本技术涉及晶硅切割,具体为一种新型晶硅切割装置。
背景技术:
1、硅片切割机工作原理是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而实现硅材料的切割。硅片切割机主要用于金属材料及硅、锗、砷化镓和其他半导体衬底材料的划片和切割,可加工太阳能电池板、硅片、陶瓷片、铝箔片等,工件精细美观,切边光滑,可极大地提高加工效率和优化加工效果;
2、但是目前市场上的晶硅切割装置设计简单,无法实现多重刻划,只能通过单一的激光进行刻痕,导致晶硅表面刻痕不明显,并且裂痕只能等待晶硅自然冷却裂解,影响切割效率。
技术实现思路
1、本实用新型提供一种新型晶硅切割装置,可以有效解决上述背景技术中提出晶硅切割装置设计简单,无法实现多重刻划,只能通过单一的激光进行刻痕,导致晶硅表面刻痕不明显,并且裂痕只能等待晶硅自然冷却裂解,影响切割效率的问题。
2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种新型晶硅切割装置,包括载台箱,所述载台箱一侧安装有转动电机,所述载台箱内部安装有晶硅切割机构;
3、所述晶硅切割机构包括喷水器、辅激光器、装镜筒、移动台、聚焦透镜主激光器和分束镜;
4、所述载台箱内部顶端安装有移动台,所述移动台底端一侧连接有喷水器,所述移动台底端中部安装有辅激光器,所述移动台底端另一侧连接有主激光器,所述主激光器底部安装有装镜筒,所述装镜筒内侧顶部安装有分束镜,所述分束镜内侧底部安装有聚焦透镜。
5、优选的,所述分束镜和聚焦透镜两侧均安装有卡柱,卡柱将装镜筒与分束镜和聚焦透镜分别固定连接。
6、优选的,所述辅激光器在移动台底端倾斜固定,所述喷水器、辅激光器和装镜筒的中轴线均位于同一平面上。
7、优选的,所述主激光器发射的是刻痕激光,所述辅激光器发射的是裂片激光,所述移动台顶端与载台箱内壁顶端契合。
8、优选的,所述载台箱内部设置有移动机构,所述移动机构包括转动电机、丝杆、直杆、驱动块和连接杆;
9、所述转动电机的输出轴连接有丝杆,所述移动台两侧焊接有连接杆,所述连接杆的端部焊接有驱动块,所述驱动块与丝杆之间通过螺纹契合连接,且驱动块与直杆之间滑动连接,所述直杆固定安装于载台箱的内侧顶部。
10、优选的,所述载台箱正面铰链有玻璃门,所述玻璃门中部安装有把手,所述玻璃门四周边角部粘接有密封橡胶。
11、与现有技术相比,本实用新型的有益效果:本实用新型结构科学合理,使用安全方便;
12、1.设有晶硅切割机构,通过主激光器发射一束激光,激光进入装镜筒,主激光器通过分束镜,使一束激光分成四束激光,四束激光再经过聚焦透镜变为四束刻痕激光,随着移动台的带动下,使晶硅上实现多重刻划,在通过辅激光器发射裂片激光,喷水器喷射去离子水进行冷却,晶硅划刻位置产生温差实现自然裂片,节省了切割时间,加深了晶硅表面刻痕深度。
13、2.设置有移动机构,通过转动电机输出端与丝杆焊接,带动丝杆转动,丝杆与驱动块螺纹连接,直杆与驱动块滑动连接,移动台通过连接杆分别与直杆和丝杆上的驱动块焊接,使移动台进行前后位移,从而实现在晶硅表面自动进行切割,增加了切割效率。
1.一种新型晶硅切割装置,包括载台箱(1),其特征在于:所述载台箱(1)一侧安装有转动电机(2),所述载台箱(1)内部安装有晶硅切割机构;
2.根据权利要求1所述的一种新型晶硅切割装置,其特征在于,所述分束镜(14)和聚焦透镜(12)两侧均安装有卡柱,卡柱将装镜筒(10)与分束镜(14)和聚焦透镜(12)分别固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种新型晶硅切割装置,其特征在于,所述辅激光器(9)在移动台(11)底端倾斜固定,所述喷水器(8)、辅激光器(9)和装镜筒(10)的中轴线均位于同一平面上。
4.根据权利要求1所述的一种新型晶硅切割装置,其特征在于,所述主激光器(13)发射的是刻痕激光,所述辅激光器(9)发射的是裂片激光,所述移动台(11)顶端与载台箱(1)内壁顶端契合。
5.根据权利要求1所述的一种新型晶硅切割装置,其特征在于,所述载台箱(1)内部设置有移动机构,所述移动机构包括转动电机(2)、丝杆(6)、直杆(7)、驱动块(16)和连接杆(17);
6.根据权利要求1所述的一种晶硅切割装置,其特征在于,所述载台箱(1)正面铰链有玻璃门(3),所述玻璃门(3)中部安装有把手(4),所述玻璃门(3)四周边角部粘接有密封橡胶(15)。
