本实用新型涉及半导体加工制造技术领域，具体涉及一种等离子清洗机的清洗腔体结构。
背景技术：
引线框架作为集成电路的芯片载体，是一种借助于键合材料(金丝、铝丝、铜丝)实现芯片内部电路引出端与外引线的电气连接，形成电气回路的关键结构件，它起到了和外部导线连接的桥梁作用，绝大部分的半导体集成块中都需要使用引线框架，是电子信息产业中重要的基础材料。在半导体制造加工过程中会在引线框架上遗留溢胶、氧化物等污染物，影响焊线效果，因此需要等离子清洗机清洗该污染物。
等离子清洗设备的原理是通过电场作用(也就是射频)将气体原子电离成正离子和电子，正离子在电场作用下向阴极方向加速运动，去轰击引线框架表面光刻胶，达到去胶清洗效果。
等离子清洗机的清洗腔体一般包括盖合的腔体下盖和腔体上盖，清洗腔体内设置有电极板，电极板为阳极，腔体为阴极，清洗的引线框架置于电极板上，引线框架的清洗主要是通过阳极电极板与阴极腔体上盖之间产生的电场来对引线框架进行清洗，然而，现有等离子清洗机的电极下方为镂空设计，电极与腔体下盖之间没有阻隔，电极与腔体下之间会产生无用的电场，因而需要使用较大功率的射频电源，才能满足清洗的效率，射频电源过大，会导致清洗时材料温度过高，射频电源的寿命短。
技术实现要素：
针对现有技术中的缺陷，本实用新型提供了一种等离子清洗机的清洗腔体结构，以在相同的清洗时间下，降低使用的射频电源的功率。
本实用新型提供了一种等离子清洗机的清洗腔体结构，包括：腔体下盖，所述下盖腔体的底部设有第一玻璃板，所述第一玻璃板的四个角设置有绝缘座，所述绝缘座的上侧设有第二玻璃板，所述第二玻璃板的四个角支撑于所述绝缘座上；电极框架，所述电极框架安装于所述第二玻璃板上，电极框架通过导线与射频电源的阳极相连；腔体上盖，所述腔体上盖盖合在所述腔体下盖上，腔体上盖与腔体下盖之间形成密封腔体；以及驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述腔体上盖与腔体下盖打开或盖合。
进一步地，还包括陶瓷管，所述第一玻璃板上设有第一通孔，第二玻璃板上设有第二通孔，所述陶瓷管穿插于第一通孔和第二通孔内，所述导线经陶瓷管穿入密封腔体。
进一步地，所述第一玻璃板和第二玻璃板之间设置有第三玻璃板，所述第三玻璃板分别与第一玻璃板和第二玻璃板贴合，第三玻璃板上设有第三通孔，所述陶瓷管穿过第三通孔。
进一步地，所述腔体下盖后部的下部连接有挡板，所述驱动机构包括至少一个伸缩推杆，所述伸缩推杆的下端固定于所述挡板的外侧，伸缩推杆的上端固定连接于所述腔体上盖的后部。
进一步地，所述伸缩推杆的上端固定连接有上盖安装座，所述腔体上盖转动安装于所述上盖安装座，上盖安装座上设置有用于将腔体上盖与上盖安装座锁死的锁定机构。
进一步地，所述腔体上盖后部的两侧分别设置有连接板，所述连接板的后端转动连接于上盖安装座，所述锁定机构包括锁定片和锁销，所述锁定片贴近连接板并固定于所述上盖安装座上，所述锁销可穿过连接板和锁定片，用以将腔体上盖与上盖安装座锁死。
进一步地，所述腔体上盖的前侧设置有把手。
进一步地，所述腔体上盖的前侧设置有透明观察口。
进一步地，所述腔体下盖周围的上侧设置有o型密封圈，腔体下盖与腔体上盖之间通过所述o型密封圈密封。
进一步地，所述电极框架包括固定框架和轨道框架，所述固定框架固定安装于所述第二玻璃板上，所述轨道框架通过螺丝固定于所述固定框架上。
