一种近距红外热蒸发真空镀膜机的制作方法

专利2024-10-18  8



1.本实用新型涉及镀膜机技术领域,特别涉及一种近距红外热蒸发真空镀膜机。


背景技术:

2.当前,在半导体器件、oled柔性显示屏、光学器件、太阳能电池等器件功能薄膜制备领域,电子束蒸发真空镀膜、激光真空镀膜、磁控溅射镀和cvd化学气相沉积等设备得到了广泛运用,在现有的近距红外热蒸发真空镀膜机中至少有以下弊端:1、现有的近距红外热蒸发真空镀膜机不方便进行移动,因体型较大,需要使用吊装设备才能进行移动,移动起来较为麻烦;2、现有的近距红外热蒸发真空镀膜机在使用时耗能较高,内部的红外线灯加热速度较慢,故此,我们推出一种新的近距红外热蒸发真空镀膜机。


技术实现要素:

3.本实用新型的主要目的在于提供一种近距红外热蒸发真空镀膜机,可以有效解决背景技术中的问题。
4.为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
5.一种近距红外热蒸发真空镀膜机,包括覆膜仓,所述覆膜仓右端固定连接有运行主体,所述运行主体前端右侧设置有控制面板,所述覆膜仓下端和运行主体下端均固定连接有四个移动机构,所述覆膜仓前端右部活动连接有仓门,所述仓门外表面前部上侧设置有两个观察窗,所述仓门外表面前侧左侧固定连接有把手,所述仓门左端与覆膜仓左端共同固定连接有两个磁吸锁,所述覆膜仓内表面和内下壁与仓门内表面和内下壁均固定连接有若干个凸面镜,所述覆膜仓内下壁固定连接有支撑架,所述覆膜仓内上壁设置有三个红外线加热灯。
6.优选的,所述覆膜仓下端与运行主体下端齐平,八个所述移动机构分别分部在覆膜仓下端四角和运行主体下端四角且互不接触,两个所述观察窗等距离分布且不接触,所述把手与两个观察窗均不接触,两个所述磁吸锁上下分布且不接触。
7.优选的,若干个所述凸面镜等距离分布且互不接触,若干个所述凸面镜与支撑架、两个观察窗和三个红外线加热灯均不接触,三个所述红外线加热灯等距离分布且互不接触。
8.优选的,所述支撑架包括四个支撑杆,四个所述支撑杆上端共同固定连接有放置板,所述放置板上端开有若干个透孔,若干个所述透孔等距离分布且互不接触,四个所述支撑杆等距离阵列分布且互不接触,四个所述支撑杆均与覆膜仓内下壁固定连接。
9.优选的,所述移动机构包括伸缩气缸,所述伸缩气缸下端固定连接有支撑垫,所述伸缩气缸外表面活动连接有转轴,所述转轴外表面左侧和外表面右侧均固定连接有连接杆,两个所述连接杆远离转轴的一端均活动连接有滚轮。
10.优选的,所述伸缩气缸分别与覆膜仓和运行主体固定连接,所述支撑垫位于两个滚轮之间且互不接触。
11.与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:
12.1、本实用新型中,通过在覆膜仓下端和运行主体下端均设置有四个移动机构,移动机构中以伸缩气缸为主体起到支撑作用,当设备需要移动时,通过控制面板使伸缩气缸向内缩回,使移动机构中的两个滚轮着地,即可对设备进行推行移动,不需要大型吊装设备也可以完成移动,移动完成后再通过控制面板使伸缩气缸伸出对设备进行固定支撑即可;
13.2、本实用新型中,通过在覆膜仓内表面和仓门内表面均设置有若干个等距离分布的凸面镜,三个红外线加热灯在进行加热时,若干个凸面镜可以将红外光线进行反复折射扩散,使红外光线可以均匀的分布的覆膜仓内部,使加热速度达到最快,可以减少一些能源的消耗。
附图说明
14.图1为本实用新型一种近距红外热蒸发真空镀膜机的整体结构示意图;
15.图2为本实用新型一种近距红外热蒸发真空镀膜机的整体结构示意图;
16.图3为本实用新型一种近距红外热蒸发真空镀膜机的支撑架整体结构示意图;
17.图4为本实用新型一种近距红外热蒸发真空镀膜机的移动机构整体结构示意图。
