本实用新型涉及一种滴定仪系统，特别涉及一种自动滴定检测装置。
背景技术：
目前pcb制程微蚀工艺中，需要管控微蚀药水的铜离子浓度，硫酸浓度，双氧水浓度值。传统的分析方式是人工取样实验室分析，此分析方法依赖于人力，分析间隔时间长；而且容易打来数据误差；而且过程不稳定。
技术实现要素：
本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种自动滴定检测装置。
为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：
本实用新型一种自动滴定检测装置，包括第一试剂仓和第二试剂仓，其中，
所述第一试剂仓通过硝酸钠滴定泵连通至滴定泵流量计量系统；
所述第二试剂仓通过氢氧化钠滴定泵连通至所述滴定泵流量计量系统；
所述第一试剂仓和所述第二试剂仓均通过所述滴定泵流量计量系统连通至反应皿；
电导率探头流通杯连接铜流通式传感器，其中，所述铜流通式传感器连接有取样循环泵；
所述电导率探头流通杯通过取样泵和滴定管连通至反应皿；
所述电导率探头流通杯连通至控制面板，其中，
所述控制面板通过orp电极连通至所述反应皿；
所述反应皿的底部安装有搅拌装置。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述反应皿连通至废液仓，用于进行液体处理或反应。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述滴定泵流量计量系统包括光电液位开关、计量管、消泡管和滴定管；反应皿底部安装有搅拌装置。
本实用新型所达到的有益效果是：
1.可以取代人工取样分析，减少人工成本的投入，减少人工分析错误带来的数据误差；
2.可以做到实时的分析铜离子浓度，短间隔周期的分析硫酸，双氧水浓度；
3.可以提供多频次的工艺管控曲线，提供制程稳定性。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1是本实用新型的结构示意图；
图中：001、第一试剂仓；002、第二试剂仓；003、废液仓；1、电导率探头流通杯；2、铜流通式传感器；3、取样循环泵；4、取样泵；5、硝酸钠滴定泵；6、氢氧化钠滴定泵；7、滴定泵流量计量系统；701、光电液位开关；702、计量管；703、消泡管；704、滴定管；8、orp电极；9、控制面板；10、反应皿；11、搅拌装置。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
实施例1
如图1所示，本实用新型提供一种自动滴定检测装置，包括第一试剂仓001和第二试剂仓002，其中，第一试剂仓001通过硝酸钠滴定泵5连通至滴定泵流量计量系统7；第二试剂仓002通过氢氧化钠滴定泵6连通至滴定泵流量计量系统7；
第一试剂仓001和第二试剂仓002均通过滴定泵流量计量系统7连通至反应皿10；电导率探头流通杯1连接铜流通式传感器2，其中，铜流通式传感器2连接有取样循环泵3；电导率探头流通杯1通过取样泵4和滴定管704连通至反应皿10，反应皿10底部安装有搅拌装置11。
进一步的，电导率探头流通杯1连通至控制面板9，其中，控制面板9通过orp电极连通至反应皿10。
具体的，反应皿10的底部安装有搅拌装置11；反应皿10连通至废液仓003；滴定泵流量计量系统7包括光电液位开关701、计量管702、消泡管703和滴定管704；微蚀药液通过取样循环泵3在铜流通式传感器2和电导率探头流通杯1里循环流通，铜流通式传感器2检测出微蚀药液里的铜离子浓度，电导率探头流通杯1检测出微蚀药液里的硫酸浓度。取样泵4以上循环中抽取定量的微蚀药液注入反应皿中，硝酸钠滴定泵5和氢氧化钠滴定泵6分别滴定2种试剂入反应皿中，反应皿10下的搅拌装置11即磁力搅拌电机同时搅拌滴定过程，滴定泵流量计量系统7在滴定时校准滴定泵流量以精确计量滴定量。
在以上滴定过程中浸入在反应皿的orp电极8实时监控滴定终点，一旦达到设定的滴定终点电压值时，滴定结束plc计算累积的滴定量得出微蚀药液里的硫酸浓度和双氧水浓度值。测量结束后排废清洗等待下次测量。其中通过滴定法得出的硫酸浓度值用来修正电导率探头得出的硫酸浓度值。实际运行中电导率探头得出的实时的硫酸浓度值更方便工艺管控曲线的建立。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
1.一种自动滴定检测装置，其特征在于，包括第一试剂仓(001)和第二试剂仓(002)，其中，
所述第一试剂仓(001)通过硝酸钠滴定泵(5)连通至滴定泵流量计量系统(7)；
所述第二试剂仓(002)通过氢氧化钠滴定泵(6)连通至所述滴定泵流量计量系统(7)；
电导率探头流通杯(1)连接铜流通式传感器(2)，其中，所述铜流通式传感器(2)连接有取样循环泵(3)；
所述电导率探头流通杯(1)通过取样泵(4)和滴定管(704)连通至反应皿(10)；
所述电导率探头流通杯(1)连通至控制面板(9)，其中，
所述控制面板(9)通过orp电极连通至所述反应皿(10)；
所述反应皿(10)连通至废液仓(003)；
所述第一试剂仓(001)和所述第二试剂仓(002)均通过所述滴定泵流量计量系统(7)连通至反应皿(10)；
所述反应皿(10)的底部安装有搅拌装置(11)；
所述滴定泵流量计量系统(7)包括光电液位开关(701)、计量管(702)、消泡管(703)和滴定管(704)。
技术总结