太阳能电池载板以及设备腔的制作方法

专利2025-02-10  35


本技术涉及太阳能电池制造领域,尤其涉及太阳能电池载板以及设备腔。


背景技术:

1、近年来,随着对太阳能电池降本需求的不断增强,相应要求太阳能电池薄膜制备的核心设备单位产能不断提升,即设备腔中能同时容纳更多的硅片同时进行成膜,以达到整体产线的降本需求。所述核心设备至少包括形成非晶硅薄膜的等离子增强化学气相沉积pecvd设备、相匹配的加载腔、卸载腔、物理气相沉积pvd反应腔等。

2、为使设备腔中能同时容纳更多的硅片,第一种方法是增大硅片载板(或托盘)的尺寸,使其可以承载更多的太阳能电池硅片;第二种方法是增加设备腔所能承载的载板数量。上述第一方法载板尺寸的增大在实施过程中会受限于厚度以及刚度或强度的影响,具体而言,载板在使用过程中不能过厚,增大外形设计尺寸后,载板的刚度和承载力有极限限制,故载板承载的硅片量也存在上限。

3、上述第二种方法在实施过程中也会遇到一些问题,目前承载太阳能电池的载板在成膜设备中多以水平状态进行传送,载板的托举和传送需要额外的机械手臂或传输装置来实现,这无疑增加了单片载板占用空间,大大降低成膜设备空间利用率。如果不改变载板的水平传送方式仅通过压缩单片载板占用空间,上述第二种方法的实施难度和实施效果都不太好。如果能将成膜设备中传送处于水平状态的载板改成传送处于竖直状态的载板,将会大幅缩减单片载板占用空间。但目前现有技术中的载板不适合以竖直状态进行传送。

4、因此,如何提供一种太阳能电池载板以及设备腔,以将太阳能电池载板在竖直状态下传送经过设备腔,从而能有效提高设备腔对载板及硅片的容纳能力,提高设备产能,已成为业内亟待解决的技术难题。


技术实现思路

1、针对现有技术的上述问题,本实用新型提出了一种太阳能电池载板,其在竖直状态下适于由设备腔内的驱动模块传送,所述太阳能电池载板包括载板本体,所述太阳能电池载板还包括分别位于竖直状态的载板本体的顶部以及底部的顶部传送接头以及底部传送接头,所述驱动模块通过驱动所述底部传送接头来传送处于竖直状态的所述太阳能电池载板,所述顶部传送接头与设备腔内的传送引导件凹凸结合以确保所述太阳能电池载板沿预定路径传送。

2、可选的,所述顶部传送接头为顶部h型接头,顶部h型接头的第一端卡固在所述载板本体的顶端,其与第一端相对的第二端与所述传送引导件凹凸结合以确保所述太阳能电池载板沿预定路径传送,所述传送引导件为与顶部h型接头的第二端相匹配的导向块。

3、可选的,所述底部传送接头为底部h型接头,底部h型接头的第一端卡固在载板本体的底端,其与第一端相对的第二端并列设置有多个滚柱。

4、可选的,所述驱动模块包括电机、传动轴以及设置在所述传动轴上且与所述底部h型接头的多个滚柱啮合的链轮或齿轮,所述电机驱动所述传动轴转动带动所述链轮或齿轮转动从而驱动所述多个滚柱以及所述太阳能电池载板移动。

5、可选的,所述载板本体、顶部传送接头以及底部传送接头均由铝合金、不锈钢、陶瓷或碳纤维制成,所述底部传送接头另一端的多个滚柱由铝合金或不锈钢制成。

6、可选的,所述载板本体的第一面上设置有用于承载硅片的多个承载单元,所述多个承载单元中每个承载单元均包括设置在中部的承载凹槽以及围绕每个承载凹槽突出设置且用于承载太阳能电池片的承载区,每个承载区周边设置有多个限位件。

7、可选的,每个限位件包括固定件、设置在载板本体上的基座、设置在所述基座上的四叶形旋钮、以及设置成依次穿过所述四叶形旋钮、基座的销轴,所述销轴与四叶形旋钮之间还设置有弹性件,所述固定件穿过载板本体并连接至所述销轴的底部从而将限位件固定在所述载板本体上,所述四叶形旋钮能沿销轴转动并通过其叶片进入或离开所述承载区而对应阻挡或不阻挡其承载的硅片。

8、可选的,所述载板本体在其与第一面相对的第二面上开设有与所述承载凹槽相对应的平衡凹槽,所述载板本体在所述承载凹槽槽底与平衡凹槽槽底之间的厚度为0.5毫米至2毫米。

9、根据本实用新型的另一方面,本实用新型还公开了一种设备腔,所述设备腔适于传送处于竖直状态的、如上任一项所述的太阳能电池载板,所述设备腔包括靠近腔体顶部区域设置的传送引导件以及靠近腔体底部区域设置的驱动模块,所述驱动模块通过驱动太阳能电池载板的所述底部传送接头来传送处于竖直状态的所述太阳能电池载板,所述传送引导件与所述顶部传送接头凹凸结合以确保所述太阳能电池载板沿预定路径传送。

