本发明属于废料回收，具体为一种半导体剥离液回收再利用设备。
背景技术：
1、在当今快速发展的半导体制造领域，光刻技术作为构建微纳级电路图案的基石，其精确度和效率直接影响着芯片性能。而光刻胶作为光刻工艺中的关键辅助材料，其应用与去除过程的优化成为了提升制造效率与降低成本的关键环节，这就引出了光刻胶剥离液相关设备的创新需求。
2、半导体剥离液成分复杂，重要由多种醇类、酸性、碱性物质和助剂等一系列溶质和溶剂混合而成，在与光刻胶等反应时，仅有少部分溶质和溶剂与光刻胶反应生成新的化合物，因此反应后回收剥离液的仍有重复利用的价值，但是由于回收后的剥离液中存在新生成的化合物，导致有效成分比例降低，反应效果变差，因此需要对反应后的剥离液进行提纯，并除去新生成的化合物，现有离心机对多种溶剂构成的混合液进行进行离心分离后，会在其分离容器中生成多层分离层，导致每次分离后，需要小心将分离容器中不同分离层内的分离液倒入不同容器中，随着混合液中溶剂数量的增加，每次将不同分离层内的分离液倒入不同容器的次数增多，导致其只能适用于溶剂种类少和数量少的溶剂进行分离，无法适用于半导体剥离液大批量和高效分离回收。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种半导体剥离液回收再利用设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体剥离液回收再利用设备，包括底座，所述底座的上表面固定安装有安装壳，所述底座上表面的中部固定安装有收集壳，所述收集壳的上表面圆周等距多个回收槽，所述收集壳的中部固定套接有驱动件，所述驱动件的输出端固定安装有主轴，所述主轴的底部滑动套接有第一分离机构，所述第一分离机构与安装壳内曲面固定连接，所述第一分离机构上表面的中部固定安装有第一弹性件，所述第一弹性件的顶端固定安装有第二分离机构，所述第二分离机构与主轴滑动套接，所述第二分离机构上表面的中部固定安装有第二弹性件，所述第二弹性件的顶端固定安装有第三分离机构，所述第三分离机构与主轴滑动套接，所述第三分离机构上表面的中部固定安装有第三弹性件，所述第三弹性件的顶端固定安装有第四分离机构，所述第四分离机构上表面的中部固定安装有第四弹性件，所述第四弹性件的顶端固定安装有第五分离机构，所述第五分离机构与主轴滑动套接，所述第一分离机构、第二分离机构、第三分离机构、第四分离机构和第五分离机构相互滑动套接，第一分离机构、第二分离机构、第三分离机构、第四分离机构和第五分离机构之间设有下压机构，所述安装壳外曲面的上部设有驱动机构。
3、优选的，所述第四分离机构包括第四离心座，所述第四离心座与主轴滑动套接，所述第四离心座的底面与第三弹性件的顶端固定连接，所述第四离心座上表面的中部固定安装有分隔套，所述分隔套将第四离心座平均分成两个相同且互不干扰的分离腔，所述分隔套的中部滑动套接有分隔板，所述分隔板与第五分离机构的底面固定连接，两个所述分离腔外侧均设有第一外槽，所述第一外槽开设在第四离心座上表面远离分隔套的一侧，两个所述分离腔的内侧均设有第一内槽，所述第一内槽开设在第四离心座上表面的内侧，所述第一外槽与所述第一内槽的内曲面均设有与其形状配合的第一单向阀。
4、优选的，所述第五分离机构包括第四离心座，所述第四离心座与主轴滑动套接，所述第四离心座的底面与第四弹性件的顶端固定连接，所述第四离心座上表面的中部固定安装有内套，所述第四离心座的中部固定安装与外套，所述内套位于外套的内部，所述外套的底部设有通槽，所述外套的外曲面滑动套接有塞板，所述塞板的顶端固定安装有第五磁环，所述塞板底面的内侧固定安装有第五弹性件，所述第五弹性件的底端与第四离心座的上表面固定连接，所述第五弹性件采用耐腐蚀材料制成，所述第四离心座的内侧开设有第二内槽，所述第四离心座的开外侧设有第二外槽，所述第二内槽与第二外槽的中部均设有与第一单向阀结构相同且形状相似的第二单向阀。
