本技术涉及镀膜装置，具体为一种靶材移动及转动装置。
背景技术：
1、光学薄膜在近代光学发展中有着极为重要的作用，其产品被广泛应用在光学成像、生物医学、科学仪器、光纤通讯，5g基站建设、数据中心等领域中，且有着不可替代的地位。随着科技的发展市场对光学镀膜产品的指标要求越来越高，尤其是生物医疗，激光雷达及用于数据中心、窄带滤光片，在这些滤光片要求截至带极深的隔离深度和通带内极高的透过率，近乎矩形的陡度，而且波长精准度需要达到纳米级。离子束溅射镀膜有着镀膜速率稳定，成膜光洁度好、膜层致密度高，光谱性能稳定的优点，一直是高性能光学薄膜的首选。
2、目前市面上常规的离子束溅射镀膜机大部分采用三面靶材转动设计，也有部分配备二面靶材设计的镀膜机，镀膜时靶材与离子源成45度夹角，靶材与离子源距离固定，离子源与靶材及工件存在着一个反射关系，所有固定位置，成膜区域固定，产能固定，大小固定，如果需要提升产能及工件大小，此无法满足。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种靶材移动及转动装置，解决了镀膜时成膜区域小、产能低的问题。
2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种靶材移动及转动装置，包括镀膜腔体，所述镀膜腔体的内部右侧设置有离子源，所述镀膜腔体的内部且位于离子源的左侧设置有基板，所述镀膜腔体的上端固定连接有安装板，所述安装板的上端固定连接有立柱，所述立柱的上端固定连接有连接板，所述连接板的上端左侧固定连接有安装架，所述安装架的左端固定连接有水平移动电机，所述水平移动电机输出端的右端设置有滚珠丝杠，所述滚珠丝杠的外侧右部通过螺纹连接有移动平台，所述移动平台的下端固定连接有滑块，所述滑块的内部滑动套接有导轨，所述导轨与连接板固定连接，所述移动平台的上端固定连接有支架，所述支架的上端固定连接有靶材旋转电机，所述靶材旋转电机输出端的下端设置有柔性波纹管，所述柔性波纹管的下端设置有靶材安装接口。
3、优选的，所述立柱的数量为四个，四个所述立柱在安装板及连接板之间呈均匀分布。通过设计立柱，可对连接板进行支撑。
4、优选的，所述水平移动电机的输出端与安装架转动连接。通过设计水平移动电机，使得水平移动电机可沿安装架转动。
5、优选的，所述靶材旋转电机的输出端与支架转动连接。通过设计靶材旋转电机，使得靶材旋转电机的输出端可沿支架转动。
6、优选的，所述柔性波纹管分别与连接板及安装板活动连接。通过设计柔性波纹管，柔性波纹管连接腔体及机构中间，保证了工作时内部处于一个真空状态。
7、优选的，所述基板的底部设置有电机，所述电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴与基板固定连接。通过设计电机，电机可在镀膜时带动基板进行转动。
8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
9、本实用新型通过将靶材装置安装在镀膜腔体顶部，靶材旋转电机通过磁流体密封装置，带动靶材旋转，水平左右移动通过水平电机，带动滚珠丝杠沿着导轨进行左右往复平移，通过导轨下方的平台及四个支撑杆来支撑整个结构，柔性波纹管连接腔体及机构中间，保证了工作时内部处于一个真空状态，在工作时靶材往复左右移动，增加了行程，扫掠面积也随着增大，因此成膜区域和产能也大大提升，从而满足市场的迫切需求。
1.一种靶材移动及转动装置，包括镀膜腔体(1)，其特征在于：所述镀膜腔体(1)的内部右侧设置有离子源(2)，所述镀膜腔体(1)的内部且位于离子源(2)的左侧设置有基板(3)，所述镀膜腔体(1)的上端固定连接有安装板(4)，所述安装板(4)的上端固定连接有立柱(5)，所述立柱(5)的上端固定连接有连接板(6)，所述连接板(6)的上端左侧固定连接有安装架(7)，所述安装架(7)的左端固定连接有水平移动电机(8)，所述水平移动电机(8)输出端的右端设置有滚珠丝杠(9)，所述滚珠丝杠(9)的外侧右部通过螺纹连接有移动平台(10)，所述移动平台(10)的下端固定连接有滑块(11)，所述滑块(11)的内部滑动套接有导轨(12)，所述导轨(12)与连接板(6)固定连接，所述移动平台(10)的上端固定连接有支架(13)，所述支架(13)的上端固定连接有靶材旋转电机(14)，所述靶材旋转电机(14)输出端的下端设置有柔性波纹管(15)，所述柔性波纹管(15)的下端设置有靶材安装接口(16)。
2.根据权利要求1所述的一种靶材移动及转动装置，其特征在于：所述立柱(5)的数量为四个，四个所述立柱(5)在安装板(4)及连接板(6)之间呈均匀分布。
3.根据权利要求1所述的一种靶材移动及转动装置，其特征在于：所述水平移动电机(8)的输出端与安装架(7)转动连接。
4.根据权利要求1所述的一种靶材移动及转动装置，其特征在于：所述靶材旋转电机(14)的输出端与支架(13)转动连接。
5.根据权利要求1所述的一种靶材移动及转动装置，其特征在于：所述柔性波纹管(15)分别与连接板(6)及安装板(4)活动连接。
6.根据权利要求1所述的一种靶材移动及转动装置，其特征在于：所述基板(3)的底部设置有电机(17)，所述电机(17)的输出端固定连接有转轴(18)，所述转轴(18)与基板(3)固定连接。