本实用新型的有益效果体现在：在对引线框架进行等离子清洗时，引线框架放置于电极框架的上侧，腔体下盖和腔体上盖盖合，电极框架通过导线与射频电源的阳极相连，作为阳极，而腔体上盖作为阴极，电极框架与腔体上盖之间产生的电场，通过电场作用(也就是射频)将气体原子电离成正离子和电子，正离子在电场作用下向阴极方向加速运动，因产品特性,只需去轰击引线框架上方表面光刻胶，达到去胶清洗效果，由于电极框架的下方为玻璃板，玻璃板为绝缘体，在电极框架的下方形成阻隔，能够减弱电极框架下方的电场，这样，在相同的清洗时间下，使用的射频电源的功率更小，清洗时材料的温度更低，射频电源的寿命更长。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
图1为本实用新型实施例的整体结构示意图；
图2为本实用新型实施例的去掉上盖时的结构示意图；
图3为本实用新型实施例的腔体下盖的爆炸图。
附图中：10表示腔体下盖；11表示第一玻璃板；111表示第一通孔；12表示绝缘座；13表示第二玻璃板；131表示第二通孔；14表示第三玻璃板；141表示第三通孔；15表示挡板；20表示电极框架；21表示固定框架；22表示轨道框架；30表示腔体上盖；40表示伸缩推杆；50表示陶瓷管；60表示上盖安装座；61表示连接板；62表示锁定片；63表示锁销；70表示把手；80表示透明观察口；90表示o型密封圈。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域技术人员所理解的通常意义。
如图1-图3所示，本实用新型实施例提供了一种等离子清洗机的清洗腔体结构，包括腔体下盖10、电极框架20、腔体上盖30和驱动机构。
腔体下盖10后部的下部连接有挡板15，腔体下盖10通过挡板15固定在机架上，下盖腔体的底部设有第一玻璃板11，第一玻璃板11的四个角设置有绝缘座12，绝缘座12的上侧设有第二玻璃板13，第二玻璃板13的四个角支撑于绝缘座12上。电极框架20安装于第二玻璃板13上，电极框架20通过导线与射频电源的阳极相连。本实施例的电极框架20具体包括固定框架21和轨道框架22，固定框架21固定安装于第二玻璃板13上，轨道框架22通过螺丝固定于固定框架21上，这样可以更换不同宽度的轨道框架22，以适应不同宽度的引线框架。
腔体上盖30盖合在腔体下盖10上，腔体上盖30与腔体下盖10之间形成密封腔体，清洗时，许通过真空设备对密封腔体抽真空，为了提高腔体上盖30与腔体下盖10盖合的密封性，腔体下盖10周围的上侧设置有o型密封圈90，腔体下盖10与腔体上盖30之间通过o型密封圈90密封。驱动机构用于驱动腔体上盖30与腔体下盖10打开或盖合，本实施例的驱动机构包括至少一个伸缩推杆40，附图中所示的伸缩推杆40设置有两个，这里的伸缩推杆40可为气动、电动或液压推杆，伸缩推杆40的下端固定于挡板15的外侧，伸缩推杆40的上端固定连接于腔体上盖30的后部，以通过伸缩推杆40的伸缩控制腔体上盖30升降，进而控制腔体上盖30与腔体下盖10打开或盖合。
在对引线框架进行等离子清洗时，引线框架放置于电极框架20的上侧，腔体下盖10和腔体上盖30盖合，电极框架20通过导线与射频电源的阳极相连，作为阳极，而腔体上盖30作为阴极，电极框架20与腔体上盖30之间产生的电场，通过电场作用(也就是射频)将气体原子电离成正离子和电子，正离子在电场作用下向阴极方向加速运动，因产品特性,只需去轰击引线框架上方表面光刻胶，达到去胶清洗效果，由于电极框架20的下方为玻璃板，玻璃板为绝缘体，在电极框架20的下方形成阻隔，能够减弱电极框架20下方的电场，这样，在相同的清洗时间下，使用的射频电源的功率更小，清洗时材料的温度更低，射频电源的寿命更长。
参照图3，本实施例还包括陶瓷管50，第一玻璃板11上设有第一通孔111，第二玻璃板13上设有第二通孔131，陶瓷管50穿插于第一通孔111和第二通孔131内，导线经陶瓷管50穿入密封腔体，这里的陶瓷管50也具有隔绝导线的作用。
