一种用于ldi曝光机的真空度调节装置
技术领域
1.本实用新型涉及曝光机技术领域，具体涉及一种用于ldi曝光机的真空度调节装置。
背景技术：2.pcb生产流程中有一道工序叫“图像转移”，一般的pcb厂使用的是ccd半自动曝光机，而有些pcb工厂除了ccd以外，还引进了ldi直接成像曝光机，ldi与传统的ccd半自动曝光机相比，存在诸多优势，例如减少制作成本、曝光更精准、速度快等。现有的吸附系统通过真空吸附，利用负压固定pcb板进行曝光，ldi真空吸盘是ldi设备中的一个核心部件，ldi真空吸盘的真空发生器主要是真空泵或者鼓风机，通过气管与真空吸盘连接，使真空吸盘产生一定的负压，如专利申请号为201821281329.x，授权公告号为cn208537907u，名称为一种用于无掩模光刻机的真空吸附控制装置，该专利通过按下真空按钮开关，真空阀门打开，晶元被吸附，曝光完成后可按下真空按钮，真空阀门关闭，可取下晶元。吸附时的真空度可通过真空度数显表来读取，并可通过手动调节真空发生器来调节真空度。固现有技术中对真空度的调节方式需要人为调节气路，即手动干预管道口径以改变气管通气量进而影响真空度，需要耗费大量人力物力，对于不同pcb生产而言，需要频繁调整，无法适用不同pcb板生产工艺，影响到生产效率，此外，人为调节方式还存在无法精确调节，影响客户使用体验的问题。
技术实现要素：3.为解决上述技术问题，本实用新型对真空度调节机构中的球阀开合度进行调节，以对进入到真空发生器内气量进行调节，从而改变真空吸盘的真空度大小，可实现对真空吸盘真空度的自动化调节，具有生产效率高，调节精度高的优点，具体技术方案如下：
4.一种用于ldi曝光机的真空度调节装置，包括真空发生器以及通过连接管与真空发生器相连的真空吸盘，还包括：
5.真空度调节机构，所述真空度调节机构通过三通接头分别与真空发生器输出端和真空吸盘输入端相连通；
6.其中，所述真空度调节机构通过调节进入真空发生器进气量大小以对真空吸盘真空度进行调整。
7.优选的，所述三通接头的第一接头和第二接头分别与真空发生器和真空吸盘相连，所述三通接头的第三接头与真空度调节机构相连。
8.优选的，所述真空度调节机构包括分别设有入口和出口的本体、设置在本体内部能够连通入口和出口的球阀以及控制球阀开合度的阀控制器。
9.优选的，所述入口端还设有过滤器。
10.优选的，还包括检测机构，所述检测机构包括用于检测真空吸盘真空度的压力传感器、plc控制器以及ldi上位机。
11.优选的，所述真空发生器上还设有万向轮。
12.由以上技术方案可知，本实用新型具有如下有益效果：本实用新型中，控制球阀的开合度以对通过球阀的空气量进行调节，进而改变真空吸盘真空度大小，具体为，当球阀处于闭合状态时，真空吸盘与真空发生器直接连通，真空度最大；随着球阀开合度增大，真空发生器从外部吸气量增大，真空吸盘真空度随之降低；当球阀开合度最大时，真空发生器从外侧吸气量最大，吸盘真空度最小，因此可实现真空吸盘真空度的自动化调节，从而可满足不同pcb板生产工艺的要求，具有生产效率高的优点。
附图说明
13.图1为本实用新型的结构示意图；
14.图2为图1的后视图；
15.图3为真空吸盘真空度控制流程图。
16.图中：10、真空发生器；110、万向轮；20、连接管；30、真空吸盘；40、三通接头；510、入口；511、过滤器；520、出口；530、本体；540、阀控制器。
具体实施方式
17.以下结合附图和具体实施例，对本实用新型进行详细说明，在详细说明本实用新型各实施例的技术方案前，对所涉及的名词和术语进行解释说明，在本说明书中，名称相同或标号相同的部件代表相似或相同的结构，且仅限于示意的目的。
18.参照图1、图2，一种用于ldi曝光机的真空度调节装置，包括真空发生器10以及通过连接管20与真空发生器10相连的真空吸盘30，还包括真空度调节机构，所述真空度调节机构通过三通接头40分别与真空发生器10输出端和真空吸盘30输入端相连通，所述真空度调节机构通过调节进入真空发生器10进气量大小以对真空吸盘真空度进行调整，可实现真空吸盘真空度的自动化调节，从而可满足不同pcb板生产工艺的要求，具有生产效率高的优点。
19.作为本实用新型优选的技术方案，所述三通接头40的第一接头和第二接头分别与真空发生器10和真空吸盘30相连，需要说明的是，三通接头40的第一接头和第二接头分别通过宝塔接头与真空发生器和真空吸盘侧的连接管相连，并通过喉箍进行固定，所述三通接头40的第三接头与真空度调节机构相连，这样一来，经真空度调节机构输入的空气经三通接头40进入到连接管20内，控制进气量的大小以对真空吸盘的真空度进行调节。
20.进一步的，所述真空度调节机构包括本体530、球阀以及阀控制器540，本体530上分别设有入口510和出口520，球阀设置在本体530内部能够连通入口510和出口520，且该球阀为两通电动球阀，并可通过阀控制器540控制其开合度大小，使用时，通过控制球阀的开合度以对通过球阀的空气量进行调节，进而改变真空吸盘真空度大小，具体为，当球阀处于闭合状态时，真空吸盘与真空发生器直接连通，真空度最大；随着球阀开合度增大，真空发生器从外部吸气量增大，真空吸盘真空度随之降低；当球阀开合度最大时，真空发生器从外侧吸气量最大，吸盘真空度最小。