5、优选的，所述下压机构包括第一套环，所述第一套环活动套接在第一分离机构的外曲面，所述第一套环与安装壳内曲面固定连接，所述第二分离机构的外曲面活动套接有第二套环，所述第二套环与第一套环滑动套接，所述第二套环的顶端固定安装有第一磁环，所述第三分离机构的外曲面滑动套接有第三套环，所述第三套环的顶端固定安装有第二磁环，所述第四分离机构的外曲面滑动套接有第四套环，所述第四套环的顶端固定安装有第三磁环，所述第五分离机构的外曲面滑动套接有第五套环，所述第五套环的顶端固定安装有第四磁环，所述安装壳的内曲面圆周等距固定安装有多个第一导向槽，所述第一磁环外曲面的中部圆周等距固定安装有多个第一限转块，所述第一限转块与第一导向槽滑动套接，所述第一磁环的内曲面圆周等距固定安装有多个第二导向槽，所述第二磁环的外曲面圆周等距固定安装有多个第二限转块，所述第二限转块与第二导向槽滑动套接，所述第二磁环的外曲面圆周等距固定安装有第三导向槽，所述第三磁环的外曲面圆周等距固定安装有第三限转块，所述第三限转块与第三导向槽滑动套接，所述第五套环的外曲面圆周等距开设有多个第四导向槽，所述第五套环的外曲面圆周等距固定安装有多个第四限转块，所述第四限转块与第四导向槽滑动套接。
6、优选的，所述驱动机构包括固定套，所述固定套固定套接在安装壳外曲面的上部，所述固定套的上表面圆周等距固定安装有多个支撑杆，所述支撑杆的顶端固定安装有支撑板，所述支撑板的下表面固定安装有第一电磁环，所述第一电磁环的内侧设有第二电磁环，所述第二电磁环的内侧设有第三电磁环，所述第三电磁环的内侧设有第四电磁环，所述第四电磁环的内侧设有第五电磁环，所述第二电磁环、第三电磁环、第四电磁环和第五电磁环均与支撑板固定连接。
7、优选的，第一分离机构、第二分离机构、第三分离机构、第四分离机构和第五分离机构的直径大到小依次等距减小，所述第四分离机构、第三分离机构、第二分离机构和第一分离机构的结构相同且相似，所述第四分离机构、第三分离机构、第二分离机构与第一分离机构之间分离腔的数量相邻下一级是上一级的两倍，所述第四分离机构仅有两个分离腔。
8、优选的，所述第一电磁环、第二电磁环、第三电磁环、第四电磁环和第五电磁环均采用磁铁制成，所述第一电磁环、第三电磁环和第五电磁环的底部与第二电磁环和第四电磁环的磁性方向相反，所述第一磁环、第二磁环、第三磁环、第三磁环和第五套环均采用磁铁材料制成，第一电磁环、第二电磁环、第三电磁环、第四电磁环和第五电磁环的底端与其正下方的第一磁环、第二磁环、第三磁环、第三磁环和第五套环的磁性方向相反。
9、本发明的有益效果如下：
10、1、本发明驱动件的输出轴通过主轴带动第一分离机构、第二分离机构、第三分离机构、第四分离机构和第五分离机构同步转动，使分离腔内部的剥离液在离心的作用下根据密度的不同进行分离，使分离腔内侧的剥离液密度大于分离腔外侧剥离密度，此时分离腔内侧密度大的剥离液和分离腔外侧密度小的剥离液分别通过内侧和外侧的第一单向阀或第二单向阀分别流入下一级分离机构不同的分离腔内，此外通过驱动机构和下压机构交替使相邻两个分离机构相互靠拢，从而实现将上一级分离机构分离腔内部的剥离液挤压至下一级分离机构分离腔的内部，从而实现对剥离液中混合的成分连续进行分离和提纯，并通过收集壳对分离的剥离液进行分类回收，排除剥离液与光刻胶反应后产生的化合物，同时将回收提纯后可利用的部分重新配成新的剥离液。
11、2、本发明由于第一分离机构、第二分离机构、第三分离机构、第四分离机构和第五分离机构的直径大到小依次等距减小，当驱动件的输出端通过主轴带动第一分离机构、第二分离机构、第三分离机构、第四分离机构和第五分离机构同步转动时，第一分离机构、第二分离机构、第三分离机构、第四分离机构和第五分离机构的离心力依次减小，从而实现当剥离液从第五分离机构向第一分离机构的过程中不断离心分离后，为下一级每份密度差变小的剥离液提供更强的离心力对其进行离心分离，从而克服当采用尺寸相同的第一分离机构、第二分离机构、第三分离机构、第四分离机构和第五分离机构时，最上层的对离心力要求最小的第五分离机构与最下层的对离心力要求最大的第五分离机构采用同等功耗时，造成驱动件负载过大和电能浪费问题。
