一种圆晶光学检测夹具的制作方法

专利2022-06-29  57


本实用新型是一种圆晶光学检测夹具,属于圆晶光学检测技术领域。



背景技术:

圆晶是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片,由于其形状为圆形,故称为圆晶。圆晶是生产集成电路所用的载体,一般意义晶圆多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼,经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒,单晶硅棒经过抛光、切片之后,就成为了圆晶。圆晶生产后需要使用显微镜平台进行精密检测,能够观察晶圆微观的颗粒,划伤,污染等情况,检测夹具就是用来夹持圆晶进行移动的。

现有的圆晶光学检测夹具防护功能有所不足,夹取圆晶的过程中容易出现划痕,并且圆晶移动时可能滑落,不方便对圆晶进行便捷的夹取移动,现在急需一种圆晶光学检测夹具来解决上述出现的问题。



技术实现要素:

针对现有技术存在的不足,本实用新型目的是提供一种圆晶光学检测夹具,以解决上述背景技术中提出的问题,本实用新型结构合理,操作简单,防护功能好,夹取便利。

为了实现上述目的,本实用新型是通过如下的技术方案来实现:一种圆晶光学检测夹具,包括保护夹持机构、承重架、连接杆、转动把、固定柱、转动座以及固定底座,所述固定底座上端面安装有转动座,所述转动座上端面安装有固定柱,所述固定柱上端面安装有转动把,所述固定柱左端面安装有连接杆,所述连接杆下端面连接有承重架,所述承重架下侧设置有保护夹持机构,所述保护夹持机构包括螺纹柱、真空泵、第一轴承、螺母座、旋转柱、减速电机、安装座、真空吸盘以及夹持板,所述固定底座内部下侧装配有减速电机,所述减速电机上侧连接有旋转柱,所述固定柱内部设置有旋转柱,所述固定柱内部上侧安装有第一轴承,所述旋转柱环形侧面安装有螺母座,所述连接杆下端面安装有安装座,所述安装座下端面中间位置安装有真空吸盘,所述安装座上端面中间位置装配有真空泵,所述安装座左端面连接有螺纹柱,所述安装座下端面左右两侧安装有夹持板。

进一步地,所述夹持板上端面安装有连接柱,且连接柱上端面连接有随动杆,所述随动杆左端面安装有第二轴承,所述安装座下端面开设有随动槽,且随动槽与连接柱相匹配,所述随动杆通过连接柱与夹持板相连接,所述夹持板内侧安装有硅橡胶防滑垫。

进一步地,所述安装座左端面开设有螺纹孔,且螺纹孔与螺纹柱相匹配。

进一步地,所述旋转柱外表面刻设有外螺纹,所述螺母座内部安装有滚珠螺母,所述螺母座通过滚珠螺母与旋转柱相连接,所述螺母座左端面连接有移动杆,所述固定柱左端面开设有移动槽,且移动杆与移动槽相匹配,所述螺母座通过移动杆与连接杆相连接。

进一步地,所述减速电机上端面安装有联轴器,所述减速电机通过联轴器与旋转柱相连接。

进一步地,所述真空泵和减速电机通过导线与外界电源相连接,所述减速电机设置为双向转动。

本实用新型的有益效果:本实用新型的一种圆晶光学检测夹具,因本实用新型添加了螺纹柱、真空泵、第一轴承、螺母座、旋转柱、减速电机、安装座、真空吸盘以及夹持板,该设计方便对圆晶进行便捷的夹取移动,解决了原有的圆晶光学检测夹具防护功能有所不足的问题,提高了本实用新型的夹持保护效果。

因夹持板上端面安装有连接柱,且连接柱上端面连接有随动杆,随动杆左端面安装有第二轴承,安装座下端面开设有随动槽,且随动槽与连接柱相匹配,随动杆通过连接柱与夹持板相连接,夹持板内侧安装有硅橡胶防滑垫,该设计方便对圆晶进行调节夹持,因安装座左端面开设有螺纹孔,且螺纹孔与螺纹柱相匹配,螺纹孔方便螺纹柱的安装使用,本实用新型结构合理,操作简单,防护功能好,夹取便利。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:

图1为本实用新型一种圆晶光学检测夹具的结构示意图;

图2为本实用新型一种圆晶光学检测夹具中保护夹持机构的结构示意图;

图3为本实用新型一种圆晶光学检测夹具中安装座的仰视剖面图;

图中:1-保护夹持机构、2-承重架、3-连接杆、4-转动把、5-固定柱、6-转动座、7-固定底座、11-螺纹柱、12-真空泵、13-第一轴承、14-螺母座、15-旋转柱、16-减速电机、17-安装座、18-真空吸盘、19-夹持板、191-随动杆。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。

请参阅图1-图3,本实用新型提供一种技术方案:一种圆晶光学检测夹具,包括保护夹持机构1、承重架2、连接杆3、转动把4、固定柱5、转动座6以及固定底座7,固定底座7上端面安装有转动座6,转动座6上端面安装有固定柱5,固定柱5上端面安装有转动把4,固定柱5左端面安装有连接杆3,连接杆3下端面连接有承重架2,承重架2下侧设置有保护夹持机构1。

保护夹持机构1包括螺纹柱11、真空泵12、第一轴承13、螺母座14、旋转柱15、减速电机16、安装座17、真空吸盘18以及夹持板19,固定底座7内部下侧装配有减速电机16,减速电机16上侧连接有旋转柱15,固定柱5内部设置有旋转柱15,固定柱5内部上侧安装有第一轴承13,旋转柱15环形侧面安装有螺母座14,连接杆3下端面安装有安装座17,安装座17下端面中间位置安装有真空吸盘18,安装座17上端面中间位置装配有真空泵12,安装座17左端面连接有螺纹柱11,安装座17下端面左右两侧安装有夹持板19,该设计解决了原有的圆晶光学检测夹具防护功能有所不足的问题。