21.作为本实用新型优选的技术方案，所述入口510端还设有过滤器511，过滤器511防止外部杂质等进入球阀，进而影响真空发生器正常工作。
22.作为本实用新型优选的技术方案，还包括检测机构，所述检测机构包括用于检测真空吸盘30真空度的压力传感器、plc控制器以及ldi上位机，具体的，压力传感器可设置在真空吸盘上，阀控制器和压力传感器均与plc控制器电性相连，plc控制器通过模拟量电压控制球阀动作，并检测真空吸盘真空度，例如：0～10v对应球阀0～100％的开度，球阀运动到对应的开度会反馈电压到plc控制器，以确保球阀运动到位，同时plc控制器还可通过压力传感器得到真空吸盘的真空度值。
23.ldi上位机根据不同pcb板的曝光工艺，设定不同的真空度值，在切换不同工艺时，ldi上位机与plc控制器通讯，发送报文给plc控制器，通过plc控制器来调节球阀的开合度，同时ldi上位机通过plc控制器来读取真空吸盘的真空度值，根据读取到的真空度与设定的真空度值比较，若差值超过设定范围，则自动将真空吸盘的真空度调整至设定真空度值，因此本实用新型的真空度调节装置能够满足不同pcb板生产工艺，且真空度调节精度和便利性高。
24.需要说明的是，参照图3，对真空吸盘真空度控制如下：控制系统采用pid算法调节，当压力传感器的被测压力偏离所希望的给定值时，系统pid控制可根据测量信号与给定值的偏差进行比例p、积分i、微分d运算，从而输出控制信号给电动调压阀，促使测量值恢复到给定值，达到自动控制的效果。比例运算是指输出控制量与偏差的比例关系。比例参数p设定值越大，控制的灵敏度越低，设定值越小，控制的灵敏度越高，例如比例参数p设定为4％，表示测量值偏离给定值4％时，输出控制量变化100％。积分运算的目的是消除偏差，只要偏差存在，积分作用将控制量向使偏差消除的方向移动。积分时间是表示积分作用强度的单位，设定的积分时间越短，积分作用越强。例如积分时间设定为240秒时，表示对固定的偏差，积分作用的输出量达到和比例作用相同的输出量需要240秒。比例作用和积分作用是对控制结果的修正动作，响应较慢。微分作用是为了消除其缺点而补充的。微分作用根据偏差产生的速度对输出量进行修正，使控制过程尽快恢复到原来的控制状态，微分时间是表示微分作用强度的单位，仪表设定的微分时间越长，则以微分作用进行的修正越强。
25.进一步的，为了方便真空发生器10的移动，在真空发生器底部还设有万向轮110，通过该万向轮实现真空发生器以及真空吸盘的整体位移。
26.以上所述实施方式仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型的权利要求书确定的保护范围内。
技术特征：1.一种用于ldi曝光机的真空度调节装置，包括真空发生器(10)以及通过连接管(20)与真空发生器(10)相连的真空吸盘(30)，其特征在于，还包括：真空度调节机构，所述真空度调节机构通过三通接头(40)分别与真空发生器(10)输出端和真空吸盘(30)输入端相连通；其中，所述真空度调节机构通过调节进入真空发生器(10)进气量大小以对真空吸盘真空度进行调整。2.根据权利要求1所述的真空度调节装置，其特征在于，所述三通接头(40)的第一接头和第二接头分别与真空发生器(10)和真空吸盘(30)相连，所述三通接头(40)的第三接头与真空度调节机构相连。3.根据权利要求2所述的真空度调节装置，其特征在于，所述真空度调节机构包括分别设有入口(510)和出口(520)的本体(530)、设置在本体(530)内部能够连通入口(510)和出口(520)的球阀以及控制球阀开合度的阀控制器(540)。4.根据权利要求3所述的真空度调节装置，其特征在于，所述入口(510)端还设有过滤器(511)。5.根据权利要求3所述的真空度调节装置，其特征在于，还包括检测机构，所述检测机构包括用于检测真空吸盘(30)真空度的压力传感器、plc控制器以及ldi上位机。6.根据权利要求1所述的真空度调节装置，其特征在于，所述真空发生器(10)上还设有万向轮(110)。
技术总结本实用新型提供一种用于LDI曝光机的真空度调节装置，包括真空发生器以及通过连接管与真空发生器相连的真空吸盘，真空度调节机构通过三通接头分别与真空发生器输出端和真空吸盘输入端相连通，所述真空度调节机构通过调节进入真空发生器进气量大小以对真空吸盘真空度进行调整，所述三通接头的第一接头和第二接头分别与真空发生器和真空吸盘相连，所述三通接头的第三接头与真空度调节机构相连，本实用新型中，控制球阀的开合度以对通过球阀的空气量进行调节，进而改变真空吸盘真空度大小，因此可实现真空吸盘真空度的自动化调节，从而可满足不同PCB板生产工艺的要求，具有生产效率高的优点。高的优点。高的优点。
技术研发人员：韩艳东
受保护的技术使用者：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
技术研发日：2022.08.12
技术公布日：2022/12/16