18.图中:1、覆膜仓;2、运行主体;3、控制面板;4、移动机构;5、仓门;6、观察窗;7、把手;8、磁吸锁;9、凸面镜;10、支撑架;11、红外线加热灯;101、支撑杆;102、放置板;103、透孔;41、伸缩气缸;42、支撑垫;43、转轴;44、连接杆;45、滚轮。
具体实施方式
19.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。
20.在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
21.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
22.实施例
23.请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:
24.一种近距红外热蒸发真空镀膜机,包括覆膜仓1,覆膜仓1右端固定连接有运行主体2,运行主体2前端右侧设置有控制面板3,覆膜仓1下端和运行主体2下端均固定连接有四个移动机构4,覆膜仓1前端右部活动连接有仓门5,仓门5外表面前部上侧设置有两个观察窗6,仓门5外表面前侧左侧固定连接有把手7,仓门5左端与覆膜仓1左端共同固定连接有两个磁吸锁8,覆膜仓1内表面和内下壁与仓门5内表面和内下壁均固定连接有若干个凸面镜
9,覆膜仓1内下壁固定连接有支撑架10,覆膜仓1内上壁设置有三个红外线加热灯11,覆膜仓1下端与运行主体2下端齐平,八个移动机构4分别分部在覆膜仓1下端四角和运行主体2下端四角且互不接触,两个观察窗6等距离分布且不接触,把手7与两个观察窗6均不接触,两个磁吸锁8上下分布且不接触。
25.本实施例中,若干个凸面镜9等距离分布且互不接触,若干个凸面镜9与支撑架10、两个观察窗6和三个红外线加热灯11均不接触,三个红外线加热灯11等距离分布且互不接触,支撑架10包括四个支撑杆101,四个支撑杆101上端共同固定连接有放置板102,放置板102上端开有若干个透孔103,若干个透孔103等距离分布且互不接触,四个支撑杆101等距离阵列分布且互不接触,四个支撑杆101均与覆膜仓1内下壁固定连接,通过在覆膜仓1内表面和仓门5内表面均设置有若干个等距离分布的凸面镜9,三个红外线加热灯11在进行加热时,若干个凸面镜9可以将红外光线进行反复折射扩散,使红外光线可以均匀的分布的覆膜仓1内部,使加热速度达到最快,可以减少一些能源的消耗。
26.本实施例中,移动机构4包括伸缩气缸41,伸缩气缸41下端固定连接有支撑垫42,伸缩气缸41外表面活动连接有转轴43,转轴43外表面左侧和外表面右侧均固定连接有连接杆44,两个连接杆44远离转轴43的一端均活动连接有滚轮45,伸缩气缸41分别与覆膜仓1和运行主体2固定连接,支撑垫42位于两个滚轮45之间且互不接触,通过在覆膜仓1下端和运行主体2下端均设置有四个移动机构4,移动机构4中以伸缩气缸41为主体起到支撑作用,当设备需要移动时,通过控制面板3使伸缩气缸41向内缩回,使移动机构4中的两个滚轮45着地,即可对设备进行推行移动,不需要大型吊装设备也可以完成移动,移动完成后再通过控制面板3使伸缩气缸41伸出对设备进行固定支撑即可。
27.需要说明的是,本实用新型为一种近距红外热蒸发真空镀膜机,在使用过程中,首先将设备通过覆膜仓1下端和运行主体2下端的移动机构4进行移动,使设备移动到合适的位置进行使用,移动时,通过运行主体2中的控制面板3控制移动机构4中的伸缩气缸41向内收回,使两个滚轮45着地,再通过推行设备使其移动,移动到合适位置后,再通过控制面板3控制伸缩气缸41向外伸出,使其对设备起到支撑固定的作用,在使用,覆膜仓1内表面和仓门5内表面的若干个凸面镜9会将三个红外线加热灯11散发出的红外光线进行反复折射,使红外光线可以均匀的照射在覆膜仓1内,可以大大提高较热的时间,能够相对的减少一些能耗。
28.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

