述调节电机的上端固定连接有主动轮，所述位移臂的一端上表面内部安装有转动的从动轮，所述从动轮与主动轮之间的位移臂外表面安装有张紧轮，所述从动轮与主动轮之间连接有传动齿带，所述位移臂的下端设置有连接夹板，所述连接夹板一侧的机座内部固定安装有位移电机，所述机座的内部安装有转动的第一安装轮和第二安装轮，且第一安装轮和第二安装轮之间连接有传动齿带。
3、优选的，所述升降平台与升降块固定安装，且升降块与位移杆螺纹连接。
4、采用上述技术方案，使得位移杆转动能够通过升降块带动升降平台相对机座上下滑动。
5、优选的，所述l臂为弧形的中空架体设计，且l臂与旋转盘为同心设计。
6、采用上述技术方案，使得旋转盘能够带动晶圆转动并保持与l臂的相对位置。
7、优选的，所述a臂为h型设计，且a臂的转轴与从动轮的下端固定连接。
8、采用上述技术方案，使得a臂能够通过移动和被从动轮带动转动的方式实现晶圆的搬送。
9、优选的，所述主动轮与从动轮之间的传动齿带外侧表面与张紧轮相贴合，且张紧轮与位移臂为转动连接。
10、采用上述技术方案，使得主动轮能够通过传动齿带带动从动轮和a臂转动。
11、优选的，所述连接夹板为c字型的板状设计，且连接夹板通过螺栓与第一安装轮和第二安装轮之间的传动齿带固定连接。
12、采用上述技术方案，使得连接夹板能够在传动齿带的带动下带动位移臂横向滑动。
13、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该晶圆搬送机免换向检测机构：
14、1.通过l臂的升降以使得晶圆能够在正面检测完成后被l臂带动上升进行背面的检测，而旋转盘在晶圆背面检测完成后下降时带动晶圆旋转，以使得晶圆再次被带动上升后能够对首次检测存在的死角进行补充检测，保证检测的全面性；
15、2.通过a臂在l臂上晶圆检测完成后将晶圆带动移动至显微镜设备下方的方式，使得l臂和a臂能够通过配合交替检测的方式，使得晶圆的正反宏观检测和显微镜精密视觉检测能够同时进行，提升对晶圆的检测效果。
1.一种晶圆搬送机免换向检测机构，包括机座(1)、摇杆(2)、升降平台(4)、l臂(5)和a臂(6)，其特征在于：所述机座(1)的一侧外表面安装有摇杆(2)，且摇杆(2)所在的机座(1)外侧表面设置有控制按钮(3)，所述机座(1)的一端安装有滑动的升降平台(4)，且机座(1)的内部设置有l臂(5)和a臂(6)，所述升降平台(4)所在的机座(1)内部安装有升降电机(7)，且升降平台(4)所在的机座(1)内部安装有转动的位移杆(8)，并且位移杆(8)的上端设置有升降块(9)，所述升降电机(7)的输出轴与位移杆(8)的下端之间连接有传动齿带(20)，所述机座(1)的内部固定安装有液压升降杆(10)，且液压升降杆(10)的上端固定设置有安装座(11)，并且安装座(11)朝向机座(1)内部的一端与l臂(5)固定设置，所述l臂(5)的上表面设置有接触橡胶盘(12)，所述机座(1)的内部固定安装有旋转电机(13)，且旋转电机(13)的输出轴上端固定连接有旋转盘(14)，所述机座(1)的内部固定安装有滑轨(25)，且滑轨(25)的外表面安装有滑动的位移臂(15)，并且位移臂(15)的下端固定安装有调节电机(16)，所述调节电机(16)的上端固定连接有主动轮(17)，所述位移臂(15)的一端上表面内部安装有转动的从动轮(18)，所述从动轮(18)与主动轮(17)之间的位移臂(15)外表面安装有张紧轮(19)，所述从动轮(18)与主动轮(17)之间连接有传动齿带(20)，所述位移臂(15)的下端设置有连接夹板(21)，所述连接夹板(21)一侧的机座(1)内部固定安装有位移电机(22)，所述机座(1)的内部安装有转动的第一安装轮(23)和第二安装轮(24)，且第一安装轮(23)和第二安装轮(24)之间连接有传动齿带(20)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆搬送机免换向检测机构，其特征在于：所述升降平台(4)与升降块(9)固定安装，且升降块(9)与位移杆(8)螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆搬送机免换向检测机构，其特征在于：所述l臂(5)为弧形的中空架体设计，且l臂(5)与旋转盘(14)为同心设计。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆搬送机免换向检测机构，其特征在于：所述a臂(6)为h型设计，且a臂(6)的转轴与从动轮(18)的下端固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆搬送机免换向检测机构，其特征在于：所述主动轮(17)与从动轮(18)之间的传动齿带(20)外侧表面与张紧轮(19)相贴合，且张紧轮(19)与位移臂(15)为转动连接。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆搬送机免换向检测机构，其特征在于：所述连接夹板(21)为c字型的板状设计，且连接夹板(21)通过螺栓与第一安装轮(23)和第二安装轮(24)之间的传动齿带(20)固定连接。
