本实用新型涉及半导体或光伏材料加工领域，更具体的说，它涉及一种半导体或光伏材料加工设备的调整装置。
背景技术：
半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过化学处理才能够应用到产品上，cvd技术是其中的一种处理方式，cvd即化学气相沉积，cvd技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有pecvd、lpcvd、apcvd等，除了cvd之外还有扩散工艺，例如磷扩散、硼扩散等，都可以采用气体扩散的方式来对原材料进行加工，目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、石墨舟、小舟或者花篮。
目前相应设备的炉门密封是靠密封板与炉框相接触的方式进行密封，且密封板为卡扣式，即密封板通过卡扣固定在炉门上，在炉门密封不严时，操作人员通过敲打卡扣的方式使密封板前进进行密封，但是，经过长时间使用，密封板与炉框相接触的位置磨损严重，再通过密封板对炉门与炉框进行密封的时候，就会出现密封不严的情况，从而导致炉门冒烟，影响环境卫生，同时还会对企业经济效益和社会效益造成严重的影响。
技术实现要素：
本实用新型克服了现有技术的不足，提供了一种结构简单，使炉门能快速调节到具有良好密封效果的调整装置。
本实用新型的技术方案如下：
一种调整装置，包括弧形接触面、炉门和支撑块，弧形接触面设置在支撑块与炉门之间，支撑块或炉门相应位置处设置有与弧形接触面相适应的结构。
进一步的，弧形接触面采用突出的圆弧面或凹陷的圆弧面。
进一步的，弧形接触面设置在支撑块靠近炉门一侧的中间位置，或设置在炉门靠近支撑块一侧的中间位置。
进一步的，所述相适应的结构采用圆弧面或整体呈圆柱形，圆柱形靠近弧形接触面的一端设置相应圆弧面。
进一步的，还包括调节件，调节件连接支撑块和炉门。
进一步的，调节件均匀分布设置在支撑块上，调节支撑块设置调节件所在点与炉门之间的距离。
进一步的，支撑块呈多角形，调节件设置在支撑块的角上。
进一步的，支撑块与炉门通过点连接固定，调节件支撑支撑块与炉门。
进一步的，调节件采用可伸缩结构，其两端分别与炉门和支撑块连接固定。
进一步的，调节件采用螺栓结构，支撑块上设置螺纹，调节件一端连接炉门，炉门对应位置处设置活动螺纹；或者支撑块上设置活动螺纹，炉门相应位置上设置螺纹，通过调节件进行连接炉门和支撑块。炉门上设置热电偶，支撑块的另一侧与升降模块连接，升降模块包括滑轨、气缸和固定件；固定件连接支撑块，气缸连接固定件，固定件设置在滑轨上。
本实用新型的优点在于：
本方案结构简单、调整方便，容易推广使用；本方案以支撑块基本保持不动，并通过设置弧形接触面实现炉门倾斜角度的控制，达到炉门与炉体结合的良好密封效果。炉门与支撑块之间的弧形接触面上设置连接的螺栓和橡胶圏实现微调，即将炉门微调后用螺栓拧紧固定即可。炉门与支撑块的接触面上采用圆弧面或整体呈圆柱形，圆柱形靠近弧形接触面的一端设置相应圆弧面。即可以是如半个球的圆弧面，也可以是一个圆柱，亦或者是圆柱的一端设置有圆弧面，该端与弧形接触面接触。通过弧形接触面的设计，炉门进行微调后，在弧形接触面上加装各种固定方式，常见的如采用螺栓、活动卡扣等都可。
本方案通过设置调节件，能更快速便捷的进行调整和固定炉门倾斜的控制，确保炉门与炉体之间的完美结合外，还能更容易的达到真空密封的效果要求。以采用可伸缩结构和螺栓结构为主要方式，可伸缩结构的调节件两端分别与炉门和支撑块连接固定，在需要时，通过调整调节件不同的伸缩长度来微调炉门的倾斜角度。调节件采用螺栓结构，支撑块上设置螺纹，调节件一端连接炉门，在炉门对应位置处设置活动螺纹，从而通过采用螺栓的调节件进行旋转，调整支撑块与炉门在调节件该点的距离。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图中标识：炉门2-1、支撑块2-2、调节件2-3。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
实施例一：
如图所示，一种调整装置，包括弧形接触面、炉门2-1和支撑块2-2，弧形接触面设置在支撑块2-2与炉门2-1之间，支撑块2-2或炉门2-1相应位置处设置有与弧形接触面相匹配的结构。通过弧形接触面和相匹配的结构调整支撑块2-2与炉门2-1之间形成的夹角，因为支撑块2-2是基本保持不动的，炉门2-1的倾斜角度是通过弧形接触面进行调整的，弧形接触面进行调整时，另一侧可不采用圆弧面，但其摩擦力会大大增加，调整难度增加。
具体如炉门2-1上设置凹陷的弧形接触面，支撑块2-2上设置相应的凸出弧形面，炉门2-1沿着支撑块2-2上的凸出弧形面进行微调其倾斜角度。相对的，也可以在支撑块2-2上设置凹陷的弧形接触面，炉门2-1上设置相应的凸出弧形面。其中，炉门2-1与支撑块2-2之间可以通过各种形式进行微调，如炉门2-1与支撑块2-2之间的弧形接触面上设置连接的螺栓和橡胶圏实现微调，即将炉门2-1微调后用螺栓拧紧固定即可。
作为优选，与弧形接触面相匹配的结构采用圆弧面或整体呈圆柱形，圆柱形靠近弧形接触面的一端设置相应圆弧面。即可以是如半个球的圆弧面，也可以是一个圆柱，长方体等规则柱形或不规则柱形都可，只要在炉门2-1和支撑块2-2连接的地方设置有圆弧面即可，该端就能与弧形接触面接触，实现良好的调节。通过弧形接触面的设计，炉门2-1进行微调后，在弧形接触面上加装各种固定方式，常见的如采用螺栓、活动卡扣等。
实施例二：
其与实施例一基本相同，不同处在于，还包括调节件2-3，调节件2-3连接支撑块2-2和炉门2-1。若支撑块2-2与炉门2-1之间不通过弧形接触面上设置连接件进行连接固定，则可由调节件2-3进行连接固定。调节件2-3均匀分布设置在支撑块2-2上，调节支撑块2-2设置调节件2-3所在点与炉门2-1之间的距离，从而实现炉门2-1的微调。一般设置四个调节件2-3在支撑块2-2的边上。
具体的，调节件2-3可采用可伸缩结构，其两端分别与炉门2-1和支撑块2-2连接固定，在需要时，通过调整调节件2-3不同的伸缩长度来微调炉门2-1。调节件2-3也可采用螺栓结构，如支撑块2-2上设置螺纹，调节件2-3一端连接炉门2-1，即在炉门2-1对应位置处设置活动螺纹，从而通过采用螺栓的调节件2-3进行旋转，即可调整支撑块2-2与炉门2-1在该点的距离。同样的也可以进行反向设置，如支撑块2-2上设置活动螺纹，炉门2-1相应位置上设置螺纹，通过采用螺栓的调节件2-3进行旋转调整炉门2-1和支撑块2-2的距离，实现微调炉门2-1。
炉门2-1上还可以设置热电偶，支撑块2-2的另一侧与升降模块连接，实现炉门2-11的升降控制。升降模块包括滑轨、气缸和固定件。固定件连接支撑块2-2，气缸连接固定件，固定件设置在滑轨上。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型保护范围内。
1.一种调整装置，其特征在于：包括弧形接触面、炉门和支撑块，弧形接触面设置在支撑块与炉门之间，支撑块或炉门相应位置处设置有与弧形接触面相匹配的结构。
2.根据权利要求1所述的一种调整装置，其特征在于：弧形接触面采用突出的圆弧面或凹陷的圆弧面。
3.根据权利要求2所述的一种调整装置，其特征在于：弧形接触面设置在支撑块靠近炉门一侧的中间位置，或设置在炉门靠近支撑块一侧的中间位置。
4.根据权利要求1所述的一种调整装置，其特征在于：与弧形接触面相匹配的结构采用圆弧面或整体呈圆柱形，圆柱形靠近弧形接触面的一端设置相应圆弧面。
5.根据权利要求1所述的一种调整装置，其特征在于：还包括调节件，调节件连接支撑块和炉门。
6.根据权利要求5所述的一种调整装置，其特征在于：调节件均匀分布设置在支撑块上，调节支撑块设置调节件所在点与炉门之间的距离。
7.根据权利要求5所述的一种调整装置，其特征在于：支撑块呈多角形，调节件设置在支撑块的边或角上。
8.根据权利要求5所述的一种调整装置，其特征在于：支撑块与炉门通过点连接固定，调节件加固支撑块与炉门。
9.根据权利要求5所述的一种调整装置，其特征在于：调节件采用可伸缩结构，其两端分别与炉门和支撑块连接固定。
10.根据权利要求5所述的一种调整装置，其特征在于：调节件采用螺栓结构，支撑块上设置螺纹，调节件一端连接炉门，炉门对应位置处设置活动螺纹；或者支撑块上设置活动螺纹，炉门相应位置上设置螺纹，通过调节件进行连接炉门和支撑块；炉门上设置热电偶；支撑块的另一侧与升降模块连接，升降模块包括滑轨、气缸和固定件；固定件连接支撑块，气缸连接固定件，固定件设置在滑轨上。
技术总结