一种角度可调的蒸发舟装置的制作方法

专利2025-04-01  9


本技术涉及真空蒸镀,尤其是指一种角度可调的蒸发舟装置。


背景技术:

1、真空蒸镀是指在真空条件下,采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化,粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法;真空蒸镀技术中薄膜的均匀性和附着力的优劣将直接影响到各种器件的稳定性和可靠性;由于薄膜的均匀性对产品的一致性以及器件的性能有着很重要的影响,在光学薄膜元件的制备过程中,薄膜的膜厚均匀性一直是一个非常重要的问题,镀膜面积越大,膜厚均匀性就越难控制,而且,膜厚均匀性还关系到镀膜成品率的高低;因此,近年来膜厚均匀性一直受到广泛的关注;但是目前真空蒸镀装置中的蒸发舟大多不可改变角度,镀膜面积比较固定,并且不可改变,无法满足镀膜面积较大的情况。


技术实现思路

1、为此,本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中蒸发舟角度不可调节,镀膜面积相对较小并且不可改变的问题;为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种角度可调的蒸发舟装置,针对镀膜面积较大的情况,蒸发舟可实现一定角度的摆动,从而可以扩大蒸镀面积,提高膜厚均一性,提高镀膜成品率。

2、为了达到上述目的,本实用新型采用的主要技术方案包括:支撑组件;

3、蒸发舟,所述蒸发舟与所述支撑组件转动连接;驱动组件,所述驱动组件设置于所述蒸发舟的底部,用于使所述蒸发舟以所述蒸发舟的底部为圆心呈扇形转动。

4、本实用新型采用支撑组件与蒸发舟转动连接的方式,并在支撑组件之间形成有蒸发舟的转动空间,实现蒸发舟在支撑组件中以蒸发舟的底部为圆心,呈一定角度的摆动,使得蒸发舟中的镀膜材料在气化时,扩散到更大的范围,从而扩大蒸镀面积。

5、在本实用新型的一个实施例中,所述支撑组件设置有两个,且对称设置在所述蒸发舟的两侧;所述支撑组件之间形成有所述蒸发舟的转动空间。

6、在本实用新型的一个实施例中,所述支撑组件包括第一支撑杆和第二支撑杆;所述第一支撑杆与所述第二支撑杆之间可拆卸连接。

7、在本实用新型的一个实施例中,所述第一支撑杆呈l型设置。

8、在本实用新型的一个实施例中,所述第一支撑杆靠近所述蒸发舟的一端设置有第一螺孔;所述第二支撑杆远离所述蒸发舟的一端设置有第一通孔;所述第一螺孔与所述第一通孔之间螺丝连接。

9、在本实用新型的一个实施例中,所述第一通孔呈条形设置。

10、其中,第一支撑杆呈l型设置,第二支撑杆在第一支撑杆靠近蒸发舟的一端设置,并与第一支撑杆可拆卸连接,组成一个支撑组件;在蒸发舟两侧对称设置有两个支撑组件,两个l型的第一支撑杆限制蒸发舟在第一支撑杆长度方向的运动范围,两个第二支撑杆限制蒸发舟在第一支撑杆宽度方向的运动范围,从而形成蒸发舟的转动空间;当需要调节转动空间的大小时,由于第一支撑杆与第二支撑杆之间可拆卸连接,只需拧开第一支撑杆与第二支撑杆之间的螺丝,移动第二支撑杆,调整第二支撑杆位置,从而调整蒸发舟的转动空间;当调整到所需大小的转动空间时,再次拧紧第一支撑杆与第二支撑杆之间的螺丝即可;条形的第一通孔使得第一支撑杆与第二支撑杆之间相对移动的范围更大,增加转动空间的多样性。

