一种新型等离子清洗机控制装置的制作方法

专利2022-06-29  63


本实用新型属于离子清洗机技术领域,具体涉及一种新型等离子清洗机控制装置。



背景技术:

等离子清洁机也叫等离子表面处理仪,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子清洗设备的原理是通过电场作用(也就是射频)将气体原子电离成正离子和电子,正离子在电场作用下向阴极方向加速运动,去轰击引线框架表面光刻胶,达到去胶清洗效果。

现有的等离子清洁机在抽真空、上料、横移、下料等过程中,并不能完全而准确的进行自动控制。



技术实现要素:

针对现有技术中的缺陷,本实用新型公开了一种一种新型等离子清洗机控制装置,能够对等离子清洁的整个过程进行自动控制,且控制结构简单、易于生产、成本低。

本实用新型提供了一种新型等离子清洗机控制装置,包括操作控制卡、流道控制卡、压力流量读取模块、偏压控制卡、电源控制卡、变频器和主控制器;

所述操作控制卡、流道控制卡、偏压控制卡、电源控制卡、压力流量读取模块、变频控制模块分别与主控制器电连接。

优选地,所述操作控制卡通过rj45导线与主控制器电连接;

所述操作控制卡的三个不同的控制端分别与上料电机、下料电机和横移电机电连接。

优选地,所述操作控制卡采用的型号为mnet-4xmo。

优选地,所述流道控制卡包括第一流道控制卡、第二流道控制卡和第三流道控制卡;

所述主控制器通过rj45导线与第一流道控制卡电连接,所述第一流道控制卡通过rj45与第二流道控制卡电连接;所述第二流道控制卡通过rj45导线与第三流道控制卡电连接。

优选地,所述第一流道控制卡和第二流道控制卡采用的型号均为hsl-di32-ud-m,所述第三流道控制卡采用的型号为hsl-do32-ud-m.。

优选地,所述压力流量读取模块包括压力传感器、质流控制器和分配器;

所述压力传感器、质流控制器分别通过rs485导线与分配器电连接,所述分配器通过rs485导线与主控制器电连接。

优选地,所述偏压控制卡通过rs232导线与主控制器电连接。

优选地,所述电源控制卡通过rs232导线与主控制器电连接。

优选地,所述变频器通过rs232导线与主控制器电连接。

优选地,所述新型等离子清洗机控制装置还包括触控显示屏,所述触控显示屏与主控制器电连接。

本实用新型实施例,不仅能够对等离子清洁的整个过程进行自动控制,且控制结构简单、易于生产、成本低。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中,类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中,各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。

图1为本实施例中新型等离子清洗机控制装置的结构示意图;

附图标记:

1-主控制器、2-第一流道控制卡、3-第二流道控制卡、4-第三流动控制卡、5-操作控制卡、6-上料电机、7-下料电机、8-横移电机、9-电源控制卡、10-偏压控制卡、11-分配器、12-压力传感器、13-质流控制器、14-变频器、15-触控显示屏

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案,因此只是作为示例,而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

实施例:

本实用新型提供了一种新型等离子清洗机控制装置,包括操作控制卡5、流道控制卡、压力流量读取模块、偏压控制卡10、电源控制卡9、变频器14和主控制器1;

所述操作控制卡5、流道控制卡、偏压控制卡10、电源控制卡9、压力流量读取模块、变频控制模块分别与主控制器1电连接。

射频等离子清洗的原理是在真空状态下,压力越来越小,分子间间距越来越大,分子间力越来越小,利用射频电源产生的阴极电极和阳极电极之间的高压交变电场将氧、氩、氢等工作气体震荡成具有高反应活性或高能量的离子,然后与产品上的有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质,然后由工作气体及真空泵将这些挥发性物质清除出去,从而达到对产品表面进行清洗的目的。

本实施例的清洗机在使用时,手动将产品放在上料载台后,上料机构将产品推出,横移机构自动夹取产品,并将产品送至入料流道内进行预校准,然后横移机构再次将产品移至清洗腔内,清洗腔对产品进行等离子清洗,清洗完成后,横移机构将清洗完成的产品推送至出料流道,下料机构将产品推送至下料载台。

本实施例的主控制器1采用的型号为stm32f103c8t6,操作控制卡5采用的型号为mnet-4xmo,所述操作控制卡5通过rj45导线与主控制器1电连接。

所述操作控制卡5的三个不同的控制端分别与上料电机6、下料电机7和横移电机8电连接。所述主控制器1给操作控制卡5发送操作指令,操作控制卡5通过上料电机6控制上料机构、通过下料机构控制下料机构、通过横移电机8控制横移机构。

本实施例的所述流道控制卡包括第一流道控制卡2hsl-di32-ud-m、第二流道控制卡3hsl-di32-ud-m和第三流道控制卡hsl-do32-ud-m;

所述主控制器1通过rj45导线与第一流道控制卡2电连接,所述第一流道控制卡2通过rj45与第二流道控制卡3电连接;所述第二流道控制卡3通过rj45导线与

第三流道控制卡电连接。

本实施例设有四个入料流道,这四个入料流道之间设有三个移动机构,一个流道控制卡控制一个移动机构,因此主控制器1通过三个流道控制卡分别控制四个入料流道之间的宽度。

本实施例的所述压力流量读取模块包括压力传感器12、质流控制器13和分配器11;

所述压力传感器12、质流控制器13分别通过rs485导线与分配器11电连接,所述分配器11通过rs485导线与主控制器1电连接。

所述压力传感器12用于检测清洗腔内的压力,所述质流控制器13用于检测工作气体的流量,然后根据压力和流量调节阀门的开度,进而控制清洗腔内的压力和工作气体的流量。

本实施例的偏压控制卡10、变频器14、电源控制卡9均采用rs232导线与主控制器1电连接。主控制器1通过偏压控制卡10读取两电极间的偏压和功率;通过控制变频器14控制真空泵的工作状态;通过电源控制卡9控制射频电源的工作状态,进而控制等离子清洗状态。

本实施例的新型等离子清洗机控制装置还包括触控显示屏15,所述触控显示屏15与主控制器1电连接。触控显示屏15显示等离子清洗机的各项参数和检测的信息,用户可通过触控显示屏15进行输入触控指令,进而控制等离子清洗机的工作状态。

本实施例通过流道控制卡控制各入料流道之间的宽度。在工作时,通过操作控制卡5控制上料机构、下料机构和横移机构的工作状态,从而将产品移至清洗腔内清洗,并在清洗完成后将产品移出。在清洗腔内进行等离子清洗时,射频电源产生的阴极电极和阳极电极之间的高压交变电场将工作气体震荡成具有高反应活性或高能量的离子,然后与产品上的有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质,最后工作气体及真空泵将这些挥发性物质清除出去。在进行清洗的同时,通过偏压控制卡10读取两电极间的偏压和功率,通过变频器14控制真空泵抽走清洗腔内气体的工作状态,通过压力流程读取模块读取清洗腔内的压力和工作气体的流量,并控制阀门的开度,进而控制清洗腔内的压力和工作气体的流量。因此本实施例不仅能够对等离子清洁的整个过程进行自动控制,且控制结构简单、易于生产、成本低。

这里,要说明的是,本实用新型对于现有技术的改进,实质在于硬件之间的连接关系,而非针对功能、算法、方法本身,也即本实用新型虽然涉及一点功能、算法、方法,但并不包含对功能、算法、方法本身提出的改进。

最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围,其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。


技术特征:

1.一种新型等离子清洗机控制装置,其特征在于,包括操作控制卡、流道控制卡、压力流量读取模块、偏压控制卡、电源控制卡、变频器和主控制器;

所述操作控制卡、流道控制卡、偏压控制卡、电源控制卡、压力流量读取模块、变频控制模块分别与主控制器电连接。

2.根据权利要求1所述的一种新型等离子清洗机控制装置,其特征在于,所述操作控制卡通过rj45导线与主控制器电连接;

所述操作控制卡的三个不同的控制端分别与上料电机、下料电机和横移电机电连接。

3.根据权利要求2所述的一种新型等离子清洗机控制装置,其特征在于,所述操作控制卡采用的型号为mnet-4xmo。

4.根据权利要求1所述的一种新型等离子清洗机控制装置,其特征在于,所述流道控制卡包括第一流道控制卡、第二流道控制卡和第三流道控制卡;

所述主控制器通过rj45导线与第一流道控制卡电连接,所述第一流道控制卡通过rj45与第二流道控制卡电连接;所述第二流道控制卡通过rj45导线与第三流道控制卡电连接。

5.根据权利要求4所述的一种新型等离子清洗机控制装置,其特征在于,所述第一流道控制卡和第二流道控制卡采用的型号均为hsl-di32-ud-m,所述第三流道控制卡采用的型号为hsl-do32-ud-m。

6.根据权利要求1所述的一种新型等离子清洗机控制装置,其特征在于,所述压力流量读取模块包括压力传感器、质流控制器和分配器;

所述压力传感器、质流控制器分别通过rs485导线与分配器电连接,所述分配器通过rs485导线与主控制器电连接。

7.根据权利要求1所述的一种新型等离子清洗机控制装置,其特征在于,所述偏压控制卡通过rs232导线与主控制器电连接。

8.根据权利要求1所述的一种新型等离子清洗机控制装置,其特征在于,所述电源控制卡通过rs232导线与主控制器电连接。

9.根据权利要求1所述的一种新型等离子清洗机控制装置,其特征在于,所述变频器通过rs232导线与主控制器电连接。

10.根据权利要求1所述的一种新型等离子清洗机控制装置,其特征在于,还包括触控显示屏,所述触控显示屏与主控制器电连接。

技术总结
本实用新型属于属于离子清洗机技术领域,具体涉及一种新型等离子清洗机控制装置,包括操作控制卡、流道控制卡、压力流量读取模块、偏压控制卡、电源控制卡、变频器和主控制器;所述操作控制卡、流道控制卡、偏压控制卡、电源控制卡、压力流量读取模块、变频控制模块分别与主控制器电连接。本实用新型不仅能够对等离子清洁的整个过程进行自动控制,且控制结构简单、易于生产、成本低。

技术研发人员:张春辉
受保护的技术使用者:江苏胜辉半导体设备有限公司;张春辉
技术研发日:2019.10.17
技术公布日:2020.06.09

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