夹持板19上端面安装有连接柱,且连接柱上端面连接有随动杆191,随动杆191左端面安装有第二轴承,安装座17下端面开设有随动槽,且随动槽与连接柱相匹配,随动杆191通过连接柱与夹持板19相连接,夹持板19内侧安装有硅橡胶防滑垫,该设计方便对圆晶进行调节夹持,安装座17左端面开设有螺纹孔,且螺纹孔与螺纹柱11相匹配,螺纹孔方便螺纹柱11的安装使用。

旋转柱15外表面刻设有外螺纹,螺母座14内部安装有滚珠螺母,螺母座14通过滚珠螺母与旋转柱15相连接,螺母座14左端面连接有移动杆,固定柱5左端面开设有移动槽,且移动杆与移动槽相匹配,螺母座14通过移动杆与连接杆3相连接,该设计方便连接杆3的移动,减速电机16上端面安装有联轴器,减速电机16通过联轴器与旋转柱15相连接,联轴器方便减速电机16带动旋转柱15旋转,真空泵12和减速电机16通过导线与外界电源相连接,减速电机16设置为双向转动,该设计方便为真空泵12和减速电机16提供电能。

作为本实用新型的一个实施例:使用人员首先把夹持板19靠近放置圆晶的地方进行夹取,当圆晶置于夹持板19中间的时候,把真空泵12通过导线与外界电源相连接,真空泵12接收电能开始工作,真空泵12抽空真空吸盘18内的空气,使真空吸盘18紧紧吸附住圆晶,然后顺时针转动螺纹柱11,螺纹柱11通过螺纹孔向内侧转动,螺纹柱11利用第二轴承带动随动杆191向右移动,随动杆191通过连接柱带动夹持板19向右移动,夹持板19和硅橡胶防滑垫向右移动,两个夹持板19对圆晶进行夹持,再把减速电机16通过导线与外界电源相连接,减速电机16接收电能开始顺时针旋转工作,减速电机16通过联轴器带动旋转柱15旋转,旋转柱15通过滚珠螺母带动螺母座14向上移动,此时旋转转动把4,转动把4带动固定柱5在转动座6上旋转,从而带动圆晶移动,提高了本实用新型的夹持保护效果。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。


技术特征:

1.一种圆晶光学检测夹具,包括保护夹持机构、承重架、连接杆、转动把、固定柱、转动座以及固定底座,其特征在于:所述固定底座上端面安装有转动座,所述转动座上端面安装有固定柱,所述固定柱上端面安装有转动把,所述固定柱左端面安装有连接杆,所述连接杆下端面连接有承重架,所述承重架下侧设置有保护夹持机构;

所述保护夹持机构包括螺纹柱、真空泵、第一轴承、螺母座、旋转柱、减速电机、安装座、真空吸盘以及夹持板,所述固定底座内部下侧装配有减速电机,所述减速电机上侧连接有旋转柱,所述固定柱内部设置有旋转柱,所述固定柱内部上侧安装有第一轴承,所述旋转柱环形侧面安装有螺母座,所述连接杆下端面安装有安装座,所述安装座下端面中间位置安装有真空吸盘,所述安装座上端面中间位置装配有真空泵,所述安装座左端面连接有螺纹柱,所述安装座下端面左右两侧安装有夹持板。

2.根据权利要求1所述的一种圆晶光学检测夹具,其特征在于:所述夹持板上端面安装有连接柱,且连接柱上端面连接有随动杆,所述随动杆左端面安装有第二轴承,所述安装座下端面开设有随动槽,且随动槽与连接柱相匹配,所述随动杆通过连接柱与夹持板相连接,所述夹持板内侧安装有硅橡胶防滑垫。

3.根据权利要求1所述的一种圆晶光学检测夹具,其特征在于:所述安装座左端面开设有螺纹孔,且螺纹孔与螺纹柱相匹配。

4.根据权利要求1所述的一种圆晶光学检测夹具,其特征在于:所述旋转柱外表面刻设有外螺纹,所述螺母座内部安装有滚珠螺母,所述螺母座通过滚珠螺母与旋转柱相连接,所述螺母座左端面连接有移动杆,所述固定柱左端面开设有移动槽,且移动杆与移动槽相匹配,所述螺母座通过移动杆与连接杆相连接。

5.根据权利要求1所述的一种圆晶光学检测夹具,其特征在于:所述减速电机上端面安装有联轴器,所述减速电机通过联轴器与旋转柱相连接。

6.根据权利要求1所述的一种圆晶光学检测夹具,其特征在于:所述真空泵和减速电机通过导线与外界电源相连接,所述减速电机设置为双向转动。

技术总结
本实用新型提供一种圆晶光学检测夹具,包括承重架、螺纹柱、真空泵、第一轴承、螺母座、旋转柱、减速电机、安装座、真空吸盘以及夹持板,连接杆下端面连接有承重架,固定底座内部下侧装配有减速电机,减速电机上侧连接有旋转柱,固定柱内部设置有旋转柱,固定柱内部上侧安装有第一轴承,旋转柱环形侧面安装有螺母座,连接杆下端面安装有安装座,安装座下端面中间位置安装有真空吸盘,安装座上端面中间位置装配有真空泵,安装座左端面连接有螺纹柱,安装座下端面左右两侧安装有夹持板,该设计解决了原有的圆晶光学检测夹具防护功能有所不足的问题,本实用新型结构合理,操作简单,防护功能好,夹取便利。

技术研发人员:杨振山
受保护的技术使用者:苏州芯玖微电子有限公司
技术研发日:2019.09.12
技术公布日:2020.06.09

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