1.一种半导体剥离液回收再利用设备，包括底座(1)，所述底座(1)的上表面固定安装有安装壳(2)，其特征在于：所述底座(1)上表面的中部固定安装有收集壳(3)，所述收集壳(3)的上表面圆周等距多个回收槽，所述收集壳(3)的中部固定套接有驱动件(4)，所述驱动件(4)的输出端固定安装有主轴(5)，所述主轴(5)的底部滑动套接有第一分离机构(6)，所述第一分离机构(6)与安装壳(2)内曲面固定连接，所述第一分离机构(6)上表面的中部固定安装有第一弹性件(7)，所述第一弹性件(7)的顶端固定安装有第二分离机构(8)，所述第二分离机构(8)与主轴(5)滑动套接，所述第二分离机构(8)上表面的中部固定安装有第二弹性件(9)，所述第二弹性件(9)的顶端固定安装有第三分离机构(10)，所述第三分离机构(10)与主轴(5)滑动套接，所述第三分离机构(10)上表面的中部固定安装有第三弹性件(11)，所述第三弹性件(11)的顶端固定安装有第四分离机构(12)，所述第四分离机构(12)上表面的中部固定安装有第四弹性件(13)，所述第四弹性件(13)的顶端固定安装有第五分离机构(14)，所述第五分离机构(14)与主轴(5)滑动套接，所述第一分离机构(6)、第二分离机构(8)、第三分离机构(10)、第四分离机构(12)和第五分离机构(14)相互滑动套接，第一分离机构(6)、第二分离机构(8)、第三分离机构(10)、第四分离机构(12)和第五分离机构(14)之间设有下压机构(15)，所述安装壳(2)外曲面的上部设有驱动机构(16)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体剥离液回收再利用设备，其特征在于：所述第四分离机构(12)包括第四离心座(1201)，所述第四离心座(1201)与主轴(5)滑动套接，所述第四离心座(1201)的底面与第三弹性件(11)的顶端固定连接，所述第四离心座(1201)上表面的中部固定安装有分隔套(1202)，所述分隔套(1202)将第四离心座(1201)平均分成两个相同且互不干扰的分离腔，所述分隔套(1202)的中部滑动套接有分隔板(1203)，所述分隔板(1203)与第五分离机构(14)的底面固定连接，两个所述分离腔外侧均设有第一外槽(1204)，所述第一外槽(1204)开设在第四离心座(1201)上表面远离分隔套(1202)的一侧，两个所述分离腔的内侧均设有第一内槽(1205)，所述第一内槽(1205)开设在第四离心座(1201)上表面的内侧，所述第一外槽(1204)与所述第一内槽(1205)的内曲面均设有与其形状配合的第一单向阀(121)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体剥离液回收再利用设备，其特征在于：所述第五分离机构(14)包括第四离心座(1401)，所述第四离心座(1401)与主轴(5)滑动套接，所述第四离心座(1401)的底面与第四弹性件(13)的顶端固定连接，所述第四离心座(1401)上表面的中部固定安装有内套(1402)，所述第四离心座(1401)的中部固定安装与外套(1403)，所述内套(1402)位于外套(1403)的内部，所述外套(1403)的底部设有通槽，所述外套(1403)的外曲面滑动套接有塞板(1404)，所述塞板(1404)的顶端固定安装有第五磁环(1405)，所述塞板(1404)底面的内侧固定安装有第五弹性件(1406)，所述第五弹性件(1406)的底端与第四离心座(1401)的上表面固定连接，所述第五弹性件(1406)采用耐腐蚀材料制成，所述第四离心座(1401)的内侧开设有第二内槽(1407)，所述第四离心座(1401)的开外侧设有第二外槽(1408)，所述第二内槽(1407)与第二外槽(1408)的中部均设有与第一单向阀(121)结构相同且形状相似的第二单向阀(141)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体剥离液回收再利用设备，其特征在于：所述下压机构(15)包括第一套环(1501)，所