本技术涉及托盘，特别是一种pvd镀膜用真空镀膜托盘。
背景技术：
1、在真空镀膜设备领域中，镀膜工件的承载托盘是整个镀膜系统最关键的组成部分之一，特别是在量产作业温度条件调控时，需要极高的稳定均匀性和极快的加热速度。
2、公开号为cn216614829u中国专利，公开的一种真空镀膜用工件承载托盘，其可以在工序中实现对镀膜工件的快速、均匀、省能的加热。其包括：承载托盘，其特征在于，其还包括加热模块、储热层，所述加热模块、所述储热层被集成在所述承载托盘上，所述储热层被均匀地设置于所述承载托盘下部，所述加热模块为所述承载托盘加热。
3、上述现有技术方案中，通过加热模块直接对承载托盘加热，是承载托盘自身成为热源，通过承载托盘直接对工件进行加热，无需另行使用加热单元，提高了加热速度、降低了热传导过程中的能耗，实现对工件的均匀加热，但是由于承载托盘的顶部没有遮挡物，当承载托盘外部空气流动时，空气会将承载托盘表面上的工件顶部的温度带走，导致工件的顶部和底部温度不均，影响加工效果。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，本实用新型提出了一种pvd镀膜用真空镀膜托盘，通过通气槽使外部的空气进入到分隔板的内部，然后通过加热装置对分隔板内部的空气进行加热，然后通过两个分流孔向外输出，对工件的顶部进行加热，避免工件顶部的温度容易流失的情况发生。
2、实现本实用新型目的的技术解决方案为：一种pvd镀膜用真空镀膜托盘，包括加热装置，加热装置的顶部壁面固定安装有限位框，加热装置的顶部设置有多个等距分布的导流组件，导流组件包括固定安装在加热装置顶部壁面上的分隔板，分隔板的底部壁面开设有通气槽，通气槽的两端贯穿限位框的内部，通气槽的内部顶部壁面等距开设有多个进气孔，进气孔的侧壁左右两端均开设有分流孔，分流孔呈越靠近外部高度越低的倾斜状。
3、在某些实施例中，所述加热装置的顶部设置有两个回流组件，两个回流组件分别位于加热装置的左右两侧，回流组件包括固定安装在加热装置顶部壁面上的回流风机。
4、在某些实施例中，所述回流风机的外部设置有回流管，回流管固定安装在限位框的外侧壁上，且回流管与相邻的通气槽连通。
5、在某些实施例中，所述回流风机的顶部设置有遮挡网，遮挡网固定安装在分隔板和加热装置内侧壁相邻的侧壁上。
6、在某些实施例中，所述分流孔的内部设置有扰流组件，扰流组件包括固定安装在分流孔内侧壁上的连接柱，连接柱的侧壁上转动安装有扰流板。
7、在某些实施例中，所述扰流板的内部开设有容纳槽，容纳槽的内部设置有套在连接柱侧壁上的复位扭簧。
8、本实用新型与现有技术相比，其显著优点是：
9、其一：本实用新型，通过分隔板将加热装置顶部分成多分，使加热装置的顶部能够放置多个工件，通过通气槽使外部的空气进入到分隔板的内部，然后通过加热装置对分隔板内部的空气进行加热，加热之后的空气向上流动，然后通过两个分流孔向外输出，对工件的顶部进行加热，避免工件顶部的温度容易流失的情况发生；解决了现有的工件顶部和底部温度不均的问题。
10、其二：本实用新型，通过将回流管与相邻的通气槽连通，因为回流风机处在加热装置的顶部，所以回流风机工作时能够将加热装置顶部已经被加热的空气吹入回流管的内部，再通过回流管送入各个分隔板的内部，提高分隔板内部的空气流动速度，保证工件顶部的温度。
1.一种pvd镀膜用真空镀膜托盘，包括加热装置(1)，加热装置(1)的顶部壁面固定安装有限位框(2)，其特征在于：所述加热装置(1)的顶部设置有多个等距分布的导流组件(3)，导流组件(3)包括固定安装在加热装置(1)顶部壁面上的分隔板(31)，分隔板(31)的底部壁面开设有通气槽(32)，通气槽(32)的两端贯穿限位框(2)的内部，通气槽(32)的内部顶部壁面等距开设有多个进气孔(33)，进气孔(33)的侧壁左右两端均开设有分流孔(34)，分流孔(34)呈越靠近外部高度越低的倾斜状。
2.根据权利要求1所述的一种pvd镀膜用真空镀膜托盘，其特征在于：所述加热装置(1)的顶部设置有两个回流组件(4)，两个回流组件(4)分别位于加热装置(1)的左右两侧，回流组件(4)包括固定安装在加热装置(1)顶部壁面上的回流风机(41)。
3.根据权利要求2所述的一种pvd镀膜用真空镀膜托盘，其特征在于：所述回流风机(41)的外部设置有回流管(42)，回流管(42)固定安装在限位框(2)的外侧壁上，且回流管(42)与相邻的通气槽(32)连通。
4.根据权利要求2所述的一种pvd镀膜用真空镀膜托盘，其特征在于：所述回流风机(41)的顶部设置有遮挡网(43)，遮挡网(43)固定安装在分隔板(31)和加热装置(1)内侧壁相邻的侧壁上。
5.根据权利要求1所述的一种pvd镀膜用真空镀膜托盘，其特征在于：所述分流孔(34)的内部设置有扰流组件(6)，扰流组件(6)包括固定安装在分流孔(34)内侧壁上的连接柱(61)，连接柱(61)的侧壁上转动安装有扰流板(62)。
6.根据权利要求5所述的一种pvd镀膜用真空镀膜托盘，其特征在于：所述扰流板(62)的内部开设有容纳槽(63)，容纳槽(63)的内部设置有套在连接柱(61)侧壁上的复位扭簧(64)。
