一种新型环保的半导体高效清洗设备的制作方法

专利2025-12-17  18


本技术涉及半导体高效清洗设备,尤其涉及一种新型环保的半导体高效清洗设备。


背景技术:

1、半导体器件在安装前需进行表面去除杂质工作,所以半导体器件清洗是安装加工的一个重要环节,为了提高半导体器件制造的产品合格率,公告号cn213793156u公开了一种半导体器件清洗机,属于半导体器件生产设备技术领域,包括清洗箱,所述清洗箱为顶面敞口的中空结构,其特征在于,所述清洗箱通过管道与供液罐连接,供液罐为清洗箱供给和补充清洗液;所述清洗箱侧壁上固定有液泵,所述液泵的输入端通过管道连接清洗箱底部,液泵的输出端通过管道连接清洗箱上部;所述清洗箱上方设有安装台,安装台由设置于清洗箱一侧的固定架固定,安装台上设有伸缩气缸,所述伸缩气缸的缸体固定在安装台上,伸缩气缸的活塞端向下穿过安装台并连接一清洗台,所述清洗台的上表面开设有多个供半导体器件置入的安置槽。本实用新型能够快速高效地将半导体器件清洗干净,提高工作效率,该产品虽然可以快速对批量的半导体器件进行清洁。但是对清洁使用后的清洁剂无法进行净化,需要使用后进行更换,从而使清洁剂使用量较大,较为不环保,同时还浪费了更换清洁剂的时间,实用性较差,需要进行改进。


技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决上述背景技术中提出的技术问题。

2、本实用新型采用了如下技术方案:一种新型环保的半导体高效清洗设备,包括外壳,所述外壳的上表面转动连接有顶盖,所述外壳的内部滑动连接有放置架,所述外壳的侧面固定安装有水泵a,所述水泵a的输出端固定安装有水箱,所述水箱的侧面固定安装有水泵b,所述水泵b的输出端固定安装有储存盒,所述储存盒的侧面固定安装有输送管,所述外壳的侧面固定安装有安装板,所述储存盒的上表面转动连接有转动板,所述转动板的内部滑动连接有限位杆,所述限位杆的一端固定安装有推板,所述推板的侧面固定安装有弹簧。

3、较佳的,所述外壳的侧面固定安装有控制模组,所述水箱和水泵a、水泵b与安装板之间固定连接。此处,通过安装板可以将水箱固定的更稳定。

4、较佳的,所述输送管为软体结构,所述输送管的一端通过顶盖与外壳的内部相连通。此处,通过输送管可以顺利的将净化后的清洁剂输送至外壳的内部。

5、较佳的,所述限位杆与储存盒之间滑动连接,所述弹簧的一端与转动板之间固定连接。此处,通过限位杆可以使转动板进行卡住固定。

6、较佳的,所述放置架的内部固定安装有放置板,所述外壳的侧面固定安装有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的输出端固定安装有连接块。此处,通过放置板可以对不同工件进行放置。

7、较佳的,所述连接块与外壳之间滑动连接,所述连接块与放置架之间固定连接。此处,通过连接块可以顺利的将放置架进行升降。

8、与现有技术相比,本实用新型的优点和积极效果在于,

9、1、本实用新型中,通过设置水泵a、水箱、水泵b、储存盒、输送管、转动板、限位杆、推板、弹簧,实现了可以使清洁剂循环利用,避免了使用完之后需要进行更换,从而减少了清洁剂的使用量,较为节省成本,以及更环保,还节省了更换清洁剂的时间,实用性较高。

10、2、本实用新型中,通过设置放置板、电动伸缩杆、连接块,实现了可以顺利的对不同的工件进行放置与取出,避免了工人需要将工件从清洁剂的内部捞出,直接可以将工件取出,实用性较高。



技术特征:

1.一种新型环保的半导体高效清洗设备,包括外壳(1),其特征在于:所述外壳(1)的上表面转动连接有顶盖(2),所述外壳(1)的内部滑动连接有放置架(3),所述外壳(1)的侧面固定安装有水泵a(5),所述水泵a(5)的输出端固定安装有水箱(6),所述水箱(6)的侧面固定安装有水泵b(7),所述水泵b(7)的输出端固定安装有储存盒(8),所述储存盒(8)的侧面固定安装有输送管(9),所述外壳(1)的侧面固定安装有安装板(17),所述储存盒(8)的上表面转动连接有转动板(10),所述转动板(10)的内部滑动连接有限位杆(11),所述限位杆(11)的一端固定安装有推板(12),所述推板(12)的侧面固定安装有弹簧(13)。

2.根据权利要求1所述的新型环保的半导体高效清洗设备,其特征在于:所述外壳(1)的侧面固定安装有控制模组(4),所述水箱(6)和水泵a(5)、水泵b(7)与安装板(17)之间固定连接。

3.根据权利要求1所述的新型环保的半导体高效清洗设备,其特征在于:所述输送管(9)为软体结构,所述输送管(9)的一端通过顶盖(2)与外壳(1)的内部相连通。

4.根据权利要求1所述的新型环保的半导体高效清洗设备,其特征在于:所述限位杆(11)与储存盒(8)之间滑动连接,所述弹簧(13)的一端与转动板(10)之间固定连接。

5.根据权利要求1所述的新型环保的半导体高效清洗设备,其特征在于:所述放置架(3)的内部固定安装有放置板(14),所述外壳(1)的侧面固定安装有电动伸缩杆(15),所述电动伸缩杆(15)的输出端固定安装有连接块(16)。

6.根据权利要求5所述的新型环保的半导体高效清洗设备,其特征在于:所述连接块(16)与外壳(1)之间滑动连接,所述连接块(16)与放置架(3)之间固定连接。


技术总结
本技术提供一种新型环保的半导体高效清洗设备,涉及半导体高效清洗设备技术领域,包括外壳,所述外壳的上表面转动连接有顶盖,所述外壳的内部滑动连接有放置架,所述外壳的侧面固定安装有水泵A,所述水泵A的输出端固定安装有水箱,所述水箱的侧面固定安装有水泵B,所述水泵B的输出端固定安装有储存盒,所述储存盒的侧面固定安装有输送管,所述外壳的侧面固定安装有安装板,本技术中,通过设置水泵A、水箱、水泵B、储存盒、输送管、转动板、限位杆、推板、弹簧,实现了可以使清洁剂循环利用,避免了使用完之后需要进行更换,从而减少了清洁剂的使用量,较为节省成本,以及更环保,还节省了更换清洁剂的时间,实用性较高。

技术研发人员:周明,吴志东
受保护的技术使用者:无锡市安晏克半导体有限公司
技术研发日:20231201
技术公布日:2024/7/25
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