11、在本实用新型的一个实施例中,所述第二支撑杆靠近所述蒸发舟的一端设置有第二通孔,所述第二通孔呈圆形。

12、在本实用新型的一个实施例中,所述蒸发舟两侧对称设置有安装柱,所述安装柱转动安装在所述第二通孔中。

13、其中,在蒸发舟的两侧对称设置有安装柱,安装柱转动安装在第二支撑杆圆形的第二通孔中,使得蒸发舟被限制在转动空间内摆动,镀膜材料从蒸发舟的开口处被蒸发,实现蒸镀面积的扩大以及控制。

14、在本实用新型的一个实施例中,所述安装柱远离所述蒸发舟的底部的一侧,沿所述安装柱长度方向设置有凹槽;所述凹槽底部呈弧形。

15、其中,安装柱的材质为铜等易导电材料,蒸发舟在使用时需要加热,为了防止安装柱被热熔断,将安装柱远离蒸发舟的底部的一侧,沿长度方向设置弧形凹槽,增大接触面积。

16、在本实用新型的一个实施例中,所述驱动组件包括:磁铁,所述磁铁安装在所述蒸发舟底部;电磁铁,所述电磁铁设置在所述所述磁铁远离所述蒸发舟的一侧。

17、其中,为了实现蒸发舟的转动,在蒸发舟底部设置有耐高温强力磁铁,在磁铁的下方设置有电磁铁,电磁铁由线圈制成,将电磁铁通交流电后,电磁5会产生感应磁场,耐高温强力磁铁和电磁铁会产生排斥作用,从而实现蒸发舟的摆动。

18、本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点:

19、本实用新型所述的一种角度可调的蒸发舟装置,设置有支撑组件,使蒸发舟通过安装柱与支撑组件转动连接,并在蒸发舟的底部设置驱动组件,通过电磁铁与磁铁之间的排斥作用,实现蒸发舟的转动;并且,在蒸发舟的两侧对称设置两个支撑组件,支撑组件之间形成蒸发舟的转动空间,限制蒸发舟的摆动范围,并且可以根据使用需求调整第二支撑杆的位置,以调整蒸发舟的摆动角度,镀膜材料从蒸发舟的开口处飞出,蒸镀面积随着蒸发舟的转动而扩大,增大了镀膜面积,克服了因蒸镀面积较大不能获得较好的膜厚均一性的问题,可以提高膜厚均一性,提高镀膜成品率。



技术特征:

1.一种角度可调的蒸发舟装置,其特征在于:包括:

2.根据权利要求1所述的一种角度可调的蒸发舟装置,其特征在于:

3.根据权利要求2所述的一种角度可调的蒸发舟装置,其特征在于:

4.根据权利要求3所述的一种角度可调的蒸发舟装置,其特征在于:还包括:

5.根据权利要求4所述的一种角度可调的蒸发舟装置,其特征在于:

6.根据权利要求5所述的一种角度可调的蒸发舟装置,其特征在于:

7.根据权利要求5所述的一种角度可调的蒸发舟装置,其特征在于:

8.根据权利要求7所述的一种角度可调的蒸发舟装置,其特征在于:

9.根据权利要求8所述的一种角度可调的蒸发舟装置,其特征在于:

10.根据权利要求1所述的一种角度可调的蒸发舟装置,其特征在于:


技术总结
本技术涉及一种角度可调的蒸发舟装置,包括:支撑组件;蒸发舟,所述蒸发舟与所述支撑组件转动连接;驱动组件,所述驱动组件设置于所述蒸发舟的底部,用于使所述蒸发舟以所述蒸发舟的底部为圆心呈扇形转动;所述支撑组件设置有两个,且对称设置在所述蒸发舟的两侧;所述支撑组件之间形成有所述蒸发舟的转动空间:本技术通过支撑组件与蒸发舟的转动连接,使蒸发舟可实现一定角度的摆动,且摆动角度可调节,从而可以扩大蒸镀面积,克服了因蒸镀面积较大不能获得较好的膜厚均一性的问题,可以提高膜厚均一性,提高镀膜成品率。

技术研发人员:孙祥,张敬娣,黄晶,张天强,陈晓,于海潇
受保护的技术使用者:江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
技术研发日:20231115
技术公布日:2024/7/25
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