升级真空离子镀膜设备二轴系统的制作方法

专利2025-11-12  16


本技术属于真空镀膜设备部件,特别涉及一种升级版真空离子镀膜设备二轴系统。


背景技术:

1、二轴系统是真空镀膜设备的重要组成部分,目前二轴系统大部分是二轴杆下端是圆柱形的销子,直接插在二轴座的圆柱形内孔里的方式,该方式二轴杆与二轴座的接触面积只有二轴杆销子的圆柱表面积和底面积,因此该方式接触面积小,会影响产品镀膜时的导电性,影响产品品质,增加产品不良率的风险。


技术实现思路

1、本实用新型在于克服上述技术不足,提供一种结构简单,使用方便,导电性强,可有效提升产品品质的升级版真空离子镀膜设备二轴系统。

2、本实用新型是这样实现的:升级版真空离子镀膜设备二轴系统,包括转架大盘、二轴座、二轴杆、柱销、平垫,所述二轴座连接转架大盘,二轴座中心开设有内孔,二轴杆底面焊接平垫,平垫下端面焊接柱销,所述柱销插入所述二轴座的内孔且与内孔紧密接触,所述柱销的高度小于等于内孔高度使柱销插入内孔后平垫下端面和二轴座上端面接触。

3、进一步地,所述二轴座通过螺钉连接在转架大盘上。

4、进一步地,所述转架大盘上连接若干个二轴座,所述二轴座沿转架大盘圆周阵列等距排布,每个二轴座上连接二轴杆。

5、进一步地,所述二轴杆的轴心线与柱销的轴心线重合,增加稳定性。

6、进一步地,所述二轴杆的直径大于柱销直径,增加稳定性。

7、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该实用新型结构简单,设计巧妙,这样在保证了二轴杆柱销与二轴座内孔接触外,增加了平垫与二轴座上端面的接触面积,进而增加了二轴杆与二轴座之间的接触面积,提升了产品镀膜时的导电性,降低了产品不良率的风险。



技术特征:

1.升级真空离子镀膜设备二轴系统,其特征在于,包括转架大盘、二轴座、二轴杆、柱销、平垫,所述二轴座连接转架大盘,二轴座中心开设有内孔,二轴杆底面焊接平垫,平垫下端面焊接柱销,所述柱销插入所述二轴座的内孔且与内孔紧密接触,所述柱销的高度小于等于内孔高度使柱销插入内孔后平垫的下端面和二轴座上端面接触。

2.根据权利要求1所述的升级真空离子镀膜设备二轴系统,其特征在于,所述二轴座通过螺钉连接在转架大盘上。

3.根据权利要求1所述的升级真空离子镀膜设备二轴系统,其特征在于,所述转架大盘上连接若干个二轴座,所述二轴座沿转架大盘圆周阵列等距排布,每个二轴座上连接二轴杆。

4.根据权利要求1所述的升级真空离子镀膜设备二轴系统,其特征在于,所述二轴杆的轴心线与柱销的轴心线重合。

5.根据权利要求4所述的升级真空离子镀膜设备二轴系统,其特征在于,所述二轴杆的直径大于柱销直径。


技术总结
本技术公开了一种升级版真空离子镀膜设备二轴系统,包括转架大盘、二轴座、二轴杆、柱销、平垫,所述二轴座连接转架大盘,二轴座中心开设有内孔,二轴杆底面焊接平垫,平垫下端面焊接柱销,所述柱销插入所述二轴座的内孔且与内孔紧密接触,所述柱销的高度小于等于内孔高度使柱销插入内孔后平垫的下端面和二轴座的上端面接触。该技术结构简单,设计巧妙,在保证了二轴杆柱销与二轴座内孔接触外,增加了平垫与二轴座上端面的接触面积,进而增加了二轴杆与二轴座之间的接触面积,提升了产品镀膜时的导电性,降低了产品不良率的风险。

技术研发人员:王吉哲,孙英斌,高琳
受保护的技术使用者:纳诺精机(大连)有限公司
技术研发日:20240121
技术公布日:2024/7/25
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