10、可选的,所述设备腔包括加载腔、卸载腔、pecvd反应腔以及pvd反应腔。

11、与现有技术中的设备腔传送处于水平状态的太阳能电池载板导致无法大幅提升产能相比,本实用新型的太阳能电池载板在竖直状态下适于由设备腔内的驱动模块传送,所述太阳能电池载板包括载板本体,所述太阳能电池载板还包括分别位于竖直状态的载板本体的顶部以及底部的顶部传送接头以及底部传送接头,所述驱动模块通过驱动所述底部传送接头来传送处于竖直状态的所述太阳能电池载板,所述顶部传送接头与设备腔内的传送引导件凹凸结合以确保所述太阳能电池载板沿预定路径传送。

12、本实用新型能将太阳能电池载板在竖直状态下传送经过设备腔,从而能有效提高设备腔对载板及硅片的容纳能力,提高设备产能。



技术特征:

1.一种太阳能电池载板,其在竖直状态下适于由设备腔内的驱动模块传送,所述太阳能电池载板包括载板本体,其特征在于,所述太阳能电池载板还包括分别位于竖直状态的载板本体的顶部以及底部的顶部传送接头以及底部传送接头,所述驱动模块通过驱动所述底部传送接头来传送处于竖直状态的所述太阳能电池载板,所述顶部传送接头与设备腔内的传送引导件凹凸结合以确保所述太阳能电池载板沿预定路径传送。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池载板,其特征在于,所述顶部传送接头为顶部h型接头,顶部h型接头的第一端卡固在所述载板本体的顶端,其与第一端相对的第二端与所述传送引导件凹凸结合以确保所述太阳能电池载板沿预定路径传送,所述传送引导件为与顶部h型接头的第二端相匹配的导向块。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池载板,其特征在于,所述底部传送接头为底部h型接头,底部h型接头的第一端卡固在载板本体的底端,其与第一端相对的第二端并列设置有多个滚柱。

4.根据权利要求3所述的太阳能电池载板,其特征在于,所述驱动模块包括电机、传动轴以及设置在所述传动轴上且与所述底部h型接头的多个滚柱啮合的链轮或齿轮,所述电机驱动所述传动轴转动带动所述链轮或齿轮转动从而驱动所述多个滚柱以及所述太阳能电池载板移动。

5.根据权利要求3所述的太阳能电池载板,其特征在于,所述载板本体、顶部传送接头以及底部传送接头均由铝合金、不锈钢、陶瓷或碳纤维制成,所述底部传送接头另一端的多个滚柱由铝合金或不锈钢制成。

6.根据权利要求3所述的太阳能电池载板,其特征在于,所述载板本体的第一面上设置有用于承载硅片的多个承载单元,所述多个承载单元中每个承载单元均包括设置在中部的承载凹槽以及围绕每个承载凹槽突出设置且用于承载太阳能电池片的承载区,每个承载区周边设置有多个限位件。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池载板,其特征在于,每个限位件包括固定件、设置在载板本体上的基座、设置在所述基座上的四叶形旋钮、以及设置成依次穿过所述四叶形旋钮、基座的销轴,所述销轴与四叶形旋钮之间还设置有弹性件,所述固定件穿过载板本体并连接至所述销轴的底部从而将限位件固定在所述载板本体上,所述四叶形旋钮能沿销轴转动并通过其叶片进入或离开所述承载区而对应阻挡或不阻挡其承载的硅片。

8.根据权利要求6所述的太阳能电池载板,其特征在于,所述载板本体在其与第一面相对的第二面上开设有与所述承载凹槽相对应的平衡凹槽,所述载板本体在所述承载凹槽槽底与平衡凹槽槽底之间的厚度为0.5毫米至2毫米。

9.一种设备腔,其特征在于,所述设备腔适于传送处于竖直状态的、如权利要求1至8中任一项所述的太阳能电池载板,所述设备腔包括靠近腔体顶部区域设置的传送引导件以及靠近腔体底部区域设置的驱动模块,所述驱动模块通过驱动太阳能电池载板的所述底部传送接头来传送处于竖直状态的所述太阳能电池载板,所述传送引导件与所述顶部传送接头凹凸结合以确保所述太阳能电池载板沿预定路径传送。

10.根据权利要求9所述的设备腔,其特征在于,所述设备腔包括加载腔、卸载腔、pecvd反应腔以及pvd反应腔。


技术总结
本技术公开一种太阳能电池载板以及设备腔。所述太阳能电池载板在竖直状态下适于由设备腔内的驱动模块传送,所述太阳能电池载板包括载板本体,所述太阳能电池载板还包括分别位于竖直状态的载板本体的顶部以及底部的顶部传送接头以及底部传送接头,所述驱动模块通过驱动所述底部传送接头来传送处于竖直状态的所述太阳能电池载板,所述顶部传送接头与设备腔内的传送引导件凹凸结合以确保所述太阳能电池载板沿预定路径传送。本技术能将太阳能电池载板在竖直状态下传送经过设备腔,从而能有效提高设备腔对载板及硅片的容纳能力,提高设备产能。

技术研发人员:毛成,常昱,李朋
受保护的技术使用者:理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司
技术研发日:20231107
技术公布日:2024/7/25
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