一种间歇式晶圆吹扫装置的制作方法

专利2025-06-12  18


本技术涉及吹扫装置,具体为一种间歇式晶圆吹扫装置。


背景技术:

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片,硅晶圆和硅太阳能电池分别是半导体材料和半导体器件的典型代表,半导体特性参数衡量和表征材料及其器件的性能,由于载流子是半导体材料及器件的功能载体,载流子移动形成电流及电场,同时载流子具有发光、热辐射等特性,因此载流子参数是表征半导体材料及器件载流子输运特性的基础,即载流子参数是硅晶圆和硅太阳能电池特性参数的重要组成部分,当硅晶圆经过加工、制造形成硅太阳能电池后,由于pn结和费米能级的差异,导致载流子分离形成电压,进而有饱和电流、填充因子和光电转化效率等电性能参数直观反映并影响太阳能电池伏安特性,综上分析,硅晶圆的主要特性参数包括载流子参数;

2、目前的晶圆吹扫装置在对加工后的晶圆进行清理时,由于晶圆加工后导致表面附着较多粉尘及杂物,吹扫装置通常持续对元件上方进行吹扫清理,在持续的工程中会造成粉尘在空中漂浮待吹扫停止后再次掉落附着于工件上方,造成吹扫清理效率较低,同时对其能源消耗较大。

3、鉴于此,我们提出一种间歇式晶圆吹扫装置。


技术实现思路

1、为了弥补以上不足,本实用新型提供了一种间歇式晶圆吹扫装置。

2、本实用新型的技术方案是:

3、一种间歇式晶圆吹扫装置,包括间歇式晶圆吹扫装置主体,所述间歇式晶圆吹扫装置主体的前端固定安装有吹扫组件,所述吹扫组件的后端固定安装有风机,所述风机的输出端固定安装有第一吹扫器,所述第一吹扫器的外侧安装有安装板,所述安装板的下方安装有吹扫清理区,所述吹扫清理区的前端安装有第二吹扫器,所述第二吹扫器的输入端开设有间歇控制器。

4、作为优选的技术方案,所述间歇控制器的下方安装有安装组件,所述安装组件的侧面安装有电机。

5、作为优选的技术方案,所述电机的侧面安装限位侧板,所述限位侧板的内侧安装有传送带,所述传送带的上方开设有传送带,所述传送带的上方安装有第一晶圆安装槽,所述第一晶圆安装槽的右侧安装有第二晶圆安装槽。

6、作为优选的技术方案,所述第二晶圆安装槽的下方安装有运输板,所述运输板的外侧固定安装有前防护板,所述前防护板的下方开设有安装座。

7、作为优选的技术方案,所述安装座的侧面安装有挡尘板,所述挡尘板的后端开设有第一安装槽。

8、作为优选的技术方案,所述第一安装槽的下方安装有支撑架,所述支撑架的侧面开设有连接板。

9、作为优选的技术方案,所述支撑架的下方固定安装有第一垫块,所述第一垫块的侧面开设有第二垫块。

10、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

11、1、本实用新型通过在吹扫组件的后端固定安装有风机,风机的输出端固定安装有第一吹扫器,第一吹扫器的外侧安装有安装板,安装板的下方安装有吹扫清理区,吹扫清理区的前端安装有第二吹扫器,第二吹扫器的输入端开设有间歇控制器,通过风机供给风力由连接管道传输至第一吹扫器及第二吹扫器,对吹扫清理区下方的晶圆进行清理,在清理的过程中间歇控制器控制吹扫器进行间歇式吹扫,使其在吹扫的过程中更加节能,且在间歇后的吹扫力度更大,更高效,以便于粉尘有掉落时间,避免粉尘漂浮造成清理效率较低。

12、2、本实用新型通过在安装组件,安装组件的侧面安装有电机,电机的侧面安装限位侧板,限位侧板的内侧安装有传送带,传送带的上方开设有传送带,传送带的上方安装有第一晶圆安装槽,第一晶圆安装槽的右侧安装有第二晶圆安装槽,通过电机带动传送带进行移动,将第一晶圆安装槽及第二晶圆安装槽上方安装的晶圆带动至吹扫清理区进行清理,待清理完成后将其带动至收纳区,以便于进行下料,同时限位侧板避免晶圆掉落。



技术特征:

1.一种间歇式晶圆吹扫装置,包括间歇式晶圆吹扫装置主体(1),其特征在于:所述间歇式晶圆吹扫装置主体(1)的前端固定安装有吹扫组件(2),所述吹扫组件(2)的后端固定安装有风机(26),所述风机(26)的输出端固定安装有第一吹扫器(21),所述第一吹扫器(21)的外侧安装有安装板(22),所述安装板(22)的下方安装有吹扫清理区(25),所述吹扫清理区(25)的前端安装有第二吹扫器(24),所述第二吹扫器(24)的输入端开设有间歇控制器(23)。

2.如权利要求1所述的一种间歇式晶圆吹扫装置,其特征在于:所述间歇控制器(23)的下方安装有安装组件(3),所述安装组件(3)的侧面安装有电机(31)。

3.如权利要求2所述的一种间歇式晶圆吹扫装置,其特征在于:所述电机(31)的侧面安装限位侧板(33),所述限位侧板(33)的内侧安装有传送带(35),所述传送带(35)的上方开设有传送带(35),所述传送带(35)的上方安装有第一晶圆安装槽(34),所述第一晶圆安装槽(34)的右侧安装有第二晶圆安装槽(36)。

4.如权利要求3所述的一种间歇式晶圆吹扫装置,其特征在于:所述第二晶圆安装槽(36)的下方安装有运输板(32),所述运输板(32)的外侧固定安装有前防护板(12),所述前防护板(12)的下方开设有安装座(13)。

5.如权利要求4所述的一种间歇式晶圆吹扫装置,其特征在于:所述安装座(13)的侧面安装有挡尘板(14),所述挡尘板(14)的后端开设有第一安装槽(11)。

6.如权利要求5所述的一种间歇式晶圆吹扫装置,其特征在于:所述第一安装槽(11)的下方安装有支撑架(15),所述支撑架(15)的侧面开设有连接板(18)。

7.如权利要求6所述的一种间歇式晶圆吹扫装置,其特征在于:所述支撑架(15)的下方固定安装有第一垫块(16),所述第一垫块(16)的侧面开设有第二垫块(17)。


技术总结
本技术涉及吹扫装置技术领域,具体为一种间歇式晶圆吹扫装置,包括间歇式晶圆吹扫装置主体,吹扫组件的后端固定安装有风机,风机的输出端固定安装有第一吹扫器,第一吹扫器的外侧安装有安装板,安装板的下方安装有吹扫清理区,吹扫清理区的前端安装有第二吹扫器,第二吹扫器的输入端开设有间歇控制器,通过风机供给风力由连接管道传输至第一吹扫器及第二吹扫器,对吹扫清理区下方的晶圆进行清理,在清理的过程中间歇控制器控制吹扫器进行间歇式吹扫,使其在吹扫的过程中更加节能,且在间歇后的吹扫力度更大,更高效,以便于粉尘有掉落时间,避免粉尘漂浮造成清理效率较低。

技术研发人员:陆先锋
受保护的技术使用者:无锡颂林达科技有限公司
技术研发日:20231214
技术公布日:2024/7/25
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