本技术涉及耐化学性测试领域,具体而言,尤其是关于一种光刻胶用耐化学性测试设备。
背景技术:
1、众所周知,光刻胶在集成电路领域发挥着举足轻重的作用。在光刻胶开发过程中,光刻胶耐化学性能测试至关重要。常规耐化学性测试一般都是人工手动操作,但耐化学性测试所用溶剂包含对人体有危害的有机溶剂,对人体存在伤害风险的同时也占用极大的人力资源,而且人工测试不可避免的会出现人为失误。
技术实现思路
1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本实用新型提供了一种光刻胶用耐化学性测试设备,旨在可以节约劳动力成本,提高工作效率高。
2、为实现上述目的,本实用新型采取以下技术方案:
3、一种光刻胶用耐化学性测试设备包括浸泡装置、冲洗装置、分格吊篮和吊篮转移装置;其中,所述分格吊篮上具有多个样品格,用于放置待测样品;所述浸泡装置为矩形缸体,所述浸泡装置内盛装有溶剂,用于对所述分格吊篮内的待测样品进行浸泡,所述浸泡装置下部设置有第一排液管,用于排出浸泡废液;所述冲洗装置亦为矩形缸体,且所述冲洗装置紧贴所述浸泡装置布置,所述冲洗装置用于对所述分格吊篮内浸泡后的待测样品进行冲洗,所述冲洗装置下部设置有第二排液管,用于排出清洗废液;所述吊篮转移装置设置在所述浸泡装置和冲洗装置一侧,所述吊篮转移装置用于吊装所述分格吊篮,并将所述分格吊篮在所述浸泡装置和冲洗装置之间进行转移。
4、作为优选:所述浸泡装置的内壁设置有耐溶剂性涂层,所述浸泡装置内设置有控温元件和定时元件,所述控温元件用于控制所述浸泡装置内溶剂的温度,所述定时元件用于提示待测样品的放入时间和取出时间。
5、作为优选:所述冲洗装置的内壁设置有耐溶剂性涂层,且所述冲洗装置的四周内壁上均设置有冲洗管路,所述冲洗管路上开设有至少一排冲洗孔,用于喷射出冲洗水以对所述分格吊篮内浸泡后的待测样品进行冲洗。
6、作为优选:所述分格吊篮由耐溶剂性材质制成,所述分格吊篮内部根据待测样品大小分隔成多个所述样品格来放置待测样品,且所述样品格的对角线距离略大于待测样品的长或宽,每个所述样品格的底部均开设有小孔,便于溶剂进入和排出。
7、作为优选:所述吊篮转移装置包括:滑轨,设置在所述浸泡装置和冲洗装置的一侧底部;升降杆,所述升降杆的下端滑动设置在所述滑轨上,且可沿所述滑轨自由移动,所述升降杆的上端可沿所述浸泡装置和冲洗装置的高度方向伸缩;横杆,水平地设置在所述升降杆的上端;挂钩,设置在所述横杆的悬臂端,用于吊装所述分格吊篮。
8、本实用新型由于采取以上技术方案,其具有以下优点:
9、1、本实用新型提供的光刻胶用耐化学性测试设备,能够实现光刻胶样品的耐化学性自动测试,替代人工,有效的节约人工成本的同时,降低试剂对人产生危害的风险;
10、2、本实用新型提供的光刻胶用耐化学性测试设备,分格吊篮内部根据待测样品大小分隔成多个样品格,能够同时测试多个样品,可以大大的提高工作效率。
11、3、本实用新型在浸泡装置内设置有定时元件,能够精确的控制样品放入和取出时间,提高测试结果可信度。
12、4、本实用新型提供的光刻胶用耐化学性测试设备,结构简单、操作方便、制造成本低。
1.一种光刻胶用耐化学性测试设备,其特征在于,包括浸泡装置、冲洗装置、分格吊篮和吊篮转移装置;
2.根据权利要求1所述的光刻胶用耐化学性测试设备,其特征在于,所述浸泡装置的内壁设置有耐溶剂性涂层,所述浸泡装置内设置有控温元件和定时元件,所述控温元件用于控制所述浸泡装置内溶剂的温度,所述定时元件用于提示待测样品的放入时间和取出时间。
3.根据权利要求1所述的光刻胶用耐化学性测试设备,其特征在于,所述冲洗装置的内壁设置有耐溶剂性涂层,且所述冲洗装置的四周内壁上均设置有冲洗管路,所述冲洗管路上开设有至少一排冲洗孔,用于喷射出冲洗水以对所述分格吊篮内浸泡后的待测样品进行冲洗。
4.根据权利要求1所述的光刻胶用耐化学性测试设备,其特征在于,所述分格吊篮由耐溶剂性材质制成,所述分格吊篮内部根据待测样品大小分隔成多个所述样品格来放置待测样品,且所述样品格的对角线距离略大于待测样品的长或宽,每个所述样品格的底部均开设有小孔,便于溶剂进入和排出。
5.根据权利要求1所述的光刻胶用耐化学性测试设备,其特征在于,所述吊篮转移装置包括: