本技术涉及半导体设备，尤其涉及一种刀型探针卡的生产装置。
背景技术：
1、随着半导体技术的发展，半导体生产制造的流程包括集成电路设计，晶圆制造，晶圆测试，晶圆切割，芯片封装，成品芯片测试。刀型探针广泛应用于晶圆测试及芯片检测领域，由金属或陶瓷刀型探针焊接在一起构成，与悬臂探针一样，合格品对弯曲角度(bendangle)，插入角度(beam angle)，针臂长(beamlength)等参数都有要求，同时还要保证探针和刀片在空间上位于同一个平面内，传统焊接工艺，刀片探针的焊接成品率低。
2、刀型探针卡是一种新型技术，用于集成电路硅片测试中必不可少的一道重要工序，目的用以传输测试信号的刀型探针卡、供测试机台的测试接触点，以接收测试机台的测试信号，并传送至电路板所密集设置的刀型探针卡通信。当各探针对应触点的硅片电子组件接收测试信号后，则透过刀型探针卡回传所对应的电气特性至测试机台以供分析，如此在整个硅片测试过程中，刀型探针卡电路板的电路传输设计对电子组件的测试结果具有很重要的影响。
3、现有金属刀型探针对于功率器件的产品，大多都是大电流，刀型探针卡不能根据产品尺寸的特性达到要求，金属刀型探针卡使得芯片测试的成本高，结构复杂，使用操作繁琐。
技术实现思路
1、本实用新型提供了一种刀型探针卡的生产装置，采用夹持头夹紧固定刀片探针，夹持头连接x转动旋钮、y转动旋钮和z转动旋钮，工作台设有转动底板和微调位置螺杆，对于刀型探针卡完全可以根据产品的尺寸等特性达到要求，使用本金属刀型探针卡使得芯片测试的成本降低，设计巧妙，结构简洁，使用简单方便，易于操作等优点，适于大规模推广应用。
2、为解决上述问题，本实用新型提供了一种刀型探针卡的生产装置，包括工作台、夹持头、夹持臂、刀片探针、调整装置和显微镜，所述夹持头夹紧固定所述刀片探针，所述夹持头的下方设有所述工作台，所述工作台上设置有chuck盘，放置并焊接pcb板，所述工作台两侧设有支架，所述支架上方设有上压板和下压板，所述夹持头连接x转动旋钮、y转动旋钮和z转动旋钮，所述工作台设有转动底板和微调位置螺杆，带动所述工作台转动和调整位置。
3、进一步方案为，所述x转动旋钮、y转动旋钮和z转动旋钮分别连接为调整位置千分尺，和调整斜度千分尺分别控制所述夹持头往x、y、z轴方向移动和角度控制。
4、进一步方案为，所述上压板和下压板的间距可以调节，并通过压板螺丝固定不同尺寸线路板。
5、进一步方案为，所述刀片探针打弯，弯针角度小于或等于103度。
6、进一步方案为，所述刀片探针固定在刀片的凹槽中，进行焊接。
7、进一步方案为，所述刀片探针的针臂按照尺寸要求定位固定。
8、进一步方案为，所述刀片探针由打磨机进行打磨针尖。
9、进一步方案为，所述显微镜连接移动显微镜导轨，用于放大观察刀型探针卡的焊接生产。
10、进一步方案为，所述微调位置螺杆包括微调前后位置螺杆和微调左右位置螺杆。
11、本实用新型的有益效果是：采用夹持头夹持固定所述刀片探针，夹持头的下方设有工作台，工作台上设置有chuck盘，放置并焊接pcb板，工作台两侧设有支架，支架上方设有上压板和下压板，夹持头连接x转动旋钮、y转动旋钮和z转动旋钮，工作台设有转动底板和微调位置螺杆，带动工作台转动和调整位置，刀型探针卡完全可以根据产品的特性达到要求。本实用新型的金属刀型探针卡使得芯片测试的成本降低，设计巧妙，结构简洁，使用简单方便，易于操作等优点，适于大规模推广应用。
1.一种刀型探针卡的生产装置，其特征在于，包括工作台、夹持头、夹持臂、刀片探针、调整装置和显微镜，所述夹持头夹紧固定所述刀片探针，所述夹持头的下方设有所述工作台，所述工作台上设置有chuck盘，放置并焊接pcb板，所述工作台两侧设有支架，所述支架上方设有上压板和下压板，所述夹持头连接x转动旋钮、y转动旋钮和z转动旋钮，所述工作台设有转动底板和微调位置螺杆，带动所述工作台转动和调整位置。
2.如权利要求1所述的刀型探针卡的生产装置，其特征在于，所述x转动旋钮、y转动旋钮和z转动旋钮分别连接为调整位置千分尺，和调整斜度千分尺分别控制所述夹持头往x、y、z轴方向移动和角度控制。
3.如权利要求1所述的刀型探针卡的生产装置，其特征在于，所述上压板和下压板的间距可以调节，并通过压板螺丝固定不同尺寸线路板。
4.如权利要求1所述的刀型探针卡的生产装置，其特征在于，所述刀片探针打弯，弯针角度小于或等于103度。
5.如权利要求1所述的刀型探针卡的生产装置，其特征在于，所述刀片探针固定在刀片的凹槽中，进行焊接。
6.如权利要求1所述的刀型探针卡的生产装置，其特征在于，所述刀片探针的针臂按照尺寸要求定位固定。
7.如权利要求1所述的刀型探针卡的生产装置，其特征在于，所述刀片探针由打磨机进行打磨针尖。
8.如权利要求1所述的刀型探针卡的生产装置，其特征在于，所述显微镜连接移动显微镜导轨，用于放大观察刀型探针卡的焊接生产。
9.如权利要求1所述的刀型探针卡的生产装置，其特征在于，所述微调位置螺杆包括微调前后位置螺杆和微调左右位置螺杆。