技术特征:
1.一种近距红外热蒸发真空镀膜机,包括覆膜仓(1),其特征在于:所述覆膜仓(1)右端固定连接有运行主体(2),所述运行主体(2)前端右侧设置有控制面板(3),所述覆膜仓(1)下端和运行主体(2)下端均固定连接有四个移动机构(4),所述覆膜仓(1)前端右部活动连接有仓门(5),所述仓门(5)外表面前部上侧设置有两个观察窗(6),所述仓门(5)外表面前侧左侧固定连接有把手(7),所述仓门(5)左端与覆膜仓(1)左端共同固定连接有两个磁吸锁(8),所述覆膜仓(1)内表面和内下壁与仓门(5)内表面和内下壁均固定连接有若干个凸面镜(9),所述覆膜仓(1)内下壁固定连接有支撑架(10),所述覆膜仓(1)内上壁设置有三个红外线加热灯(11)。2.根据权利要求1所述的一种近距红外热蒸发真空镀膜机,其特征在于:所述覆膜仓(1)下端与运行主体(2)下端齐平,八个所述移动机构(4)分别分部在覆膜仓(1)下端四角和运行主体(2)下端四角且互不接触,两个所述观察窗(6)等距离分布且不接触,所述把手(7)与两个观察窗(6)均不接触,两个所述磁吸锁(8)上下分布且不接触。3.根据权利要求1所述的一种近距红外热蒸发真空镀膜机,其特征在于:若干个所述凸面镜(9)等距离分布且互不接触,若干个所述凸面镜(9)与支撑架(10)、两个观察窗(6)和三个红外线加热灯(11)均不接触,三个所述红外线加热灯(11)等距离分布且互不接触。4.根据权利要求1所述的一种近距红外热蒸发真空镀膜机,其特征在于:所述支撑架(10)包括四个支撑杆(101),四个所述支撑杆(101)上端共同固定连接有放置板(102),所述放置板(102)上端开有若干个透孔(103),若干个所述透孔(103)等距离分布且互不接触,四个所述支撑杆(101)等距离阵列分布且互不接触,四个所述支撑杆(101)均与覆膜仓(1)内下壁固定连接。5.根据权利要求1所述的一种近距红外热蒸发真空镀膜机,其特征在于:所述移动机构(4)包括伸缩气缸(41),所述伸缩气缸(41)下端固定连接有支撑垫(42),所述伸缩气缸(41)外表面活动连接有转轴(43),所述转轴(43)外表面左侧和外表面右侧均固定连接有连接杆(44),两个所述连接杆(44)远离转轴(43)的一端均活动连接有滚轮(45)。6.根据权利要求5所述的一种近距红外热蒸发真空镀膜机,其特征在于:所述伸缩气缸(41)分别与覆膜仓(1)和运行主体(2)固定连接,所述支撑垫(42)位于两个滚轮(45)之间且互不接触。

技术总结
本实用新型涉及镀膜机技术领域,特别涉及一种近距红外热蒸发真空镀膜机,包括覆膜仓,所述覆膜仓右端固定连接有运行主体,所述运行主体前端右侧设置有控制面板,所述覆膜仓下端和运行主体下端均固定连接有四个移动机构,所述覆膜仓前端右部活动连接有仓门,所述仓门外表面前部上侧设置有两个观察窗,所述仓门外表面前侧左侧固定连接有把手,所述仓门左端与覆膜仓左端共同固定连接有两个磁吸锁,所述覆膜仓内表面和内下壁与仓门内表面和内下壁均固定连接有若干个凸面镜,所述覆膜仓内下壁固定连接有支撑架,所述覆膜仓内上壁设置有三个红外线加热灯。本实用新型所述的一种近距红外热蒸发真空镀膜机,方便移动和固定,且加热速度快。快。快。


技术研发人员:邓额
受保护的技术使用者:深圳市仲晶科技有限公司
技术研发日:2022.09.16
技术公布日:2022/12/16
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