更优地，第一玻璃板11和第二玻璃板13之间设置有第三玻璃板14，第三玻璃板14分别与第一玻璃板11和第二玻璃板13贴合，第三玻璃板14上设有第三通孔141，陶瓷管50穿过第三通孔141，使得第一玻璃板11和第二玻璃板13通过第三玻璃板14紧密地结合在一起。
在本实施例中，伸缩推杆40的上端固定连接有上盖安装座60，腔体上盖30转动安装于上盖安装座60，上盖安装座60上设置有用于将腔体上盖30与上盖安装座60锁死的锁定机构，工作时，腔体上盖30放平并通过锁定机构锁死，能有效防止因强行掀起腔体上盖30造成器件破损，保养时，可翻转腔体上盖30，以便于腔体上盖30的内部清洁作业。具体地，腔体上盖30后部的两侧分别设置有连接板61，连接板61的后端转动连接于上盖安装座60，锁定机构包括锁定片62和锁销63，锁定片62贴近连接板61并固定于上盖安装座60上，锁销63可穿过连接板61和锁定片62，用以将腔体上盖30与上盖安装座60锁死，该锁定机构的结构简单，操作方便。
为了便于翻转腔体上盖30，腔体上盖30的前侧设置有把手70。
为了便于观察密封腔体内的电极框架20的清洗情况，腔体上盖30的前侧设置有透明观察口80。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。
1.一种等离子清洗机的清洗腔体结构，其特征在于，包括：
腔体下盖，所述下盖腔体的底部设有第一玻璃板，所述第一玻璃板的四个角设置有绝缘座，所述绝缘座的上侧设有第二玻璃板，所述第二玻璃板的四个角支撑于所述绝缘座上；
电极框架，所述电极框架安装于所述第二玻璃板上，电极框架通过导线与射频电源的阳极相连；
腔体上盖，所述腔体上盖盖合在所述腔体下盖上，腔体上盖与腔体下盖之间形成密封腔体；
以及驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述腔体上盖与腔体下盖打开或盖合。
2.根据权利要求1所述的等离子清洗机的清洗腔体结构，其特征在于，还包括陶瓷管，所述第一玻璃板上设有第一通孔，第二玻璃板上设有第二通孔，所述陶瓷管穿插于第一通孔和第二通孔内，所述导线经陶瓷管穿入密封腔体。
3.根据权利要求2所述的等离子清洗机的清洗腔体结构，其特征在于，所述第一玻璃板和第二玻璃板之间设置有第三玻璃板，所述第三玻璃板分别与第一玻璃板和第二玻璃板贴合，第三玻璃板上设有第三通孔，所述陶瓷管穿过第三通孔。
4.根据权利要求1所述的等离子清洗机的清洗腔体结构，其特征在于，所述腔体下盖后部的下部连接有挡板，所述驱动机构包括至少一个伸缩推杆，所述伸缩推杆的下端固定于所述挡板的外侧，伸缩推杆的上端固定连接于所述腔体上盖的后部。
5.根据权利要求4所述的等离子清洗机的清洗腔体结构，其特征在于，所述伸缩推杆的上端固定连接有上盖安装座，所述腔体上盖转动安装于所述上盖安装座，上盖安装座上设置有用于将腔体上盖与上盖安装座锁死的锁定机构。
6.根据权利要求5所述的等离子清洗机的清洗腔体结构，其特征在于，所述腔体上盖后部的两侧分别设置有连接板，所述连接板的后端转动连接于上盖安装座，所述锁定机构包括锁定片和锁销，所述锁定片贴近连接板并固定于所述上盖安装座上，所述锁销可穿过连接板和锁定片，用以将腔体上盖与上盖安装座锁死。
7.根据权利要求5或6所述的等离子清洗机的清洗腔体结构，其特征在于，所述腔体上盖的前侧设置有把手。
8.根据权利要求1所述的等离子清洗机的清洗腔体结构，其特征在于，所述腔体上盖的前侧设置有透明观察口。
9.根据权利要求1所述的等离子清洗机的清洗腔体结构，其特征在于，所述腔体下盖周围的上侧设置有o型密封圈，腔体下盖与腔体上盖之间通过所述o型密封圈密封。
10.根据权利要求1所述的等离子清洗机的清洗腔体结构，其特征在于，所述电极框架包括固定框架和轨道框架，所述固定框架固定安装于所述第二玻璃板上，所述轨道框架通过螺丝固定于所述固定框架上。
技术总结