述第一套环(1501)活动套接在第一分离机构(6)的外曲面，所述第一套环(1501)与安装壳(2)内曲面固定连接，所述第二分离机构(8)的外曲面活动套接有第二套环(1502)，所述第二套环(1502)与第一套环(1501)滑动套接，所述第二套环(1502)的顶端固定安装有第一磁环(1503)，所述第三分离机构(10)的外曲面滑动套接有第三套环(1504)，所述第三套环(1504)的顶端固定安装有第二磁环(1505)，所述第四分离机构(12)的外曲面滑动套接有第四套环(1506)，所述第四套环(1506)的顶端固定安装有第三磁环(1507)，所述第五分离机构(14)的外曲面滑动套接有第五套环(1508)，所述第五套环(1508)的顶端固定安装有第四磁环(1509)，所述安装壳(2)的内曲面圆周等距固定安装有多个第一导向槽，所述第一磁环(1503)外曲面的中部圆周等距固定安装有多个第一限转块(1510)，所述第一限转块(1510)与第一导向槽滑动套接，所述第一磁环(1503)的内曲面圆周等距固定安装有多个第二导向槽，所述第二磁环(1505)的外曲面圆周等距固定安装有多个第二限转块(1511)，所述第二限转块(1511)与第二导向槽滑动套接，所述第二磁环(1505)的外曲面圆周等距固定安装有第三导向槽，所述第三磁环(1507)的外曲面圆周等距固定安装有第三限转块(1512)，所述第三限转块(1512)与第三导向槽滑动套接，所述第五套环(1508)的外曲面圆周等距开设有多个第四导向槽，所述第五套环(1508)的外曲面圆周等距固定安装有多个第四限转块(1513)，所述第四限转块(1513)与第四导向槽滑动套接。
5.根据权利要求4所述的一种半导体剥离液回收再利用设备，其特征在于：所述驱动机构(16)包括固定套(1601)，所述固定套(1601)固定套接在安装壳(2)外曲面的上部，所述固定套(1601)的上表面圆周等距固定安装有多个支撑杆(1602)，所述支撑杆(1602)的顶端固定安装有支撑板(1603)，所述支撑板(1603)的下表面固定安装有第一电磁环(1604)，所述第一电磁环(1604)的内侧设有第二电磁环(1605)，所述第二电磁环(1605)的内侧设有第三电磁环(1606)，所述第三电磁环(1606)的内侧设有第四电磁环(1607)，所述第四电磁环(1607)的内侧设有第五电磁环(1608)，所述第二电磁环(1605)、第三电磁环(1606)、第四电磁环(1607)和第五电磁环(1608)均与支撑板(1603)固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种半导体剥离液回收再利用设备，其特征在于：第一分离机构(6)、第二分离机构(8)、第三分离机构(10)、第四分离机构(12)和第五分离机构(14)的直径大到小依次等距减小，所述第四分离机构(12)、第三分离机构(10)、第二分离机构(8)和第一分离机构(6)的结构相同且相似，所述第四分离机构(12)、第三分离机构(10)、第二分离机构(8)与第一分离机构(6)之间分离腔的数量相邻下一级是上一级的两倍，所述第四分离机构(12)仅有两个分离腔。
7.根据权利要求6所述的一种半导体剥离液回收再利用设备，其特征在于：所述第一电磁环(1604)、第二电磁环(1605)、第三电磁环(1606)、第四电磁环(1607)和第五电磁环(1608)均采用磁铁制成，所述第一电磁环(1604)、第三电磁环(1606)和第五电磁环(1608)的底部与第二电磁环(1605)和第四电磁环(1607)的磁性方向相反，所述第一磁环(1503)、第二磁环(1505)、第三磁环(1507)、第三磁环(1507)和第五套环(1508)均采用磁铁材料制成，第一电磁环(1604)、第二电磁环(1605)、第三电磁环(1606)、第四电磁环(1607)和第五电磁环(1608)的底端与其正下方的第一磁环(1503)、第二磁环(1505)、第三磁环(1507)、第三磁环(1507)和第五套环(1508)的磁性方向相反。
